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3D Weißes Licht Interferenz Profiler

VerhandlungsfähigAktualisieren am01/05
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3D-weißes Licht-Interferenz-Profiler Das KLA Profilm3D-optische Profiler verwendet die Technologie des Vertikalen Interferenzscanns (WLI) und der Phaseninterferenz (PSI). Untersuchungen der Oberflächenmorphologie auf Sub-Nano-Ebene zu niedrigeren Preisen. Verwenden Sie das Prinzip der weißen Lichtinterferenz, ohne die Probe zu beschädigen.
Produktdetails


Produktbeschreibung:

KLA Profilm3D ist ein3D Weißes Licht Interferenz ProfilerDas optische Profiler KLA Profilm3D verwendet sowohl die Vertikale Interferenzscanning (WLI) als auch die Phaseninterferenztechnologie (PSI). Untersuchungen der Oberflächenmorphologie auf Sub-Nano-Ebene zu niedrigeren Preisen. Verwenden Sie das Prinzip der weißen Lichtinterferenz, ohne die Probe zu beschädigen.


Vorteile:

  • Sichtfeldbereich: Profilm3D bietet einen Sichtfeldbereich von bis zu 2 mm mit nur 10-fachen Objektiven, während seine Funktion mit einem maximalen 4-fachen optischen Zoom die Notwendigkeit erfüllt, mehrere Objektive in verschiedenen Anwendungen zu wechseln. Dies senkt die Kosten der Beschaffung weiter.

  • 100 mm automatischer XY-Probentesch: Jedes Profilm3D optische Profilmesser ist standardmäßig mit einem 100 mm automatischen XY-Probentesch, einem 4-Loch-Objektivdrehtisch und einer manuellen Gleichstellung ausgestattet.

  • Preis-Leistungs-Verhältnis: Unter-Nano-Oberflächenformusforschung zu niedrigeren Preisen.

  • Berührungslose Präzisionsmessungen: Vertikale Auflösungen auf Sub-Nano-Ebene (<1 nm) eignen sich für die beschädigungsfreie Prüfung empfindlicher Materialien wie weiche Polymere oder Bioproben.

  • Einfache Messung: Die optische Profiler-Software Profilm3D kann intuitiv auf die Messung von Oberflächenrauheit, Form und Stufenhöhe reagieren. Innerhalb weniger Sekunden können Sie alle gängigen Rauheitsparameter auf flachen und gebogenen Oberflächen messen. Es ist auch möglich, ein Software-Upgrade für die Splicefunktion zu wählen, um mehrere Bilder zu kombinieren, um große Flächenmessungen zu ermöglichen.


Produktmessprinzip:

Das optische Profiler KLA Profilm3D verwendet weißes Licht als Lichtquelle und teilt den Strahl über einen Spektrospiegel in zwei Wege auf: Der eine richtet sich auf die gemessene Probenoberfläche, der andere auf die Referenzspiegeloberfläche und die beiden reflektierten Strahlen bilden eine Interferenzstreife auf der CCD-Kamera. Kleine Höhenunterschiede auf der Probenoberfläche führen zu Veränderungen der Lichtstreckendifferenz. Durch die Analyse der hellen und dunklen Verteilung der Interferenzstreifen und der Positionsverschiebung werden die relativen Höhen der Oberflächenpunkte berechnet und dreidimensionale Profildaten generiert.


Hauptanwendungen:

Treppenhöhe

Textur

Aussehen

Stress

Filmdicke

Mängelprüfung



3D Weißes Licht Interferenz ProfilerParameter:

Dickenbereich (WLI)

50nm-10mm

Dickenbereich (PSI)

0-3 µm

RMS-Wiederholbarkeit (WLI):

1,0 nm

RMS-Wiederholbarkeit (PSI):

0,1 nm

Höhengenauigkeit der Treppe:

0.7%

Stufengenauigkeit:

0.1%

Reflexionsbereich der Probe:

0.05%-100%

ISO25178 kompatibel:

ja

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KLA Profilm3D optisches Profiliergerät: