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Produktkategorien
Shanghai Maosuo Maschinenbau Co., Ltd.
Schweizer VAT Vakuumventil 59024-GE01-0003
VerhandlungsfähigAktualisieren am05/18
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Übersicht
Schweizer VAT-Vakuumventil 59024-GE01-0003$r$nModellauflösung (VAT-Namensregel) $r$nBedeutung des Codesegments$r$n59024 Serie: Hochvakuum-Winkelventil$r$nGE01 Flanschtyp: ISO-KF40$r$n0003 Konfigurationscode: mit pneumatischem Antrieb
Produktdetails
Schweizer VAT Vakuumventil 59024-GE01-0003
1. Modellauflösung (MwSt-Namensregel)
| Codesegmente | Bedeutung |
|---|---|
| 59024 | Serie: Hochvakuumventil |
| GE01 | Flanschtyp: ISO-KF40 |
| 0003 | Konfigurationscode: mit pneumatischem Antrieb |
2. Kernparameter
| Parameter | Spezifikation |
|---|---|
| Vakuumbereich | 10⁻⁶ ~ 1000 mbar |
| Leckrate | ≤1×10-9 mbar·L/s (Heliumprüfung) |
| Frankreich Standard | ISO-KF40 (DN40) |
| Material des Ventilkörpers | Edelstahl 316L (EP poliert) |
| Dichtungsmaterial | Fluor-Gummi (FKM)/optionale Vollmetalldichtung |
| Fahrart | Pneumatik (Arbeitsdruck 4-6 bar) |
| Reaktionszeit | ≤0,5 Sekunden (Ein/Aus) |
| Temperaturbereich | -20 ℃ ~ 150 ℃ (Standard-Typ) |
3. Strukturelle Merkmale
Ultrahochvakuum-Design：
Metall-Wellenrohrdichtung (Null Leckage)
Ventilplatte mit Kegeldichtung (10-9 mbar Dichtung)
Pneumatischer Antrieb：
Doppelzylinder (mit Magnetventilsteuerung erforderlich)
Mit mechanischer Positionsanzeige
4. Typische Anwendungen
Halbleitergeräte：
Wafer-Übertragungskammer Isolation
CVD/PVD Prozesskammer
Wissenschaftliche Geräte：
Synchronisierte Strahlenleitung
Partikelbeschleuniger Vakuumsystem
5. Installationsanforderungen
Flansch-Installation：
Drehmomentbegrenzung: 10 Nm (ISO-KF40 Klemme)
Benötigt einen sauerstofffreien Kupferdichtungsring (P/N: MwSt.-CU40)
Luftwegverbindung：
Antriebsluft: G1/8'(Argon empfohlen)
6. Elektrische Schnittstelle (Magnetventil erforderlich)
| Signale | Anforderung |
|---|---|
| Signal zum Öffnen des Ventils | 24 V DC (Antrieb von Elektromagnetventilen) |
| Schließventilsignal | Federsetzung (automatisches Schließventil) |
7. Wartungspunkte
| Projekt | Periode | Operation |
|---|---|---|
| Dichtungsring austauschen | 2 oder 106 Zyklen | Entfernung spezieller Befestigungen erforderlich |
| Wellenrohrprüfung | 1 Jahr | Helium-Massenspektrometer |
| Antriebszylinderschmierung | 6 Monate | Verwendung von PFE Vakuumfett |
8. Alternative Modelle im Vergleich
| Marke/Modell | Unterschiede |
|---|---|
| VAT 59024-GE01-0004 | Elektrische Aktuatorversion |
| Pfeiffer MwSt. 58500 | Direktventil für größeren Durchfluss |
| NorCal UHV-40 | 20% niedriger Preis, etwas höhere Leckage |
Die Standardlieferung dieses Modells beträgt 8-12 Wochen. Bei BedarfUltrahochtemperaturversion (300 °C)oderMagnetfreie VersionEin zusätzlicher 6-wöchiger Anpassungszyklus ist erforderlich. Empfohlene Nutzung der Mehrwertsteuer52X SerieDie Elektromagnetventilrichtung ermöglicht eine automatische Steuerung.
Schweizer VAT Vakuumventil 59024-GE01-0003
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