MKS RF-Stromversorgung 53-S30-64 63.87MHz 18KW

MKS RF-Stromversorgung 53-S30-64 63.87MHz 18KW RF-GeneratorEs ist ein ausgezeichneter RF-Generator mit zuverlässiger Leistung und stabiler Ausgabefähigkeit, der vor Ort geprüft wurde, was eine ausgezeichnete Prozessstabilität und Ausgabensteuerungsfähigkeit in der realen Prüfung widerspiegelt. Diese Art von HF-Stromversorgung kann die präzise Steuerung der HF-Ausgabe erreichen und wird weit verbreitet in der Sputterung von Halbleiterprozessen, CVD、PECVD、 In Prozessen wie Ätzen, und mit ausgezeichneter Leistung. RD5060Z HF-Stromversorgung hat eine ausgezeichnete Filmgebung Fähigkeit, in der Halbleiter-Film-Prozess, hat die Filmgebung Geschwindigkeit, hohe Effizienz, gute Qualität Vorteile, bis zu einem gewissen Grad in der Lage, die Linie Effizienz und Fertigprodukt Effizienz zu verbessern, mit einer sehr breiten Anwendung.

MKS RF-Stromversorgung 53-S30-64 63.87MHz 18KW RF Generator Spezifikationen

设备品牌：MKS

Gerätenummer: 53-S30-64

Wechselstromeingang: 3 Phasen~, 380/400 VAC ±10%, 16A, 50/60Hz

RF-Ausgang: 63,87 MHz, 18 KW Pulsed, 540 Watts, 50 Ω

Kommunikationsschnittstelle: Remote, RS-232C

Ausrüstungskühlung: Luftkühlung