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Schweizer MwSt. Serie 590 elektrisches Hochvakuumventil

VerhandlungsfähigAktualisieren am05/18
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Schweizer MwSt. 590-Serie elektrisches Hochvakuumregelventil $r$n Produkttyp: Elektroantriebs-Hochvakuumregelventil (Proportional Control Valve) $r$n$r$n Kernfunktionen: $r$n$r$n Präzisionsdruckregelung (10 PrPräzisionsdruckregelung) #179; ~ 10-9 mbar Bereich) $r$n$r$n Dynamische Durchflussregelung (geeignet für CVD, PVD, Erosion usw.)

Produktdetails

Schweizer MwSt. Serie 590 elektrisches Hochvakuumventil

Produktpositionierung der Serie 590

  • ProdukttypVerhältnismäßiges Regelventil (Proportional Control Valve)

  • Kernfunktion：

    • Präzise Druckregelung(10-3 bis 10-9 mbar Bereich)

    • Dynamische Durchflusssteuerung (für CVD, PVD, Gravur usw.)

  • Hauptvorteile：

    • Auflösung bis0,1% VollständigkeitReaktionszeit <50ms

    • Vollmetalldichtung (Leckage <1×10-1 mbar·L/s)

    • unterstützenAnaloge Leistung (0-10V/4-20mA)undDigitale Kommunikation (RS485/Profibus)Kontrolle

Regeln für die Modellbezeichnung (z.B. MwSt. 590,12-AA)

Codesegmente Bedeutung
590 Serienname (elektrisches Regelventil)
.12 Durchmessergröße (12 = DN25, 18 = DN40)
- AA Dichtmaterial (AA = Fluor, MM = Metall)

Vergleich der häufig verwendeten Untermodelle auf dem chinesischen Markt

Modell Durchmesser Steuersignale Dichtmaterial Auslaufrate Typische Anwendungsszenarien
MwSt. 590.12-AA DN25 0-10V/4-20mA Fluor Gummi <1×10 ⁻⁹ mbar·L/s Labor-Vakuumsysteme
MwSt. 590.18-MM DN40 RS485 und Profibus Metalldichtung <1×10 ⁻ ¹¹ mbar·L/s Halbleiter-ALD-Geräte
MwSt. 590.24-MM DN63 0-10V Metalldichtung <1×10 ⁻ ¹¹ mbar·L/s Photovoltaik-Beschichtungskammerzufuhrregelung

Kerntechnische Parameter

  1. Leistung anpassen：

    • Linearität±0,5% Vollständige Messreihe

    • Wiederholungsgenauigkeit：±0.2%

    • Durchflusskoeffizient (Cv)：0.02（DN25）~0.15（DN63）

  2. Elektrische Eigenschaften：

    • Stromversorgung: 24V DC ± 10%

    • Stromverbrauch: <15W (Standby <5W)

    • Positionsfeedback: Optionale 0-10V oder SSI absolute Wertencoder

  3. Umweltanpassung：

    • Fluorgummidichtung: -20°C ~ +150°C

    • Metalldichtung: -200 °C ~ +250 °C (Backbedingungen)

    • Temperaturbereich:

    • Korrosionsbeständigkeit: Kompatibel mit Prozessgasen wie Cl₂, NF3 (optional mit Nickelventilkörper)

V. Wichtige Schritte der Auswahl

  1. Durchmesser bestimmen：

    • Wählen Sie DN25/DN40/DN63 nach den Durchflussanforderungen

    • Berechnungsformel:𝑄=𝐶𝑣⋅Δ𝑃⋅𝜌
      (Q: Durchfluss, ΔP: Druckdifferenz, ρ: Gasdichte)

  2. Kontrollmodus auswählen：

    • Analoge MengensteuerungGeeignet für PLC-Direktsteuerung

    • Digitale KommunikationGeeignet für die Integration in intelligente Vakuummanagementsysteme

  3. Dichtmaterial：

    • Fluor-Gummi (AA)Niedrige Kosten, geeignet für allgemeines Vakuum (≤10-9 mbar)

    • Metalldichtung (mm)Ultrahochvakuum (≤10−¹¹ mbar), Plasmabeständigkeit

  4. Spezielle Optionen：

    • Erwärmte VersionVerhinderung der Gaskondensation (z.B. SiH4-Verfahren)

    • ATEX ZertifizierungFür gefährliche Umgebungen

6. Installation und Debugging

  • Mechanische Installation：

    • Die Richtung des Ventilkörpers muss mit dem Luftstrom übereinstimmen (Pfeilkennzeichnung)

    • Vermeiden Sie Schwingungsquellen (es wird empfohlen, einen Stoßdämpfungshalter hinzuzufügen)

  • Elektrische Verbindungen：

    • Verschirmte Kabelverdrahtung (gegen elektromagnetische Störungen)

    • Erdungswiderstand <1Ω

  • Parameterkalibrierung：

    1. Zero-Bit-Einstellung über HMI oder Software (0% Öffnung)

    2. Vollbereich (100% Öffnung für 10V/20mA)

    3. Teststufenreaktion (Ziel: Überregulierung < 5%)

7. Typische Fehlerbehebung

Störungen mögliche Ursachen Lösungen
Ventil öffnet sich Signalstörungen / Stromversorgungsinstabilität Überprüfen Sie die shieldete Erdung, regulierte Stromversorgung
Druckregelung überreguliert Der PID-Parameter ist nicht vernünftig 重新整定（P↓, I↑, D↓）
Kommunikation unterbrochen Fehler bei der Protokollkonfiguration Überprüfung der Portrate/Geräteadresse

Schweizer MwSt. Serie 590 elektrisches Hochvakuumventil

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