AE HF-Stromversorgung RFG 3001 13.56MHz 3KW

AE HF-Stromversorgung RFG 3001 13.56MHz 3KWRF-GeneratorEs ist eine langfristig bewährte Hochleistungs-HF-Stromversorgung mit ausgezeichneter Prozessstabilität und Steuerungsfähigkeit, die die präzise Steuerung der HF-Ausgabe erreichen kann und eine ausgezeichnete Leistung in Halbleitersputtern, Ätzen, CVD, PECVD und anderen Prozessen hat.Die HF-Stromversorgung der Serie AE RFG verfügt über eine hervorragende Prozessstabilität und HF-Steuerung, die eine präzise Steuerung der HF-Ausgabe ermöglicht. Die RFG-Serie HF-Stromversorgung hat eine gute Filmbildungsfähigkeit, eine schnelle Filmbildungsgeschwindigkeit und eine hohe Effizienz, eine breite Anwendung im Halbleiterprozessfilm-Prozess und kann die Effizienz der Produktionslinie und die Produkteffizienz bis zu einem gewissen Grad verbessern. Diese HF-Stromversorgung ist insgesamt kompakt, kompakt und praktisch, um die Nutzungskosten des Kunden zu senken.

AE HF-Stromversorgung RFG 3001 13.56MHz 3KWRF-GeneratorParameter Spezifikationen

Gerätemarke: AE (Advanced Energy)

设备型号：RFG 3001

Wechselstrom-Eingang: 3 Phase ~, ~ 208V / PE, 50 / 60Hz

RF-Ausgang: 13,56 MHz, 3000 W, 387 V~

Kommunikationsschnittstellen: Control, CEX

Ausrüstungskühlung: Wasserkühlung

Wasserkühlung: Max. Eingangsdruck 6,9 Bar/690 kPa