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Produktkategorien
Peking Huacheng Elektronik Co., Ltd.
BV300 Schmetterlingsventil
VerhandlungsfähigAktualisieren am01/07
- Modell
- Natur des Herstellers
- Hersteller
- Produktkategorie
- Ursprungsort
Übersicht
Das BV300-Schmetterlingsventil wird weit verbreitet in Halbleiter-, Flachbildschirm-, Siliziumsolar- und Industrieprozessen eingesetzt, um den nachgelagerten Druck in den Kammern zu steuern und die Anforderungen an schnelle Druckregelung unter anspruchsvollen Prozessbedingungen anzupassen.
Produktdetails
Innovationspunkte
Doppelwegige selbstpassende Drucksensortechnologie
Unterstützt zweiwegige Vakuumreglersignalerfassung, kompatibel mit ±15V- oder +24V-Vakuumreglerversorgung und kann den Messbereich automatisch je nach Prozessanforderung umschalten.
L-V-P Druckregeltechnik
Durch die Aufzeichnung der Beziehung zwischen dem Druck und der Öffnung des Ventils in der Prozessumgebung, verwendet die Druckeinheit die Position, die Geschwindigkeit und den Druck-Drehring in Kombination, um gleichzeitig das Druckverhältnis, das Druckverhältnis, die Zieldruckposition und die Zeit zur Berechnung des Zieldrucks zu erreichen, um eine schnelle und stabile Kontrolle des Drucks zu erreichen.
Selbstlernende Funktionstechnik
Unterstützt Selbstlernenfunktionen, die sich an verschiedene Kammervakuumsysteme und unterschiedliche Arbeitsbedingungen anpassen können, um eine schnelle und genaue Druckregelung zu erreichen.
Servo-Antriebstechnik
Mit einem maßgeschneiderten Servo-Steuerplattensystem ermöglicht es eine schnellere Positionierung der Schmetterlingsplatte durch einen mehrpunktigen Steigungssteuerungsalgorithmus und eine Schaltreaktionszeit von bis zu 0,2 s.
Anwendungsbereich
Halbleiter - integrierte Schaltungen
Halbleiter - Verpackung
Halbleiteranzeige
Halbleiterbeleuchtung
Halbleiter - Mikroelektromechanische Systeme
Leistungshalbleiter
Verbindungen Halbleiter
Technische Indikatoren
| Modell | BV300 |
| Form und Größe der Flanschschnittstelle | ISO-KF: DN40 und DN50; ISO-F: DN63, DN80, DN100, DN160 und DN200 |
| Auslaufrate | 1 × 10E-9 mbar l/s |
| Druckbereich (bei 20°C) | 1×10E-8mbar-1,2 bar (abs) |
| Präzision der Druckregelung | 5 mV or 0.1%of setpoint, Nimm beide. |
| Sensoreingangssignale | 0-10VDC |
| Material | Ventilkörper / Ventilplatte: 316L / Aluminium; Dichtungsring: Fluor-Gummi/Perfluor |
| Positionsoplösung | 12800 (90° Winkel) |
| Reaktionszeit | Nicht-Dichtung: Schalter 0,2S; Dichtung: Schalter 0,6S |
| Kommunikationsschnittstelle | D-Sub, DB-25 weiblich, RS422/RS485, RS232, DeviceNet, EtherCAT |
| Stromversorgungsschnittstelle | D-Sub, DA-15 männlich, +24 VDC (±10%) @ 0,5 V pk-pk max |
| Vakuumregler-Schnittstelle (Sensor-Schnittstelle) | D-Sub, DA-15 weiblich |
| Betriebstemperatur | 0 ℃ bis +50 ℃ max. (empfohlen < 35 ℃) |
| Installationsort | Horizontale und vertikale Montage |
Hinweis:
Schmetterlingsventile in der Fabrik werden in der Regel mit Spannung des Sensorsignals kalibriert
Die Einheit des Gasdrucks ist: Torr mbar (Millibar)
Der Standardzustand lautet: Temperatur - 273,15 K (0 ° C); Luftdruck: 101325 Pa (760mm Hg)
F.S. (Full Scale): Vollständiger Skalenwert S.P. (Set Point): Setzen eines Punktes
