Hochvakuum Magnetron Ionen Spritzer

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GVC-2000TD Hochvakuum-Magnetron-Ionensputtergerät kann eine Vielzahl von Metall-, Monomer-, anorganischen Nichtmetall-Folien vorbereiten; Ohne Vakuum zu brechen, kann eine mehrschichtige Verbundfolienbereitung erreicht werden.

Produktdetails

高真空磁控离子溅射仪

1. GVC-2000TD Hochvakuum Magnetron Ionen Spritzer Produktvorteile:

1, kann eine Vielzahl von Metallen, monogen, anorganischen nichtmetallischen Filmen hergestellt werden;

2, ohne Vakuum zu brechen, kann eine mehrschichtige Verbundfilm-Vorbereitung erreicht werden;

3. Ein-Klick-Betrieb, vollautomatische Steuerung, hoher Grad an Intelligenz;

4. Konsistenz und Wiederholbarkeit;

5, eingebaute mehrere Zielfunktionsparameter, ohne den Beschichtungsprozess zu suchen;

6, kleine Größe, kompakte Struktur, sehr platzsparend.

　　Produktparameter des Magnetronen-Ionensputters GVC-2000TD:

Größe (Host)	424 (L) × 345 (D) × 420 (H)	Eingangsstromversorgung	220V / 50Hz 1000W
Spritzzielkopf 1	Gleichstrommagnetron Spritzen	Verfügbare Ziele	Metallziele
Spritzzielkopf 2	RF Magnetron Spritzen	Verfügbare Ziele	Anorganische Nichtmetallziele
Vakuumsystem	Turbomolekularpumpe+Rotationspumpen	Pumpengeschwindigkeit	90L/s + 1,1 L/s
Vakuummessung	Verbundvakuumregler	Messbereich	1E-3 ~ 1E5Pa
Vakuumkammer	φ 200 × 130 mm Hochborosiliciumglas	Pumpenschlag	10 Minuten (≤5E-3Pa）
Probengröße	φ 90 mm	Probenstisch wechseln	Automatische Steuerung
Spritzzielgröße	φ 57 mm(Dicke) 0,1-2 mm）	Arbeitsvakuum	0,1-2Pa
Bedienungsschnittstelle	7 Zoll TFT Touch-LCD-Bildschirm	Betriebssprache	Chinesisch (Optional in anderen Sprachen)
Wasserkühler	Kleine Tischkühlmaschine	Kühlmaschinenleistung	180W
Vorsputterblech	Vollautomatisch gesteuerte Vorsputterscheiben Standard
Membrandickenmesser (optional)	Anzeige der Beschichtungsdicke in Echtzeit und Steuerung des Beschichtungsprozesses durch Einstellungen zur Messgenauigkeit 0,01 nmSetzen Sie die Genauigkeit 0,1 nmEinmal einstellbarer Bereich 1-999nm
Membrandickenmesser (optional)
Temperatursteuerung (optional)	Probentischbeheizungsmodul 300℃/500℃
Rotationskomponenten (optional)	Drehung, Planetenroutung usw.
Kleinwagen (optional)	Montage des Hosts, der HF-Stromversorgung, des Wasserkühlers usw. zusammen, eine gute Gesamtheit
Installationsumgebung	220V / 10A Drei Loch Steckdose ein, Reinheit 4N Hochreines Argon und höher (Ausgangsdruck) 0,12 MPa）

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