Industrielle Atomkraftmikroskope (FM-Nanoview LS-AFM) mit nahezu unbegrenzter Probengröße und -gewicht eignen sich besonders für die Prüfung großer Proben wie Wafer, übergroße Raster und optisches Glas.
Eigenschaften:
◆Große Größen für die kommerzielle ProduktionIndustrielle Atomkraftmikroskope
◆ Die Probengröße und das Gewicht sind fast unbegrenzt, besonders geeignet für die Prüfung großer Proben wie Wafer, übergroße Raster und optisches Glas
◆ Die Probentasche ist skalierbar und sehr einfach für die Kombination von mehreren Instrumenten zur Erkennung am Ort
◆ Ein-Klick-automatisches Scannen für die Programmierung mehrerer Testpunkte für eine schnelle, automatisierte Erkennung
◆ Beim Scannen des Bildes bleibt die Probe unbeweglich, die Sonde wird angetriebenXYZ 3D mobile Messbildgebung
◆ Drag-Stand-Scanner-Kopf-Design, Marmorboden, Vakuum-Adsorption-Trägerstand
◆ Integrierte mechanische Schwingungsdämpfungs- und Umweltgeräuschschutzlösung, die den Systemgeräuschpegel erheblich reduziert
◆ Intelligente schnelle Einstiegsmethode zur automatischen Detektion von Druckkeramik durch Motorsteuerung, um Sonden und Proben zu schützen
◆ Scanner Nichtlineare Korrektur Benutzer-Editor, Nano-Charakterisierung und Messgenauigkeit besser als98%
Technische Parameter:
Arbeitsmodus |
Kontaktmodus, Klopfmodus |
ZAufzug |
Schrittmotor Antriebssteuerung, minimale Schritte10nm |
Auswahlmodus |
Reibung/ Seitenkraft, Amplitude / Phase, Magnetisch / Statisch |
ZErhöhenReise |
20 mm (optional 25 mm) |
Kraftspektrumkurve |
F-Z-Kräftekurve, RMS-Z-Kurve |
Optische Positionierung |
10x optische Objektive |
XYZScan Methode |
SondenantriebXYZ Scan |
Kamera |
5 Megapixel digitales CMOS |
XYScanbereich |
größer als100um × 100um |
Scangeschwindigkeit |
0,6 Hz bis 30 Hz |
ZScanbereich |
größer als10um |
Scanwinkel |
0~360° |
Scanauflösung |
Horizontal0.2nm, Länge 0,05 nm |
Betriebsumgebung |
Windows 10 Betriebssystem |
XYProbentesch |
Schrittmotorantriebssteuerung, Bewegungsgenauigkeit1um |
Kommunikationsschnittstelle |
USB2.0/3.0 |
XYBewegen Sie Ihre Reise |
200 x 200 mm (optional 300 x 300 mm) |
GeräteStruktur |
Scanner-Kopf, Marmorboden |
Probenträger |
Durchmesser200 mm (optional 300 mm) |
Schockdämpfungsmethode |
Luftschwimmende Schockdämpfung+ Schallschutz (optionale aktive Dämpfungsanlage) |
Probengewicht |
≤20 kg |
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