VS100 Vakuumdruckschalter

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Der Vakuumdruckschalter VS100 verwendet einen Druckwiderstandssensor, um Druckänderungen in einem Medium zu erkennen, den Druck mit den vorgegebenen Druckbewegungspunkten zu vergleichen und in ein Schaltmengensignal umzuwandeln. Anwendungen für integrierte Schaltungen, Verpackungen, Halbleiterbeleuchtung, Leistungshalbleiter und Verbindungshalbleiter.

Produktdetails

Innovationspunkte

Bewegungsdruckpunkte können eingestellt werden, um effektiv Materialarten und Kundenbestandararten zu reduzieren

Die Einstellung des Druckpunkts umfasst 75 bis 735 Torr, 20 bis 990 Torr usw.

Hohe Genauigkeit

Ersatz für herkömmliche mechanische Vakuumschalter.

Anwendungsbereich

Halbleiter - integrierte Schaltungen

Halbleiter - Verpackung

Halbleiterbeleuchtung

Leistungshalbleiter

Verbindungen Halbleiter

Technische Indikatoren

Modell	VS100
Mess- und Druckpunkteinstellung	Messbereich	Einstellung des Druckpunkts
	Absoluter Druck 750Torr	75-735Torr
	Absoluter Druck 1000Torr	20-990Torr
	Druck von 750 bis 750 Torr	-150-110Torr
	Hinweis: Die Einstellung des Druckpunkts beträgt in der Regel 1% * FS ~ 99% * FS
Standardeinstellungen	Standardeinstellungen für das allgemeine Modell: Obergrenzalar, Aktionspunkt 99% FS, Verzögerung 2% FS. Bei der Konfiguration werden spezielle Software und Kabel des Lieferanten verwendet. Maßgeschneiderte Modelle von Geräten Alarmrichtung, Bewegungspunkte, Verzögerung wurden nach Anforderung in der Fabrik abgeschlossen.
Genauigkeit	± 0,5% FS
Auslaufrate	< 1x10^-9atm.cc/sec Er
Wärmetreibungskoeffizient	0,1% FS / ℃
Betriebstemperaturbereich	0～80℃
Druckgrenzen	Das Doppelte des Nenndrucks
Explosionsdruck	Fünfmal so viel als der Nenndruck
Prozessseitige Materialien	316L Ss SEMI F20 / Hastelloy C-276
Versorgungsspannung	24V ± 10% VDC
Ausgabe	Passiv Kontaktrelais Ausgang (1NO, 1NC) Wenn nicht angeschaltet, NICHT eingeschaltet, NC ausgeschaltet
Elektrische Schnittstelle	DB9 männlich
Einstellung des Aktionspunkts	Fabrikeinstellungen / Clienteinstellungen
Schnittstellentyp	1,125 "C-Dichtung / 1,125" W-Dichtung / 4VCR / KF25 (NW25) / KF16

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