KLA Viersonde Widerstandsmessgerät

KLA Viersonde WiderstandsmessgerätEs ist ein Widerstandsmessprodukt von KLA. Von der Herstellung von Halbleitern bis hin zu flexiblen Elektronikprodukten, die für die Realisierung tragbarer Technologien erforderlich sind, ist die Dünnfilm-Widerstandsüberwachung für jede Branche von großer Bedeutung, die leitfähige Folien verwendet. Das Vier-Sonden-Widerstandsmessgerät KLA R54 ist funktional optimiert für die Karte der Metallfilm-Gleichmäßigkeit, die Charakterisierung der Ioneninjektion und die Erbrennungseigenschaften, die Messung der Foliendicke und der Widerstandsfähigkeit sowie die berührungsfreie Foliendickenmessung.

Vorteile:

• Benutzerdefinierte Bearbeitung von Testpunkten, einschließlich Rechteck-, Linear-, Polarkoordinaten und benutzerdefinierter Konfigurationen

• Optional für bis zu 300 mm runde oder A4 (210 mm * 297 mm) Proben

• Leiter- und Halbleiterfilm-Widerstand mit 10 Größenbereichen

• Konfigurierbar als Viersonde (4PP) oder berührungsloser Wirbelstrom (EC)

• Geschlossenes System zur Messung von Licht- oder Umweltempfindlichen Proben

• Unterstützt maximale Probenhöhe von 15mm

• Hochpräzise X-Y Plattform

• Kleinere EC-Sondengröße

• Automatische Höhenfehlerkorrektur der EC-Sonde

• Kompatibel mit KLA-Dünnfilm-Widerstandsmesssonde;

Messprinzip:

Die Vierpunktsonde (4PP) besteht aus vier leitfähigen Sonden, die die Oberfläche der Leitschicht mit einer nicht-leitfähigen Blockschicht zwischen der gemessenen Leitschicht und dem Substrat steuerbar berühren. Die Standard-Messsondenkonfiguration besteht darin, Strom zwischen zwei äußeren Sonden anzulegen und Spannung zwischen zwei inneren Sonden zu messen. Bei der Messung des Dünnfilmwiderstands sollte die Dicke der Leitschicht weniger als 1/2 des Abstands zwischen den beiden Sonden sein. KLA hat die Dual-Mode-Technologie auf dem Vier-Sonden-Widerstandsmessgerät R54 entwickelt, mit der die Spannung auf der Intervallsonde gemessen werden kann und die Funktion der dynamischen Korrektur des Grenzeffekts und der Kompensation von Sondenabstandsfehlern ausgestattet ist. KLA bietet eine breite Palette an Sondentypen zur Anwendung und Optimierung der Eigenschaftscharakteristischen Messungen verschiedener Oberflächenmaterialien, die für nahezu jede leitfähige Folie oder Ioneninjektionsschicht verwendet werden können.

Der elektrische Wirbelstrom (EC) ist eine berührungslose Leitfolienmesstechnik. Der Zeitstrom wird durch die Spule aufgebracht, um ein zeitwechselndes Magnetfeld zu erzeugen, das einen induzierten zeitwechselnden Strom (Wirbelstrom) in dieser Oberfläche erzeugt, wenn das Magnetfeld sich der leitfähigen Oberfläche nähert. Diese Wirbelströme erzeugen ihrerseits ihr eigenes zeitlich verändertes Magnetfeld, das mit der Sondenspule gekoppelt wird und eine Veränderung des Signals erzeugt, die proportional zum Widerstand der Probe ist. Die spezielle EC-Technologie von KLA, bei der sich eine einzelne Sonde oberhalb der Probe befindet, ermöglicht die dynamische Anpassung der Sondenhöhe jedes Messpunkts, was für die Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Messungen sehr wichtig ist. Die EC-Methode ist nicht von der Sondengröße oder der Oberflächenoxidation beeinflusst und eignet sich ideal für weichere Proben oder andere Proben, die nicht für die Messung mit 4PP-Kontaktmethoden geeignet sind.

Industrieanwendungen:

Anwendungen:

1. Gleichmäßigkeit der Metallfolie

Die Gleichmäßigkeit des Widerstands der Metallfolie ist sehr wichtig, um die Komponentenleistung zu gewährleisten, und die meisten Metallfolien können mit 4PP und EC gemessen werden. EC wird für dickere, hochleitfähige Metallfolien empfohlen, 4PP ist für dünnere Metallfolien (> 10Ω / sq) geeignet, aber 4PP / EC zeigt in jedem Fall eine hohe Korrelation, so dass eine genaue Ergebnisse mit jeder Methode erzielt werden kann. Die Widerstandsverteilung des Viersonde-Widerstandsmessgeräts KLA R54 kann die Gleichmäßigkeit der Folie, die Ablagerungsmasse und andere Prozessschwankungen charakterisieren.

Charakterisierung der Ioneninjektion

Die 4PP-Methode ist die Standard-Messtechnik zur Messung von Ioneninjektionsprozessen. Durch die Prüfung der Ioneneinspritzverteilung nach dem Hitzegehnen können Hitzpunkte und Kältepunkte aufgrund eines Lampenfehlers, eines schlechten Wafer-/Plattformkontakts oder einer Änderung der Injektionsdosierung erkannt werden. Für die Silizium-Ionen-Injektionsschicht ist ein Hitzprozess notwendig, um dopierte Ionen zu aktivieren.

III. Filmdicke / Widerstand / Filmwiderstand

Mit den erfassten Wafer-Daten kann das Viersonde-Widerstandsmessgerät KLA R54 eine Verteilung von Folienwiderständen, Foliendicken oder Widerständen aufzeichnen. Durch Eingabe des Widerstands des Materials kann die Membrandickenverteilung berechnet und angezeigt werden; Oder durch Eingabe von Membranstickendaten kann die Widerstandsverteilung berechnet werden.

Datenerfassung und Visualisierung

Die RSMapper-Software für das Viersonde-Widerstandsmessgerät KLA R54 kombiniert Datenerfassungs- und Analysefunktionen mit einer intuitiven Visualisierungsoberfläche, die sowohl für das Gerät selbst als auch für den Offline-Einsatz geeignet ist. Die Software verfügt über verschiedene Koordinatenlayouttools, die den Benutzern helfen, die Messpunkte der Daten einfach einzurichten.

Produktparameter:

KLA Viersonde WiderstandsmessgerätMessdiagramm: