PC300 Druckregler

VerhandlungsfähigAktualisieren am01/07

Modell

Natur des Herstellers: Hersteller

Produktkategorie

Ursprungsort

Online Beratung

Übersicht

Der Druckregler PC300 ist ein Druckregler mit voller Durchflussmessfunktion, der hauptsächlich im Bereich der Halbleiter eingesetzt wird, z. B. in Wafer-Rückkühlsystemen, um den Druck von Kühlgasen auf der Rückseite von Siliziumflatten wie Helium, Stickstoff und Argon zu steuern.

Produktdetails

Innovationspunkte

Vollständige Digitalisierung der Produkte

Das Produkt verwendet einen Mikroprozessor mit hoher Intelligenz, hoher Zuverlässigkeit und einfacher Wartung.

Doppelsteuertechnologie

Das Produkt verwendet eine Doppelsteuertechnologie, die eine hohe Reaktion und eine hohe Präzision erreicht.

Anwendungsbereich

Halbleiter - integrierte Schaltungen

Halbleiter - Verpackung

Halbleiteranzeige

Halbleiterbeleuchtung

Halbleiter - Mikroelektromechanische Systeme

Leistungshalbleiter

Verbindungen Halbleiter

Technische Indikatoren

Modell	Der PC300
Vollständiger Verkehr	(10 20 50 100 200 500 5000) SCCM
Vollständiger Druck	(10 20 50 100) Torr
Kontrollmethode	Downstream
Präzision der Druckregelung	±0,2 % von F.S.
Kontrolle der Wiederholbarkeit	±0,2 % von F.S.
Reaktionszeit	<1,0 Sekunde
Betriebstemperaturbereich	10 ℃ bis 50 ℃
Typ des Ventils	Normalerweise geschlossen
Auslaufrate	< 1x10^-12(SCC/SEC He)

Ähnliches Produkt Empfehlen