MKS Revolution RPS AX7690 Entfernte Plasmaquelle

MKS Revolution RPS AX7690 Entfernte PlasmaquelleBereitstellung einer leistungsstarken und sauberen Reaktionsgasquelle, die für die Verarbeitung von Halbleiterwafern erforderlich ist.Die innovative R*evolution ist ein Produkt in der neuen Serie von Remote Plasma Sources, die speziell für "Onwafer"-Anwendungen entwickelt wurde und die die vor Ort bewährte Low Field Ring Plasma-Technologie von MKS mit dem Plasma-Applikator-Design von * kombiniert, um ultrasaubere atomneutrale Partikel oder Teileköpfe zu erzeugen.

Atomreije Radikale sind in vielen Prozessen von großer Bedeutung, wie z. B. der Entfernung von Photogravierkleben, der Wafer-Vorreinigung sowie der Nitrifizierung und Oxidation von Dünnfolien.Freie Radikale entstehen in der Regel durch Plasmaerzeugung.Allerdings sind die zugehörigen geladenen Teilchen manchmal unwillkommen.Um diese nachteiligen Auswirkungen zu vermeiden, wird das Plasma von außen erzeugt und die freien Radikale effektiv in den Behandlungsraum transportiert.

MKS Revolution RPS AX7690 Entfernte PlasmaquelleDer Reaktionsgasgenerator integriert Quarzvakuumkammer, HF-Stromversorgung und alle notwendigen Steuergeräte in einer kompakten, unabhängigen Einheit für eine einfacheInstalliert direkt im Bearbeitungsraum des Werkzeugs.Das Ergebnis ist eine äußerst saubere Quelle von freien Atomradikalen, die die gewünschte Reaktion auf dem Wafer erzeugt und gleichzeitig die Komplexität erheblich reduziert.Die R*evolution Remote Plasma-Quelle liefert eine Plasmaleistung von bis zu 6 kW und bietet einen hohen Durchfluss von freien Radikalen (bis zu 5 slm) für den Prozess, wodurch die Entfernungs- oder Ätzgeschwindigkeit doppelt so schnell ist wie bei herkömmlichen Mikrowellensystemen.Durch ihre hohe Effizienz und niedrige Kosten senkt die R*evolution Remote Plasma Source die Gesamtinvestitionen und die Betriebskosten des Werkzeugs erheblich.Darüber hinaus ermöglichen die kleineren Größen und das einfache Design eine einfache Installation, Bedienung und Wartung.