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Schweizer VAT Vakuumventil Serie 47

VerhandlungsfähigAktualisieren am05/18
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Übersicht

Schweizer MwSt. Vakuumventil Serie 47$r$nMwSt. Produktpositionierung Serie 47$r$nProdukttyp: Pneumatisch angetriebenes Hochvakuumventil(Angle Valve)

Produktdetails

Schweizer VAT Vakuumventil Serie 47

Im Folgenden geht es umHochvakuumventile der Serie 47 von Swiss VATEine detaillierte technische Analyse, die die Modellklassifikation, die technischen Merkmale, die Auswahlanleitung und die Anwendung auf dem chinesischen Markt umfasst:

Produktpositionierung der Mehrwertsteuer-Serie 47

  • ProdukttypPneumatisch angetriebenes Hochvakuumventil (Angle Valve)

  • Kernzwecke

    • Isolation und Belüftungssteuerung von Vakuumkammern

    • Geeignet für Ultrahochvakuum (UHV) Szenarien wie Halbleiter, Photovoltaik, Vakuumbeschichtungen und wissenschaftliche Geräte

  • Kernzertifizierung

    • Entsprechend SEMI-Normen, Leckage < 1 x 10-9 mbar·L/s

    • Materialkompatibilität: Edelstahl 316L, Fluorkummi (FKM) oder Vollmetalldichtung


Regeln für die Modellbezeichnung (z.B. MwSt. 47152-AA)

Codesegmente Bedeutung
47 Serienname (pneumatisches Hochvakuumventil)
1 Größe des Ventilkörpers (1=DN16, 5=DN160)
52 Flanschtyp (52=CF-Flansch)
AA Dichtmaterial (AA = Fluor, MM = Metall)

Vergleich der häufig verwendeten Untermodelle auf dem chinesischen Markt

Modell Durchmesser Typ der Flanke Dichtmaterial Temperaturbereich Typische Anwendungsszenarien
MwSt. 47112-AA DN16 CF-F Fluor Gummi -20~+150°C Kleine Vakuumkammern
MwSt. 47152-AA DN40 CF-F Fluor Gummi -20~+150°C Beschichtung Einluftventil
MwSt. 47552-MM DN160 ISO-K Metalldichtung -200~+250°C Halbleitergraviermaschine
MwSt. 47652-AA DN63 CF-F Fluor Gummi -20~+150°C Vakuumsysteme für Photovoltaik-Komponenten

Kerntechnische Parameter

  1. 真空性能

    • Leckage: Fluor-Gummi-Version <1 x 10-9 mbar·L/s, Metalldichtung <1 x 10-1 mbar·L/s

    • Druckdifferenz: Standardversion 1×10−9 mbar bis zum atmosphärischen Druck (Metallversiegelung bis zu 10−1⁄2 mbar)

  2. Mechanische Eigenschaften

    • Antriebsart: Ein-/Doppelwirkungs-Pneumatik (0,4 bis 0,6 MPa Druckluft erforderlich)

    • Öffnungszeit: < 1 Sekunde (unter DN40)

    • Lebensdauer: > 1 Million Mal (Metallversiegelung > 500.000 Mal)

  3. Umweltanpassung

    • Lösemittelbeständigkeit: kompatibel mit Aceton, Alkohol (nicht kompatibel mit starken Säuren)

    • Backtemperatur für Metalldichtplatten: bis zu 250°C (optionales Hochtemperatur-Elektromagnetventil erforderlich)


V. Wichtige Schritte der Auswahl

  1. Durchmesser bestimmenWählen Sie DN16 / DN40 / DN63 / DN160 usw. je nach Rohrgröße

  2. Dichtung auswählen

    • Fluor-Gummi (AA): niedrige Kosten, geeignet für allgemeines Vakuum (≤10-9 mbar)

    • Metalldichtung (MM): Ultrahochvakuum (≤10−¹¹ mbar), hohe Temperaturbeständigkeit

  3. Übereinstimmung mit Frankreich

    • CF-Flansch: Ultrahochvakuumstandard (Halbleiterindustrie)

    • ISO-K-Flansch: Anwendungen mit hohem Durchfluss (z. B. Beschichtungsanlagen)

  4. Treiberkonfiguration

    • Einwirkung (Federresetz): Stromausfall automatisch ausgeschaltet

    • Doppelwirkung: Zweirichtungs-Luftsteuerung erforderlich, schnellere Reaktion


6. Installation und Wartung

  • Installationsspezifikationen

    • Die Pfeilrichtung des Ventilkörpers muss mit der Luftströmungsrichtung übereinstimmen

    • Die Flanschschrauben müssen schrittweise diagonal angespannt werden (Drehmoment-Referenz MwSt. Technisches Handbuch)

  • Wartungsberatung

    • Fluor-Gummi-Dichtungsringe alle 2 Jahre ersetzt (häufiger Einsatz)

    • Metalldichtventil alle 5 Jahre Heliumspektrometrie


7. Typische Fehlerbehebung

Störungen mögliche Ursachen Lösungen
Ventil kann nicht geschlossen werden Mangelnder Luftdruck/Verschleiß der Dichtungsringe Überprüfen Sie die Gaswege (≥0.4MPa), ersetzen Sie Dichtungen
Untervakuumgehalt Verschmutzung der Flanschdichtung Reinigen Sie die Abdichtung mit einem staubfreien Tuch in Alkohol
Das Öffnen und Schließen wird langsamer Elektromagnetventilfehler / Zylinderleckage Antriebs-Magnetventil austauschen (Festo oder SMC empfohlen)

Alternativen auf dem chinesischen Markt

  1. Inländische Ersatz

    • Pekinger WissenschaftlerZK-Serie Winkelventil(DN16 ~ DN200, Leckage < 5 × 10-9 mbar · L / s)

  2. Japanische Marken

    • SMCVXH Serie(für mittleres und niedriges Vakuum geeignet, kostengünstig)

  • Lieferzeiten2-4 Wochen auf Lager für reguläre Modelle, 8-12 Wochen für kundenspezifische Ventilkörper

Schweizer VAT Vakuumventil Serie 47