BV200 Schmetterlingsventil

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Übersicht

Das BV200 Schmetterlingsventil ist ein digitales Druckregelventil, das eine hohe Genauigkeit und Zuverlässigkeit bei der Steuerung des Gasdrucks bietet. Dieses Produkt unterstützt die digitale Signalsteuerung und wird mit einer einzigen Stromversorgung + 24 VDC versorgt.

Produktdetails

Innovationspunkte

Doppelwegige selbstpassende Drucksensortechnologie

Unterstützt zweiwegige Vakuumreglersignalerfassung, kompatibel mit ±15V oder ±24 Vakuumreglerversorgung und kann den Messbereich automatisch je nach Prozessanforderung umschalten.

Selbstlernende Funktionstechnik

Unterstützung für Selbststudienfunktionen, die sich an verschiedene Kammervakuumsysteme und unterschiedliche Arbeitsbedingungen anpassen können, um eine schnelle und genaue Druckregelung zu erreichen.

L-V-P Druckregeltechnik

Durch die Aufzeichnung der Beziehung zwischen dem Druck und der Öffnung des Ventils in der Prozessumgebung, verwendet die Druckeinheit die Kombination von Position, Geschwindigkeit und Druck, gleichzeitig führt sie die dynamische Berechnung des Druckverhältnisses, des Druckverhältnisses, der Zieldruckposition und der Zeit zur Berechnung des Zieldrucks durch, um die Menge der Öffnung der Ventilöffnung zu aktivieren und einen schnellen und stabilen Druck zu erreichen.

Servo-Antriebstechnik

Mit einem maßgeschneiderten Servo-Steuerplattensystem ermöglicht es eine schnellere Positionierung der Schmetterlingsplatte mit einer Schaltreaktionszeit von bis zu 0,2 Sekunden.

Anwendungsbereich

Halbleiter - integrierte Schaltungen

Leistungshalbleiter

Technische Indikatoren

Modell	der BV200
Material	Ventilkörper/Ventilplatte	Aluminiumlegierung 6061 / Edelstahl 613L
	Schrauben für Achsen/Ventilplatten	Edelstahl 316L
	Lagerhülle	lglidur X
Lagerdichtungsringe	Umweltseite	FKM
Lagerdichtungsringe	Vakuum End	FKM
Ventilkörper Leckage	Edelstahlmaterial	1 × 10E-9 mbar · L / s
Kommunikationsschnittstelle		RS485 (D-sub weiblich, DB25) oder DeviceNet (DNET-Stecker)
Stromversorgung	Schnittstellentyp	D-Sub männlich, DA15
Stromversorgung	Spannung	+24 VDC
Stromverbrauch	Steuerung/Antrieb	40 W
Umgebung verwenden	Temperatur	0 bis 50 Grad Celsius, empfohlen unter 35 Grad
Umgebung verwenden	Feuchtigkeit	0 ~ 95% RH
Regulierte Schnittstellenparameter	Schnittstellentyp	D-Sub weiblich, DA15
	Signalspannung	0 bis 10VDC linearer Druck
	ADC-Auflösung	0,1 mV
	Probezeit	2ms
	Versorgungsspannung (Ausgang)	+24 VDC/1,5A max.
Aktuator		Schrittmotor
Motorauflösung		12800(90°)
Druckgenauigkeit		5 mV oder 0,1 % des Einstellpunkts, wenn der Wert groß ist
Schutzart		IP 40
Innendurchmesser des Kanals		40mm / 50mm / 63mm / 80mm / 100mm
Schaltzeit der Ventilplatte		0,2 Sekunden

Hinweis:

Schmetterlingsventile in der Fabrik werden in der Regel mit Spannung des Sensorsignals kalibriert

Die Einheit des Gasdrucks ist: Torr mbar (Millibar)

Der Standardzustand lautet: Temperatur - 273,15 K (0 ° C); Luftdruck: 101325 Pa (760mm Hg)

In den PC-Produkten von Huacheng Electronics sind die Einheiten SCCM und "mL/min, 0 ° c, 1atm" gleichwertig und die Einheiten SLM und "L/min, 0 ° c, 1atm" gleichwertig.

F.S. (Full Scale): Vollständiger Skalenwert S.P. (Set Point): Setzen eines Punktes

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