Hochpräziser Elementgehaltsmesser in Halbleitermaterialien

Hochpräziser Elementgehaltsmesser in Halbleitermaterialien

Kernprüftechnologien und -instrumente

1. Induktiv gekoppeltes Plasma-Emissionsspektrometer (ICP-OES)

• Werkzeuge im Labor (ICP-OES)DetailsKurzdarstellung：

• GeräteLeistungsmerkmale:

• 1,Hohe Automatisierung der Geräte

• Automatisierungsgrad der GeräteHochMit Ausnahme des Stromschalters werden alle Operationen durch die Software durchgeführt. Intelligente Software, die Echtzeit-Feedback und Informationen zu einzelnen Vorgängen liefert.

• 2,Sichere und zuverlässige SSF-Stromversorgung

• Die HF-Stromversorgung des Instruments hat ein kleines Volumen, eine hohe Ausgangseffizienz, eine stabile Ausgangsleistung und eine Vielzahl von Sicherheitsschutzfunktionen wie Wasserweg, Luftweg und Überlastung, die die Sicherheit des Instruments erheblich verbessern und die Ausfallrate des Instruments verringern.

• Vollautomatische Zündung und Matching-Technologie

• Die Software kann vollautomatisch mit einem Klick entzünden und alle Änderungen der Parametereinstellungen werden automatisch abgeschlossen. Zusammen mit der automatischen Matching-Technologie ist die Zündung erfolgreich und einfach zu bedienen.

• 4. Intelligente Flammenüberwachung

• Das Gerät hat EmpfindlichkeitHochDer optische Fasersensor kann den Arbeitszustand der Flamme in Echtzeit im Betriebszustand des Instruments überwachen und bei ungewöhnlichen Ausfallzuständen das Instrument automatisch abschalten.

• 5. Optisches System mit hoher Auflösung

• Das Gerät ist mit einer sehr hohen Auflösung ausgestattet.4320 Gravur-Import-Raster, mit*Optische Regulierungstechnik, um die Auflösung eines gewöhnlichen Instruments0,008nm auf 0,005nm reduziert, sorgt die ultrahohe Auflösung für keine gegenseitigen Störungen zwischen den Testelementen.

• 6 undGenauigkeitHochThermostatisches System

• Der gesamte optische Weg des Instruments wird durch Präzisionsthermostat geschützt, die Temperaturregelung kann in Echtzeit entsprechend der tatsächlichen Umgebungstemperatur des Kunden-Labors eingestellt werden, ohne lange ununterbrochene Öffnung einstellbar, Temperaturpräzision≤± 0, 1 ° C, präzises Thermostatsystem gewährleistet die Stabilität des optischen Weges und die Testdaten sind stabiler.

• 7. Hochpräzises Luftstromkontrollsystem

• Plasmagas, Hilfsgas und Trägergas in der Gerätearbeit werden alle mit einer hochpräzisen Massenflussregelung (MFC) zu steuern, mit kontinuierlich einstellbarem Durchfluss, hohe Genauigkeit des Ausgangsluftstroms, um die Genauigkeit der Testdaten zu gewährleisten.

• 8 undProbenaufnahmeeinrichtung für Kreislaufpumpen

• Das Instrument ist mit einer hochpräzisen Kreislaufpumpe mit zwölf Kanälen ausgestattet, die gleichzeitig die Präzision der Probeingabe und die Verhinderung von Flüssigkeitsanlagerungen gewährleisten kann. Die Drehzahl der Kreislaufpumpe kann kontinuierlich verstellbar sein, um den vielfältigen Testanforderungen des Kunden gerecht zu werden.

• Automatische Einstellung der Beobachtungsposition

• Das Gerät ist mit einer zweidimensionalen mobilen Plattform konzipiert, die die Position des Brennerrohrs in Echtzeit durch Software einstellt und die optimale Beobachtungsposition durch den zurückgegebenen Signalwert findet, um eine hohe Empfindlichkeit zu erzielen und genaue Testergebnisse zu erzielen.

• 10. Niedrige Nutzungskosten

• Das Gerät ist im Nicht-Arbeitszustand, das Gerät ist ausgeschaltet, der Kühltank und das Gas sind ausgeschaltet, keine Kosten entstehen, das Gerät wird eingeschaltet und verwendet, keine lange optische Vorwärmung erforderlich ist. Verwendung von Argon Reinheit99 und 99.*Ohne 99, 999% hochreines Argon, Kosteneinsparungen von mindestens einem Drittel.

• 11. EmpfindlichkeitHochDer Detektor

• Das Gerät ist mit einem hochempfindlichen Import-Photomultiplikator (PMT) als Detektor kann die Prüfparameter für verschiedene zu prüfende Elemente automatisch eingestellt werden, um den idealen Prüfzustand zu erreichen und genaue Prüfergebnisse zu liefern. Keine Kühlung, keine Reinigung, lange Lebensdauer.

• ICP-OESGeräteTechnische Parameter:

• Eingangsstromversorgung: Wechselspannung 220V, Strom 20A.

• 2,AnwendungCzernyTurner-Lichtweg mit einer Brennweite von 1000 mm.

• 3, Ionen-Gravur Hologramm-Gitter, Gravur Fläche (80 × 110) mm.

• 4 undVollautomatische Ein-Klick-Zündung, automatische Übereinstimmung, Zündung stabil und bequem.

• 5, mit einem konzentrischen Kreisnebulizer mit einer Rotationsnebelkammer, 1ppmMn-Stärke > 1000000cps.

• Auflösung (Mn257, 610nm): ≤0, 005nm (4320 Gravur-Raster); ≤0, 008nm (3600 Gravur-Raster); ≤0, 015nm (2400 Gravur-Raster).

• 7, Wellenlängenbereich: 190-460nm (4320 Gravure-Raster); 190-500nm (3600 Gravur-Raster); 190-800nm (2.400 Gravuren)

• 8, unabhängige Forschung und Entwicklung voller Feststoff-RF-Stromversorgung, Ausgangsleistung 800-1600W, kontinuierlich einstellbar, Stromneffizienz größer als 65%, Arbeitsfrequenz 27, 12MHz, Frequenzstabilität <0,05%, Ausgangsstabilität <0,05%.

2. Röntgenfluorescenzspektrometer (XRF)

• Schnelle Untersuchung von Metallverschmutzungen auf Siliziumoberflächen.

• Reinheitsprüfung des Quarztiegels.

• Niedrige Empfindlichkeit gegenüber leichten Elementen wie H, He, Li und Be (Detektionsgrenze > 0,1%).

• Die quantitative Genauigkeit wird durch den Matrixeffekt beeinflusst (relativer Fehler von etwa 1%-5%).

• Nichtdestruktive PrüfungProben müssen nicht gelöst oder geschliffen werden und können direkt Feststoffe, Pulver und Flüssigkeiten analysiert werden.

• Breites TestbereichDie meisten Elemente von Natrium (Na) bis Uran (U) können analysiert werden.

• Schnelle PrüfungDie Prüfzeit dauert nur ein paar Sekunden bis Minuten und eignet sich für die Serienprüfung der Produktionslinie.

• Wellenlängenfarbstreuung (WDXRF)Hohe Auflösung, geeignet für eine hochpräzise quantitative Analyse.

• Energiefarbenstreuung (EDXRF)Schnell, tragbar und für die Analyse vor Ort geeignet.

• PrinzipienRöntgenproben, fluoreszierende Röntgenstrahlen, Elementarten und -gehalte durch Erkennung von Wellenlängen und Intensität bestimmen.

• Kategorien：

• Vorteile：

• 局限性：

• Anwendungsszenario：

• Anwendungsszenario：

Hochpräziser Elementgehaltsmesser in Halbleitermaterialien