PC100 Druckregler

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Übersicht

Der Druckregler PC100 ist ein digitales Druckreglerprodukt, das eine hohe Genauigkeit und Zuverlässigkeit bei der Steuerung und Messung des Gasdrucks bietet. Es kann sowohl digitales Signal als auch 0 bis 5V analoges Signal unterstützen und mit einer einzigen Stromversorgung versorgt werden. Darüber hinaus erleichtert das offene Standardprotokoll die Entwicklung von Steuerungs- und Erfassungssoftware.

Produktdetails

Innovationspunkte

PTS-basierte Drucksensortechnologie

Einerseits durch die Optimierung von Druck- und Temperatur-Doppelparametern, die Erstellung von Druck-Temperatur-Datenvorlagen zur Berechnung von Kompensationskoeffizienten für die Temperaturkompensation; Andererseits ermöglicht die Verbesserung der Sensormontageposition und die Verkleinerung der Erkennung des Hohlraumvolumens die Messung des Sensorsignals durch eine genauere und präzisere Kontrolle des Drucks.

KI-basierte Druckkontrolltechnologie

Durch die Erstellung eines Datenmodells für Druckschwankungen können Sie Muster wie Druckschwankungen mit festem Durchfluss, Druckschwankungen mit festem Durchfluss und andere schnell erkennen. Die Druck-PID-Regelung durch Vorerhöhung oder Reduzierung der Ventilspannung in Abhängigkeit von verschiedenen Mustern ist durch eine schnelle Reaktionsgeschwindigkeit und eine stabile Steuerung gekennzeichnet.

Vollmetallbeständige Korrosionstechnologie

Verwendet eingebettete Fluor-Verhältnisventiltechnologie. Die Ventildichtungsstruktur besteht hauptsächlich aus Edelstahl 316L und Tetrafluormaterial (PTFE). PTFE-Materialien können die Lebensdauer des Produkts verlängern und sind für verschiedene Arten von korrosiven Gasen geeignet, während die Dichtung besser ist als die Metalldichtung.

Anwendungsbereich

Halbleiter - Anzeige

Halbleiter - integrierte Schaltungen

Halbleiter - Beleuchtung

Saubere Energie - Photovoltaik

Technische Indikatoren

Modell	PC100
Druckart	Absoluter Druck
Vollständige Drucksteuerung	1000Torr und 1200mbar
Druckbeständigkeit	3MPa
Vollständiger Durchfluss der Ventilmündung	50, 500sccm; 1, 2, 3 und 5 SLM
Kontrollmethode	Upstream
Temperaturfaktor	Null: ± 0,02% von F.s. / ℃; Spannung: ±0,04% des Lesens / ℃
Druckauflösung	0,1 Torr
Präzision der Druckregelung	±1,0% des Lesens (≥10% FS); ±0,2% von FS (<10% FS)
Reaktionszeit	< 1,0 S
Betriebstemperaturbereich	10℃~50℃
Mechanische Schnittstelle	Doppel-Karten-Buchse 1/4 ', VCR 1/4 "
Typ des Ventils	Häufig geschlossen
Auslauf	< 1x10^-10(scc/sec Er)
Innere Leckage	< 1,0 % des Vollstrecksvolumens der Ventilmündung (bei geschlossenem Ventil 25 psig bei Einluft und Atmosphäre bei Ausluft)
Stromversorgung	+15 ~ +24 VDC (<4 Watt)
Elektrische Schnittstelle	DB-9-Stift, EtherCAT-Anschluss

Hinweis:

Gasdruckregler in der Fabrik verwenden in der Regel Stickstoff (N₂(Definition).

Die Einheit des Gasdrucks ist: Torr mbar (Millibar)

Der Standardzustand lautet: Temperatur - 273,15 K (0 ° C); Luftdruck: 101325 Pa (760mm Hg)

In den PC-Produkten von Huacheng Electronics sind die Einheiten SCCM und "mL/min, 0 ° c, 1atm" gleichwertig und die Einheiten SLM und "L/min, 0 ° c, 1atm" gleichwertig.

F.S. (Full Scale): Vollständiger Skalenwert S.P. (Set Point): Setzen eines Punktes

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