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KLA iNano Nano-DruckgerätEinfache Messung von Folien, Beschichtungen und geringen Materialmengen. Das Instrument ist präzise, flexibel und benutzerfreundlich und ermöglicht eine Vielzahl von mechanischen Tests im Nanoskala, wie z. B. Druck-, Härte-, Kratzer- und allgemeine Nanotests. Der große dynamische Bereich der Kraftlast- und Verschiebungsmessung ermöglicht wiederholbare Tests von weichen Polymeren bis hin zu Metallmaterialien. Die modularen Optionen eignen sich für eine Vielzahl von Anwendungen: Materialeigenschaftsverteilung, spezifische Frequenzprüfungen, Kratz- und Verschleißprüfungen sowie Hochtemperaturprüfungen. Das KLA iNano Nanoprasser bietet eine komplette Reihe von Testerweiterungsoptionen, darunter Probenbehitzung, kontinuierliche Steifigkeitsmessung, NanoBlitz3D/4D-Eigenschaftszuordnung und Remote-Videooptionen.
Das modulare Design bietet sowohl umfangreiche Testfunktionen als auch automatisierte Testfunktionen mit hohem Durchsatz und ist mit einem Paket zur statistischen Analyse für die experimentelle Echtzeitsteuerung der nanomechanischen Leistungsmessung, der Scansondenmikroskopie, der Hochtemperaturmessung und der IV-Spannungs-Strommegenschaften ausgestattet, sowie für die einfache und benutzerfreundliche Entwicklung von Testprozessen und die Einstellung von Testparametern.
Elektromagnetischer Standard-Antrieb InForce50.
Die integrierte Hochgeschwindigkeitsreglerelektronik ermöglicht die Datenerfassung bis zu 100 kHz und erfasst sofortige Reaktionen von Materialien, wie z. B. Verzahnungen und Bruchphänomene. Das Instrument verwendet die industrielle kurze Zeitkonstante 20μs, um die reale Reaktion des Materials in einem Augenblick schnell zu erfassen.
Ein Steifigkeitsrahmen mit integrierter Lärmdämmung sorgt für eine genaue Messung verschiedener Materialien.
Hochauflösendes optisches Mikroskop mit digitalem Zoom zur detaillierten Positionierung der Probe.
Spezialisten im Bereich Nano-Wrapping unterrichten professionelle Nano-Wrapping-Kurse online und eine mobile App bietet Echtzeit-Updates über die Testmethoden.
Das KLA iNano Nanopressgerät verwendet einen spezifisch geometrischen Diamantpresskopf, um eine quasi statische Last auf die Oberfläche des Materials einzudrücken, die Last und Veränderungen der Drucktiefe während des Be- und Entladeprozesses in Echtzeit aufzeichnet, eine Last-Verschiebungskurve erzeugt und Parameter wie die Nanohärde und das Elastizitätsmodul des Materials durch eine Kurvenanalyse in Kombination mit einem mechanischen Modell berechnet.
Mechanische Charakterisierung ist von entscheidender Bedeutung bei der Bearbeitung und Herstellung von Dünnfolien, einschließlich der Beschichtungsqualität in der Automobilindustrie sowie der Prozesssteuerung der Vor- und Nachabschnitte der Halbleiterherstellung.
Das KLA iNano Nanoprasser kann die Härte und das Modul einer Vielzahl von Materialien messen, von ultraweichen Gelen bis hin zu harten Beschichtungen. Die schnelle Bewertung dieser Eigenschaften garantiert eine Qualitätskontrolle an der Produktionslinie.
Bei vielen Materialien, einschließlich Verbundwerkstoffe, können ihre mechanischen Eigenschaften von Stelle zu Stelle variieren. Die Probenplattform des KLA iNano Nanoprassers kann sich 100 mm auf der X- und Y-Achse und 25 mm in Richtung der Z-Achse bewegen, wodurch das System für verschiedene Probenhöhen geeignet ist und auf großen Probenbereichen gemessen werden kann. Die optionale NanoBlitz-Morphologie- und Schichtbildsoftware ermöglicht eine schnelle Farbverteilung aller gemessenen mechanischen Eigenschaften.
Das KLA iNano Nanoprasser enthält eine vorgeschriebene ISO14577-Testmethode zur Messung der Materialhärte nach ISO14577. Diese Prüfmethode ermöglicht die automatische Messung und Berichterstattung von Yang-Modulen, Gerätehärten, Vickers-Härten und standardisierten Preßungen.
Das KLA iNano Nanopressgerät kann Tandelta sowie Speicher- und Verlustmodul für ultraweiche Materialien, einschließlich viskoelastischer Polymere, messen. Speicher- und Verlustmodul sowie tandelta sind wichtige Eigenschaften von viskoelastischen Polymeren, deren Energie als elastische Energie gespeichert und als Wärmeverbrauch verwendet wird. Beide Indikatoren werden verwendet, um den Energieverbrauch eines bestimmten Materials zu messen.
Das Nanoprotzen bei hohen Temperaturen ist von entscheidender Bedeutung für die Charakterisierung der Materialeigenschaften unter thermischer Spannung und insbesondere für die Quantifizierung der Ausfallmechanismen in thermisch-mechanischen Prozessen. Die Änderung der Probentemperatur während der mechanischen Prüfung ermöglicht nicht nur die Messung von Verhaltensänderungen, die durch Wärme verursacht werden, sondern auch die Quantifizierung der Materialübergangsplastizität, die auf Nanonebene schwer zu prüfen ist.
Qualitätskontrolle der Produktion |
Metalle und Legierungen |
Halbleiter |
Medizinische Geräte |
Polymere und Kunststoffe |
Beschichtungen und Farben |
MEMS/Nano-Geräte |
Batterien und Energiespeicher |
Keramik und Glas |
Kratzer- und Verschleißprüfmethoden
NanoBlitz3D Schnelle mechanische Leistungsverteilung
NanoBlitz4D Mechanische Leistungs-Tomografie
Kontinuierliche Steifenmessung (CSM)
ProbeDM Polymerprüfung
AccuFil-Folienmethode
300°C Probenheizung
Internationale, standardisierte Nano-Prüfung
Die Optionen für Remote-Videos umfassen eine installierte Webcam, die eine einfache Ansicht der Proben vor und während des Tests ermöglicht. Zwei Beobachtungswinkelverteilungen setzen die Ansicht und die In-situ-Testansicht für die Probe ein, um die Probe und den Nano-Druckkopf jeweils zu beobachten.
Testmethoden für Biomaterialien Testmethoden für kontinuierliche Steifigkeitsprüfung mit Kerntechnologie CSM-Charakteristikmodul bei ca. 1kPa Bioweichmaterial enthält einen Flachboden-Walzkopf und eine Testmethode zur Messung des Weichmaterialspeicherverlustmoduls,
Der DataBurst-Modus löst die Datenerfassung bei einer Geschwindigkeit von 100 kHz aus und erfasst sofortige Reaktionen des Materials, wie z. B. Verzahnungen und Bruchphänomene; ermöglicht die Messung der mechanischen Eigenschaften von Materialien mit hoher Spannung unter schrittweisender Belastung; Helfen Sie Kunden, die realen Reaktionen auf Materialien im Augenblick detailliert zu erfassen.
InView nutzt eine offene Software-Schreibplattform, um Kunden bei der Steuerung von Ladung, Messung und Berechnung während des Tests zu helfen. Entwurf neuer oder komplexer Experimente. Die offene Softwareentwicklungsplattform bietet den Kunden eine größere Flexibilität: Sie können die Testdaten einfach sammeln und die Ergebnisse der Endanalyse nutzen. Der Kunde kann die Berechnungsformel durchsuchen, bearbeiten, die Parameter anpassen und ein individuelles Experimentsdesign realisieren; Der Anwender ist frei, Testparameter und -prozesse zu entwerfen und zu ändern, um neue Tests zu erforschen.
Die TrueTestI-V-Option ermöglicht es dem Anwender, eine bestimmte Spannung auf die Probe aufzubringen und den Strom des Druckkopfes zu messen, um die lokalen Veränderungen der elektrischen Eigenschaften während der nanomechanischen Messung zu charakterisieren.
Die Verbesserung der aktiven Isolation auf der Basis der integrierten passiven Isolation des KLA iNano Nanoprassers bietet eine gute Stabilität und Ausführlichkeit für hochschwierige nanomechanische Messungen wie ultradünne Folien. Das aktive Isolationssystem reduziert die Schwingungen in allen sechs Freiheitsgraden ohne Anpassungen.
Wechselbare Presseköpfe für InForce50, InForce1000 und Gemini-Antriebe umfassen Berkovich-, Stereo-, Vicker- sowie Flachboden- und Kugelpressköpfe.

