ZEISS Axio Imager Vario optisches Mikroskop

Inspektion großer Proben – mit Auto-Fokussierungssystem und Erfüllung der Anforderungen an die Reinraum-Klasse

Analysieren Sie von den kleinsten MEMS-Sensoren bis hin zu den übergroßen XXL-Wafers oder sogar einem gesamten Flachplattenmikroskop, ohne dass die Probe beschädigt wird. Mit einem horizontalen Abstand von bis zu 300 mm und einer vertikalen Tiefe von bis zu 254 mm können Sie mit dem Axio Imager Vario eine große Anzahl von Proben erkennen. Die integrierte Säulenkonstruktion sorgt für Stabilität. Für Anwendungen mit Ultrareinraum-Inspektionswafern ist der Axio Imager Vario nach DIN EN ISO 14644-1 zertifiziert und erfüllt die Anforderungen der Ultrareinraum-Klasse 5. Mit Elektromotoren, die die Z-Achse antreiben, und Autofokuss-Hardware wird eine automatische Einstellung auf eine bessere Fokussierposition gewährleistet.

ZEISS Axio Imager Vario optisches MikroskopEigenschaften:

Zwei manuelle und eine elektrische Motorsäule (mit drei Modus-Steuerknöpfen, die den Industriestandards entsprechen) stehen zur Auswahl und nutzen die Vorteile des Mikroskops mit einer horizontalen und vertikalen Bewegungsabstand von bis zu 300 mm und einer vertikalen Tiefe von bis zu 254 mm.
Der Axio Imager Vario fokussiert die Probe, indem sich die Objektivscheibe nach oben und unten bewegt. Dies bedeutet, dass auch schwere Proben eine hohe Präzisionsfokussierungsgenauigkeit und Wiederholbarkeit erzielen können.
Mit Autofokuss-Hardware können Sie reflektierende Proben mit niedrigem Kontrast schnell und präzise fokussieren.
Axio Imager Vario kombiniert Anwendungen mit dem LSM 700 zur berührungslosen Analyse empfindlicher Proben in hoher Auflösung.
Axio Imager Vario ist nach DIN EN ISO 14644-1 zertifiziert und erfüllt die Anforderungen der Reinraumklasse 5.

Supersauberes Zimmer:

Halbleiterherstellung und Wafer-Inspektion müssen in einem ultrareinen Raum erfolgen. Gemäß DIN EN ISO 14644-1 werden sie nach Partikelzahl und -größe pro Kubikmeter in verschiedene Klassen unterteilt. Für Ultra-Reinraum-Anwendungen ist der Axio Imager Vario durch diesen Standard zertifiziert und erfüllt die Anforderungen der Ultra-Reinraum-Klasse 5. Die ISO-Klasse 5 für ultrareine Räume entspricht der Klasse 100 der ursprünglichen FED STD 209E (1992). Das Ultra Clean Room Kit enthält eine 7-Loch-Objektivdrehscheibe, einen Partikelschutz und einen Niesenschutz.

ZEISS Axio Imager Vario optisches MikroskopAutomatischer Fokus auf Hardware:

Der Axio Imager Vario mit Auto Focus ermöglicht eine schnelle und präzise Fokussierung im Fokuserfassungsbereich von bis zu 12.000 µm. Bei Prüfanwendungen in der industriellen Produktion und Forschung benötigen Sie ein hochpräzises Fokussierungssystem mit einer Fokussiergenauigkeit von 0,3 mal der Objektivtiefe. Diese automatische Sammelhardware eignet sich für Anwendungen mit reflektiertem Licht, durchlässigem Licht, hellen und dunklen Feldern, Polarisierung, Differenzierungsinterferenzen und schräger Beleuchtung.