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Produktkategorien
Shanghai Maosuo Maschinenbau Co., Ltd.
Schweizer MwSt. Vakuum-Tor-Ventilplatte 96603-01
VerhandlungsfähigAktualisieren am05/18
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Übersicht
Schweizer MwSt. Vakuum Gate Valve Plate 96603-01 $ r $ n Grundlagen $ r $ n Original-Teilenummer: 96603-01 $ r $ n $ r $ n Anwendbares Ventilmodell: MwSt. 96600 Serie Hochvakuum Gate Valve $ r $ n $ r $ n Material: Edelstahl 316L (Elektrolytische Polierung EP-Klasse) $ r $ n $ r $ n Oberflächenbehandlung: Ra ≤ 0,1 μm (Spiegelpolierung)
Produktdetails
Schweizer MwSt. Vakuum-Tor-Ventilplatte 96603-01
1. Grundlagen
Original-Teilenummer：96603-01
Anwendbare Ventilmodelle: MwSt. 96600 Serie Hochvakuumventile
MaterialEdelstahl 316L (Elektrolyse Polierung EP-Klasse)
OberflächenbehandlungRa≤0,1 μm (Spiegelpolierung)
2. Kernparameter
| Parameter | Spezifikation |
|---|---|
| Größe | Passend für DN160 (6,3') Ventile |
| Dickentoleranz | ±0.005mm |
| Ebenheit | ≤0.01mm / m |
| Vakuumdichtungsklasse | ≤1×10-9 mbar·L/s (mit Metalldichtungsring) |
| Temperaturbereich | -270 ℃ ~ + 450 ℃ (Vollmetalldichtung) |
3. Strukturelle Merkmale
Doppelseitige Dichtung：
Hauptabdeckung: Kegelförmige Metalldichtung (Kupfer oder Edelstahl)
Sekundärdichtung: Optionale Elastomerdichtung (z.B. VITON) ®）
Führungssystem：
Präzisionslinienführer (Reibungskoeffizient < 0,001)
Antriebsschnittstelle：
Standardanpassung für MwSt. Pneumatik (z.B. Serie 96100)
4. Kompatible Ventilmodelle
| VAT Ventil Serie | Modellspezifische Beispiele |
|---|---|
| 96600 | 96603, 96606, 96610 |
| 96800 | 96803 (Größe bestätigt) |
5. Installation und Wartung
Installationsschritte：
Reinigung der Ventilhöhle (mit staubfreiem Tuch + hochreinem Alkohol)
Vor-installierte Dichtungsringe (spezielle Befestigungen erforderlich)
Manuelle Prüfung des Gleitwiderstands nach dem Einsetzen der Ventilplatte (sollte ≤5N)
Drehmomentanforderungen：
Flanschmoment: 20-25 Nm (ISO-KF160)
6. Lebensdauerindikatoren
| Arbeitsbedingungen | Lebenserwartung |
|---|---|
| Hochvakuum bei Normaltemperatur (<10-7 mbar) | 107 Zyklen |
| hohe Temperatur (300°C) | ca. 5 x 106 Zyklen |
| Plasmaumgebung | Verschleißprüfung alle 5 x 105 Mal erforderlich |
7. Verschleißprüfmethoden
Optische Prüfung：
Messung von Dichtflächenkratzen mit weißem Lichtinterferometer (Tiefe ≤ 0,5 μm für Sicherheit)
Leistungstest：
Heliumspektrometrie (≤1×10-9 mbar·L/s bei geschlossenem Ventilblech)
8. Vergleich der Alternativen
| Marke/Modell | Unterschiede |
|---|---|
| VAT 96603-01-M | Vergoldete Dichtung (Korrosionsbeständigkeit + Leitfähigkeit) |
| Pfeiffer PGV 160 | Kompatibel, aber die Aktuatorschnittstelle muss modifiziert werden |
| Inländische Nachbildungen | Kosten 60% niedriger, Lebensdauer ca. 40% Original |
Diese Ventilplatte muss mitMwSt. 229310 Serie DichtringeVerwendung. fürHalbleitergeräteEs wird empfohlen, alle 2 oder 106 Zyklen zu ersetzen. Für maßgeschneiderte Versionen (z. B. Aluminium-Siliciumnitrid-Beschichtungen) ist eine zusätzliche Lieferfrist von 8 Wochen erforderlich.
Schweizer MwSt. Vakuum-Tor-Ventilplatte 96603-01
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