Schweizer MwSt. 54 Serie pneumatische Hochvakuumventile

Schweizer MwSt. 54 Serie pneumatische Hochvakuumventile

Produktpositionierung Serie 54

• ProdukttypPneumatisches Hochvakuumventil (Pneumatic Gate Valve)

• Kernfunktion：

• Schnelle Isolierung der Vakuumkammer (Ein-/Ausschaltzeit < 1 Sekunde)

• Für Halbleiter-, Photovoltaik- und ForschungsanlagenUltrahochvakuumsysteme (UHV)

• Hauptvorteile：

• Niedrige Leckage<1×10 ⁻⁹ mbar·L/s(Metalldichtung bis 10-¹¹ mbar·L/s)

• Zero Leckage Design, kompatibelKorrosive Gase(wie Cl₂, SF6 im CVD-Verfahren)

Regeln für die Modellbezeichnung (z.B. Mehrwertsteuer 54152-AA)

Vergleich der häufig verwendeten Untermodelle auf dem chinesischen Markt

Kerntechnische Parameter

1. 真空性能：

• Leckage: Fluor-Gummi-Version <1 x 10-9 mbar·L/s, Metalldichtung <1 x 10-1 mbar·L/s

• Druckdifferenz: Standardversion 10-9 mbar bis zum atmosphärischen Druck (optional bidirektionaler Druck)

2. Mechanische Eigenschaften：

• Antriebsart: Doppelwirkung Pneumatik (0,5 ~ 0,7 MPa Druckluft erforderlich)

• Öffnungszeit: DN63 unter ≤ 0,5 Sekunden, DN200 ≤ 1,5 Sekunden

• Lebensdauer: >500.000 Mal (Metallversiegelung)

3. Materialkompatibilität：

• Fluor-Gummi (AA): niedrige Kosten, nicht widerstandsfähig gegen Plasma

• Metalldichtung (MM): Korrosionsbeständigkeit, hohe Temperaturbeständigkeit, hoher Preis von 30% ~ 50%

• Material des Ventilkörpers: Edelstahl 316L (optionale Elektrolyse-Polierung EP-Klasse)

• Dichtungsoptionen:

V. Wichtige Schritte der Auswahl

1. Durchmesser bestimmenWählen Sie DN40/DN63/DN160/DN200 je nach Rohrstrom

2. Dichtung auswählen：

• Regelmäßiges Verfahren: Fluorkummi (AA)

• Gravur/Ioneninjektion: Metalldichtung (MM)

3. Übereinstimmung mit Frankreich：

• ISO-K-Flansch: hoher Durchfluss (z. B. Beschichtungsanlagen)

• CF-Flansch: Ultrahochvakuum (z. B. Halbleiterkammer)

4. Besondere Bedürfnisse：

• Korrosionsgase: OptionalVernickelter VentilkörperoderHash Legierung Dichtung

• Hochtemperaturumgebung: Metalldichtung + Hochtemperaturmagnetventil (z.B. Festo MS6-Serie)

6. Installation und Wartung

• Installationsspezifikationen：

• Der Ventilkörper muss horizontal oder vertikal montiert werden (Neigungen vermeiden)

• Flanschschrauben müssen in diagonaler Reihenfolge angespannt werden (Drehmoment-Referenz-MwSt-Handbuch)

• Wartungsberatung：

• Überprüfung des Verschleißes der Dichtungsfläche alle 6 Monate (Metalldichtungen können regelmäßig geschliffen werden)

• Der Fluor-Gummi-Dichtring muss 12 Stunden nach der Exposition zur Atmosphäre stehen und dann Vakuum pumpen.

7. Typische Fehlerbehebung

Alternativen auf dem chinesischen Markt

1. Inländische Ersatz：

• ShenyangGDC-Serie Absperrventile(DN40 ~ DN250, Leckage < 5 x 10-9 mbar · L / s)

2. Japanische Marken：

• SMCVZH Serie(niedriges Vakuum, kostengünstig)

• Lieferzeiten：

• Standardmodell: 4-6 Wochen

• Kundenspezifische Ausführung (z.B. vernickelter Ventilkörper): 8-12 Wochen

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