BV100 Schmetterlingsventil

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Übersicht

BV100 Schmetterlingsventile werden weit verbreitet in Halbleitern, Flachbildschirmen, kristallinen Silizium-Solarenergie und industriellen Prozessen zur Steuerung des Drucks in den Kammern.

Produktdetails

Innovationspunkte

Doppelwegige selbstpassende Drucksensortechnologie

Unterstützt zweiwegige Vakuumreglersignalerfassung, kompatibel mit ±15V oder ±24V Vakuumreglerversorgung und kann den Messbereich automatisch je nach Prozessanforderungen umschalten.

L-V-P Druckregeltechnik

Durch die Aufzeichnung der Beziehung zwischen dem Druck und der Öffnung des Ventils in der Prozessumgebung, verwendet die Druckeinheit die Kombination von Position, Geschwindigkeit und Druck, gleichzeitig führt sie die dynamische Berechnung des Druckverhältnisses, des Druckverhältnisses, der Zieldruckposition und der Zeit zur Berechnung des Zieldrucks durch, um die Menge der Öffnung der Ventilöffnung zu aktivieren und einen schnellen und stabilen Druck zu erreichen.

Servo-Antriebstechnik

Mit einem maßgeschneiderten Servo-Steuerplattensystem ermöglicht es eine schnellere Positionierung der Schmetterlingsplatte durch einen mehrpunktigen Steigungssteuerungsalgorithmus und eine Schaltreaktionszeit von bis zu 0,2 s.

Anwendungsbereich

Halbleiter - integrierte Schaltungen

Halbleiteranzeige

Technische Indikatoren

Modell	BV100
Feuchtigkeit	0 ~ 95% RH
Schnittstellentyp	D-Sub weiblich, DA15
Signalspannung	0 ~ 10VDC linearer Druck
ADC-Auflösung	0,1 mV
Probezeit	2ms
Versorgungsspannung (Ausgang)	+24 VDC / 1,5A max.
Aktuator	Schrittmotor
Motorauflösung	12800( 90°）
Druckgenauigkeit	5 mV oder 0,1 % des Einstellpunkts
Schutzart	IP 40
Innendurchmesser des Kanals	40mm / 50mm / 63mm / 80mm / 100mm
Schaltzeit der Ventilplatte	0,2 Sekunden

Hinweis:

Schmetterlingsventile in der Fabrik werden in der Regel mit Spannung des Sensorsignals kalibriert

Die Einheit des Gasdrucks lautet: Torr

Der Standardzustand lautet: Temperatur - 273,15 K (0 ℃); Luftdruck - 101325 Pa (760mm Hg)

F.S. (Full Scale): Vollständige Skala S.P. (Set Point): Setzt einen Punktwert

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