Vollspektrales elliptisches Polarisationsdickenmesser SE950

Vorteile:

1, Mikroflecken Funktion: Standard-Konfiguration Mikroflecken Flecken Größe 80x120 Mikrometer. Eine spezielle optische Konstruktion in Kombination mit einer hochpräzisen Z-Achse in der Schleifklasse entfernt automatisch die Rückreflexion des transparenten Substrats. Die Fokussierungsposition der Membranschicht wird während des Fokussierungsprozesses automatisch ermittelt und die Reflexion hinter dem transparenten Substrat durch optische Schlitze überwunden

2, die Verwendung von Signal-Autofokus, Messsignal und Fokussignal ist das gleiche Signal effektiv zu vermeiden Messpositionsfehler.

Automatische Verfolgung des Inspektors: erhebliche Verbesserung der Messgenauigkeit des elliptischen Instruments, insbesondere für die Materialanalyse der extrem dünnen Schicht und die Genauigkeit von ψ und Δ

Elektrische automatisch verstellbare Dämpfer: Sie können automatisch oder manuell die Sättigung verschiedener Proben (100% ~ 0,1%) einstellen und die Intensität des UV-Signals und des sichtbaren Lichts segmentiert einstellen, um das beste Messsignal zu erhalten

5, Software-automatische Analyse-Anpassung: Bereitstellung von Membrandicke-Brechungsverhältnis-Voranalyse-Funktion, Datenbank-Vergleichsfähigkeit unbekannter Materialien, Software-automatische Analyse vereinfacht den Betrieb und überwindet die Messschwierigkeiten des Elliptometers, die immer von Fachleuten betrieben werden.

6, Fernbedienung: Durchbrechen der Einschränkungen des Ellipsometers, der den Service und die Schulung erfordert, um die Effizienz des After-Sales-Services erheblich zu verbessern

7. Hochwertiges DUV-Spektrometer: Spektralbereich 220nm-1100nm, (optional bis 1700nm) Auflösung <1nm mit Halbleiterkühlung, hohem dynamischen Verhältnis, Signal-Rausch-Verhältnis, um die Geräuschwirkung so gering wie möglich zu reduzieren

Automatische Erstellung von 2D- oder 3D-Mapping-Karten und automatische Datenanalyse, Spektren werden automatisch gespeichert, Daten können zusammengefasst und hochgeladen werden

Die Testzeit wird auf 1-3 Sekunden deutlich verkürzt, um die Testeffizienz zu verbessern.

10, die Konstruktion mit UV-passivierter optischer Faser-Doppelfaserstruktur, fortgeschrittene Trennfunktion, die spektrale Stabilität und langfristige Zuverlässigkeit erheblich verbessert.

11, hohe Stabilität Standardfolie, wiederholbare Genauigkeit <0,5A, wiederholbare Genauigkeit der Brechungsrate <0,0005

12, Membran Dicke Testbereich 1nm-20 Mikrometer kann für transparente oder undurchsichtige Substrate getestet werden

13. Kostenlose Modellierung

Spezifikationen:

Optische Prinzipien:

Lichtwellen werden von der Berührung mit der Oberfläche der optischen Komponente bis zur kurzen Zeit, die die Oberfläche der optischen Komponente verlassen, polarisiert.Der Polarisierungszustand wird sich ändern. Elliptische Polarisatoren, die zur Messung von Lichtwellen verwendet werdenInstrumente, die optische Komponenten durchdringen oder die polaren Zustände vor und nach der Reflexion der Oberfläche der optischen Komponente ändern. vonDiese Veränderung des polaren Zustands ist das Ergebnis der Wechselwirkung der Lichtwellen mit dem Material der optischen Komponenten, daDies kann durch die Veränderung des polaren Zustands die physikalischen Eigenschaften der Oberfläche der optischen Komponenten zurückgewiesen werden. HierDie sogenannte Oberfläche der optischen Komponente kann die Oberfläche der optischen Komponente sein, kann auch eine Schicht oder mehrere Schichten seinEin Stapel von Membranen kann auch eine Verschmutzung der Oberfläche der optischen Komponenten sein.
Licht wird durch einen Nicht-Null-Eintrittswinkel auf die Probenoberfläche reflektiert, aufgrund der Dicke der Probe und der Reaktion auf Licht(Absorption oder Transparenz...) und eine Veränderung des Polarisationszustands (Veränderung der Phase und der Amplitude) erzeugt.Diese Methode nennen wir elliptische Messung. Bei der Messung erhalten wir für jede Wellenlänge zwei unabhängige Parameter.Zahl ψ und