Filmetrics Automatische Messung der optischen Filmdicke

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Mit dem spektralen Reflexionssystem F54-XYT-300 können Sie schnell und einfach die Filmdicke von 200 x 200 mm Proben messen. Der elektrische XY-Arbeitstisch bewegt sich automatisch zum ausgewählten Messpunkt und bietet eine schnelle Dickenmessung mit Geschwindigkeiten von bis zu zwei Punkten pro Sekunde.

Produktdetails

Filmetrics Automatische Messung der optischen FilmdickeEinführung:

Filmetrics F54-XYT-300 Automatische Messung der optischen Foliendicke Mit dem spektralen Reflexionssystem F54-XYT-300 können Sie schnell und einfach die Foliendicke von 200 x 200 mm Proben messen. Der elektrische XY-Arbeitstisch bewegt sich automatisch zum ausgewählten Messpunkt und bietet eine schnelle Dickenmessung mit Geschwindigkeiten von bis zu zwei Punkten pro Sekunde.

Vorteile:

Automatisierte Filmdickenzeichnung, schnelle Positionierung und Echtzeit-Ergebnisse;
Messbare Probenmembranschicht: Grundsätzlich glatt. Nichtmetallische Filme können gemessen werden;
Die Kartenergebnisse können in 2D oder 3D dargestellt werden, um den Benutzer aus verschiedenen Perspektiven zu betrachten;

Messprinzip:

Wenn das eingehende Licht die Schnittstelle verschiedener Substanzen durchdringt, wird ein Teil des Lichts reflektiert, da die Volatilität des Lichts dazu führt, dass das reflektierte Licht von mehreren Schnittstellen einander stört, wodurch das Spektrum der reflektierten Lichtwellenlängen eine Schütterung erzeugt. Aus der Schütterungsfrequenz des Spektrums kann der Abstand der verschiedenen Schnittstellen bestimmt werden, um die Dicke des Materials zu erhalten (je mehr Schütterungen die größere Dicke repräsentieren), aber auch andere Materialeigenschaften wie Brechungsgrad und Rauheit zu erhalten.

Anwendungsbeispiele und Membranschichten:

Halbleitermembranschicht	Anzeigetechnologie	Unterhaltungselektronik	Perillin
Lichtgravierkleber	OLED	Wasserdichte Beschichtung	Elektronik / Leiterplatten
Dielektrische Schicht	ITO und TCO	RFID-Erkennung	Magnetisches Material
Galliumaransid	Luftbox dick	Solarzellen	Medizinische Geräte
Mikromechanische Systeme	PVD und CVD	Aluminiumgehäuse Anodenfolie	Silikonkautschuk

Häufige industrielle Anwendungen:

Halbleiterherstellung	LCD-Display	Optische Beschichtung	MEMS Mikromechanische Systeme
Lichtgravierkleber	Polyamide	Harte Beschichtung	Lichtgravierkleber
Oxide / Nitridide / SOI	ITO transparente Leitfolie	Anti-Reflexbeschichtung	Siliziumschicht
Wafer Rückseite Schleifen

Produktparameter:

Wellenlängenbereich:	190nm bis 1700nm	Lichtquelle:	Wolfram Halogen Lampe, Deuterium Lampe
Anforderungen zur Messung der Dicke nk 1*:	50 nm	Messgenauigkeit 2:	0,02 nm
Genauigkeit*: Größere	1nm oder 0,2%	Stabilität 3:	0,05 nm
Probengröße:	≤ Durchmesser 300 mm	Geschwindigkeit (mit Vakuumplattform):	5 Punkte - 8 Sekunden 25 Punkte - 21 Sekunden 56 Punkte - 43 Sekunden

Fleckgröße	Standard 500 Mikrometer Durchmesser	Optional mit 250 Mikrometer Durchmesser	Optional mit 100 Mikrometer Durchmesser
5X Objektiv	100 μm	50 μm	20 μm
10x Objektiv	50 μm	25 μm	10μm
15x Objektiv	33 μm	17 μm	7 μm
50x Objektiv	10μm	5 μm	2μm

Filmetrics Automatische Messung der optischen FilmdickeMessdiagramm:

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