MKS RF-Stromversorgung RD5060Z 60MHz 2000W

MKS RF-Stromversorgung RD5060Z 60MHz 2000WRF-GeneratorEs ist ein ausgezeichneter RF-Generator mit zuverlässiger Leistung und stabiler Ausgabefähigkeit, der vor Ort geprüft wurde, was eine ausgezeichnete Prozessstabilität und Ausgabensteuerungsfähigkeit in der realen Prüfung widerspiegelt. Diese Art von HF-Stromversorgung kann die präzise Steuerung der HF-Ausgabe erreichen und wird weit verbreitet in der Sputterung von Halbleiterprozessen, CVD、PECVD、 In Prozessen wie Ätzen, und mit ausgezeichneter Leistung. RD5060Z HF-Stromversorgung hat eine ausgezeichnete Filmgebung Fähigkeit, in der Halbleiter-Film-Prozess, hat die Filmgebung Geschwindigkeit, hohe Effizienz, gute Qualität Vorteile, bis zu einem gewissen Grad in der Lage, die Linie Effizienz und Fertigprodukt Effizienz zu verbessern, mit einer sehr breiten Anwendung.

MKS RF-Stromversorgung RD5060Z 60MHz 2000WRF-GeneratorParameter Spezifikationen

Gerätemarke: MKS

Gerätenummer: RD5060Z

Wechselstromeingang: 3 Phase~, 480V, 15A

RF-Ausgang: DUAL 2.0KW, 60MHz

通讯接口： CEX In/Out, Profibus, EtherNet, Sync In/Out, Reserviert, RS-232C

Ausrüstungskühlung: Wasserkühlung

Gewicht: 445 kg, 98 lbs