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Gebäude 6, Guoshun Road 93, Nanqiao, Fengxian Distrikt, Shanghai
Shanghai Maosuo Maschinenbau Co., Ltd.
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Schweizer VAT Vakuumventil Serie 47
Im Folgenden geht es umHochvakuumventile der Serie 47 von Swiss VATEine detaillierte technische Analyse, die die Modellklassifikation, die technischen Merkmale, die Auswahlanleitung und die Anwendung auf dem chinesischen Markt umfasst:
ProdukttypPneumatisch angetriebenes Hochvakuumventil (Angle Valve)
Kernzwecke:
Isolation und Belüftungssteuerung von Vakuumkammern
Geeignet für Ultrahochvakuum (UHV) Szenarien wie Halbleiter, Photovoltaik, Vakuumbeschichtungen und wissenschaftliche Geräte
Kernzertifizierung:
Entsprechend SEMI-Normen, Leckage < 1 x 10-9 mbar·L/s
Materialkompatibilität: Edelstahl 316L, Fluorkummi (FKM) oder Vollmetalldichtung
| Codesegmente | Bedeutung |
|---|---|
| 47 | Serienname (pneumatisches Hochvakuumventil) |
| 1 | Größe des Ventilkörpers (1=DN16, 5=DN160) |
| 52 | Flanschtyp (52=CF-Flansch) |
| AA | Dichtmaterial (AA = Fluor, MM = Metall) |
| Modell | Durchmesser | Typ der Flanke | Dichtmaterial | Temperaturbereich | Typische Anwendungsszenarien |
|---|---|---|---|---|---|
| MwSt. 47112-AA | DN16 | CF-F | Fluor Gummi | -20~+150°C | Kleine Vakuumkammern |
| MwSt. 47152-AA | DN40 | CF-F | Fluor Gummi | -20~+150°C | Beschichtung Einluftventil |
| MwSt. 47552-MM | DN160 | ISO-K | Metalldichtung | -200~+250°C | Halbleitergraviermaschine |
| MwSt. 47652-AA | DN63 | CF-F | Fluor Gummi | -20~+150°C | Vakuumsysteme für Photovoltaik-Komponenten |
真空性能:
Leckage: Fluor-Gummi-Version <1 x 10-9 mbar·L/s, Metalldichtung <1 x 10-1 mbar·L/s
Druckdifferenz: Standardversion 1×10−9 mbar bis zum atmosphärischen Druck (Metallversiegelung bis zu 10−1⁄2 mbar)
Mechanische Eigenschaften:
Antriebsart: Ein-/Doppelwirkungs-Pneumatik (0,4 bis 0,6 MPa Druckluft erforderlich)
Öffnungszeit: < 1 Sekunde (unter DN40)
Lebensdauer: > 1 Million Mal (Metallversiegelung > 500.000 Mal)
Umweltanpassung:
Lösemittelbeständigkeit: kompatibel mit Aceton, Alkohol (nicht kompatibel mit starken Säuren)
Backtemperatur für Metalldichtplatten: bis zu 250°C (optionales Hochtemperatur-Elektromagnetventil erforderlich)
Durchmesser bestimmenWählen Sie DN16 / DN40 / DN63 / DN160 usw. je nach Rohrgröße
Dichtung auswählen:
Fluor-Gummi (AA): niedrige Kosten, geeignet für allgemeines Vakuum (≤10-9 mbar)
Metalldichtung (MM): Ultrahochvakuum (≤10−¹¹ mbar), hohe Temperaturbeständigkeit
Übereinstimmung mit Frankreich:
CF-Flansch: Ultrahochvakuumstandard (Halbleiterindustrie)
ISO-K-Flansch: Anwendungen mit hohem Durchfluss (z. B. Beschichtungsanlagen)
Treiberkonfiguration:
Einwirkung (Federresetz): Stromausfall automatisch ausgeschaltet
Doppelwirkung: Zweirichtungs-Luftsteuerung erforderlich, schnellere Reaktion
Installationsspezifikationen:
Die Pfeilrichtung des Ventilkörpers muss mit der Luftströmungsrichtung übereinstimmen
Die Flanschschrauben müssen schrittweise diagonal angespannt werden (Drehmoment-Referenz MwSt. Technisches Handbuch)
Wartungsberatung:
Fluor-Gummi-Dichtungsringe alle 2 Jahre ersetzt (häufiger Einsatz)
Metalldichtventil alle 5 Jahre Heliumspektrometrie
| Störungen | mögliche Ursachen | Lösungen |
|---|---|---|
| Ventil kann nicht geschlossen werden | Mangelnder Luftdruck/Verschleiß der Dichtungsringe | Überprüfen Sie die Gaswege (≥0.4MPa), ersetzen Sie Dichtungen |
| Untervakuumgehalt | Verschmutzung der Flanschdichtung | Reinigen Sie die Abdichtung mit einem staubfreien Tuch in Alkohol |
| Das Öffnen und Schließen wird langsamer | Elektromagnetventilfehler / Zylinderleckage | Antriebs-Magnetventil austauschen (Festo oder SMC empfohlen) |
Inländische Ersatz:
Pekinger WissenschaftlerZK-Serie Winkelventil(DN16 ~ DN200, Leckage < 5 × 10-9 mbar · L / s)
Japanische Marken:
SMCVXH Serie(für mittleres und niedriges Vakuum geeignet, kostengünstig)
Lieferzeiten2-4 Wochen auf Lager für reguläre Modelle, 8-12 Wochen für kundenspezifische Ventilkörper
Schweizer VAT Vakuumventil Serie 47