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Produktkategorien
Shanghai Maosuo Maschinenbau Co., Ltd.
Schweizer VAT Vakuumventil 01034-KE01-0002
VerhandlungsfähigAktualisieren am05/18
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Übersicht
Schweizer VAT-Vakuumventil 01034-KE01-0002$r$nModellauflösung (VAT-Namensregel) $r$nBedeutung des Codesegments$r$n01034Serie: Kleinkaliber Hochvakuumventil$r$nKE01Flanschtyp: ISO-KF16 (DN16) $r$n0002Konfigurationscode: mit Pneumatik + Positionssensor
Produktdetails
Schweizer VAT Vakuumventil 01034-KE01-0002
1. Modellauflösung (MwSt-Namensregel)
| Codesegmente | Bedeutung |
|---|---|
| 01034 | Serie: Kleinkaliber Hochvakuumventil |
| KE01 | Flanschtyp: ISO-KF16 (DN16) |
| 0002 | Konfigurationscode: mit Pneumatik + Positionssensor |
2. Kernparameter
| Parameter | Spezifikation |
|---|---|
| Vakuumbereich | 10⁻⁹ ~ 1000 mbar |
| Leckrate | ≤1×10-9 mbar·L/s (Metalldichtung) |
| Material des Ventilkörpers | Edelstahl 316L (EP poliert) |
| Dichtungsoptionen | Vollmetalldichtung / FFKM-Elastomer |
| Fahrart | Pneumatische Doppelwirkung (4-6 bar) |
| Reaktionszeit | ≤0,3 Sekunden (Ein/Aus) |
| Temperaturbereich | -200 ℃ ~ 250 ℃ (Standard-Typ) |
3. Strukturelle Merkmale
Zero Leckage Design：
Metall-Wellenrohrantrieb (kein dynamisches Dichtungsleckgefahr)
Kegelventilsitzdichtung (10-9 mbar-Dichtung)
Intelligentes Feedback：
Integrierter magnetischer Positionssensor (PNP-Ausgang)
LED-Statusanzeige (Rot/Grün)
4. Typische Anwendungen
Analyseinrichtungen：
Isolierung des Massenspektrometersystems
Probenraum für Elektronenmikroskope
Halbleiter：
Wafer-Übertragungsmodul (EFEM)
Gaswegsteuerung für Erosionsgeräte
5. Installationsvorschriften
Flanschverbindung：
Drehmomentbegrenzung: 5 Nm (ISO-KF16 Klemme)
Dichtring: Sauerstofffreie Kupferdichtung (P/N: MwSt.-CU16)
Luftweganforderungen：
Antriebsgas: Stickstoff oder Argon (Reinheit ≥ 99,999%)
Leitungsfilter: 0,1 μm Filter
6. Elektrische Schnittstellen
| Klemme | Funktion |
|---|---|
| 1 (Braun) | 24V Gleichstrom+ |
| 2 (blau) | 0V |
| 3 (schwarz) | Ventilöffnungssignal (PNP) |
| 4 (weiß) | Schließsignal (PNP) |
7. Wartungszyklus
| Projekt | Operation | Periode |
|---|---|---|
| Dichtungsprüfung | Weißes Licht Interferometer | 1 Jahr / 105 Zyklen |
| Wellenrohr Lebensdauer | Heliumdeckungsprüfung | 5 oder 106 Zyklen |
| Positionssensorkalibrierung | Rückkopplungseinstellung des Ventilstandes | 2 Jahre |
8. Fehlerdiagnose
| Code | Bedeutung | Lösungsansatz |
|---|---|---|
| E01 | Sensorsignal verloren | Magnetkoppelausrichtung prüfen |
| E03 | Luftdruck nicht ausreichend | Bestätigung des Antriebsdrucks ≥4 bar |
| E05 | Überwärmealarm | Überprüfen Sie, ob die Umgebungstemperatur überschritten ist |
9. Alternative Optionen
| Marke/Modell | Unterschiede |
|---|---|
| VAT 01034-KE01-0001 | Ohne Positionssensor |
| Pfeiffer EVR 116 | Elektrischer Aktor, langsamer reagiert |
| NorCal UHV-16 | 25% niedriger Preis, etwas höhere Leckage |
Die Standardlieferung dieses Modells dauert 12 Wochen. Bei BedarfUltrahochvakuumversion (10-¹¹ mbar)oderMagnetfreie VersionEin zusätzlicher 6-wöchiger Anpassungszyklus ist erforderlich. Empfohlene Nutzung der Mehrwertsteuer52X SerieDie Elektromagnetventilrichtung ermöglicht eine automatische Steuerung.
Schweizer VAT Vakuumventil 01034-KE01-0002
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