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Produktkategorien
Beijing Yingsitou Technologie Co., Ltd.
Frequenzbereich thermische Reflexion Mikromesssystem
VerhandlungsfähigAktualisieren am02/06
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Übersicht
Geräteinführung$r$n$r$n ermöglicht eine vielseitige und innovative Nanoanalyse$r$n$r$n√ Präzise Bewertung der Wärmeleitfähigkeit von Filmen und Partikeln$r$n$r$n√ Aufklärung der Wärmeleitfähigkeit von heterogenen Aspekten durch dreidimensionales Diffusionsmodell$r$n$r$n√ Quantifizierung der Wärmegrenzenleitfähigkeit von tiefen Schnittstellen$r$n$r$n√ Visualisierung der Wärmeleistungsanalyse auf mikroskopischer Skala
Produktdetails
Neue Technologien auf dem Markt (FDTR)
Frequenzbereich thermische Reflexion Mikromesssystem
Frequenzbereich thermische Reflexion Messsystem Ausrüstung Einführung
Ermöglicht vielseitige und innovative Thermoanalysen im Nanoskala
√ Präzise Bewertung der Wärmeleitfähigkeit von Folien und Partikeln
√ Verwenden Sie ein 3D-Diffusionsmodell zur Aufdeckung des heterogenen GeschlechtsWärmeleitfähigkeit
√ Quantifizierung der thermischen Grenzleitfähigkeit der tiefen Schnittstelle
√ Auf MikroskalaVisualisierte thermische Leistungsanalyse
Grundprinzip: Frequenzbereich thermische Reflexion
Was ist eine Wärmereflektion?
Wärmereflektion ist die Veränderung des reflektierten Lichts auf der Oberfläche eines Materials in Bezug auf die Temperatur.
Wenn die Temperaturänderung weniger als 10 K ist, ändert sich die Wärmereflektion linear.
(C)TRthermische Reflexion)
Pumpendetektionsverfahren zur Wärmereflexionsprüfung
Der Pumpenlaser wird auf eine bestimmte Frequenz moduliert und beheizt die Probenoberfläche regelmäßig. Gleichzeitig erkennt der koaxiale Beleuchtungssonde-Laser eine Phasenverzögerung im thermischen Reflexionssignal der thermischen Reflexionskomponente, die mit der Oberflächentemperatur zusammenhängt, aus dem reflektierten Sondenlicht.
(Die Ablagerung einer Goldwandlerschicht auf der Probenoberfläche ist notwendig, um die Pumpenenergie in Wärme und die daraus resultierenden Temperaturänderungen in Reflexionsveränderungen effektiv umzuwandeln.)
Phasenverzögerung im thermischen Reflexionssignal
Das Heizsignal und das thermische Reflexionssignal haben die gleiche Frequenz, aber es gibt eine Phasenverzögerung zwischen ihnen, die von den thermophysikalischen Eigenschaften und der Geometrie der Probe abhängt.
Phasenkurvenmessung über Frequenzen hinweg
Scannen Sie die Modulationsfrequenz (Heizfrequenz) des Pumpenlasers von niedrig auf hoch und zeichnen Sie eine Phasenverzögerungskurve, die in der Regel innerhalb von 10 Minuten erhalten wird.
Datenanpassung und Parametereextraktion
Die thermophysikalischen Eigenschaften werden quantitativ bewertet, indem die erhaltenen Phasenkurven an das Wärmeübertragungsmodell angepasst werden. Das Modell umfasst die folgenden Parameter.
Parameter aller Schichten |
Wärmeleitfähigkeit (W/m·K), Volumenverhältnis (kJ/m³·K) und Dicke (nm) |
Parameter inJede Schnittstelle |
Wärmegrenze Wärmeleitfähigkeit (MW/m2.K) |
(Die Laserpunktgröße und die Verschiebung zwischen dem Pumpenlaser und dem Detektionslaser sind ebenfalls als Passparameter berücksichtigt.)
Hauptanwendungsbereiche von Frequenzbereich-Thermareflexionsmesssystemen
√Halbleiterindustrie: Bewertung der Wärmeleitfähigkeit der Wärmegrenze zwischen Folie und Substrat sowie der Wärmeleitfähigkeit der Kühlfüllstoffpartikel, die für die Wärmeausfallanalyse von Chips und die Wärmeleitfähigkeit der Schnittstelle von elektronischen Verpackungsmaterialien verwendet werden können.
√Materialentwicklung für thermische Wandler: zur Messung der Wärmeleitfähigkeit von dünnen Folien und kleinen Kornen (durch die Ebene und das Innere), um die Wärmeleitfähigkeit von thermoelektrischen Geräten bis auf Nanometer zu reduzieren.
Teil 1
Funktionen durch Laserscannen und Mikrofokusstrahlen
Durch die Verwendung von Mikroskala-Laserpunkten und dreidimensionalen Wärmediffusionsmodellen kann die Wärmeleitfähigkeit der heterogenen Geschlechter bewertet werden. Das Gerät kann auch die Wärmeleitfähigkeit in mikroskaligen Partikeln messen.
Neben der Verwendung eines elektrischen Plattformscans für die FDTR-Karte kann der Laserstrahlscan auch die Wärmeleitfähigkeit und die Wärmegrenzleitung in der Ebene bewerten.
Teil 2
bahnbrechende Anwendungen in der Thermophysik
Charakterisierung der Wärmeleitfähigkeit
Blockförmige Substrate - Sapphire und Diamanten
Dieser Fall zeigt die Messung der Wärmeleitfähigkeit auf Sapphir- und Diamantsubstraten. Die passenden Ergebnisse zeigen, dass die Wärmeleitfähigkeit des Sapphir-Substrats 30,8 W / m · K ist, während die Wärmeleitfähigkeit des Diamant-Substrats 2820,0 W / m · K ist, was darauf hindeutet, dass auch mitHochAuch die Wärmeleitfähigkeit des Materials kann quantitativ bewertet werden.
Dünnfilm - Nichtkristall mit einer Dicke von 100 nmGe1-xSnx
Diese Studie untersuchte die Wärmeleitfähigkeit von vier nicht-kristallinen Germanium-Zinnfilmen mit einer Dicke von etwa 100 Nanometern, die sich auf Siliziumsbasis absetzen, die unterschiedliche Konzentrationen von Zinnelementen enthalten. Die Ergebnisse zeigten, dass die Wärmeleitfähigkeit mit zunehmendem Zinngehalt deutlich abnimmt.
Charakterisierung der Wärmegrenze-Wärmeleitfähigkeit
Partikel - 18um monokristalline Aluminiumoxidpartikel
Die folgende Grafik zeigt eine Fallstudie, die die Wärmeleitfähigkeit von Einkristallinoxidpartikeln mit einer Partikelgröße von 18um bewertet. Diese Partikel haben eine raue / polyhedrale Struktur, so dass die Wärmeleitfähigkeit unserer raffinierten Partikel. Diese Partikel haben eine raue / polyhedrale Struktur, daher schießen wir Signale gut aus. Die passenden Ergebnisse zeigten, dass die Wärmeleitfähigkeit dieser Partikel der blockförmigen Aluminiumoxid entspricht.
Polygonales Material - Blockförmiges Monokristall La5Ca9Cu24O41(LCCO)
Diese Studie wurde angepasst, indem die Wärmeleitfähigkeit in horizontale und longitudinale Komponenten aufgeteilt wurde, um blockförmige Monokristalle La5Ca9Cu24O41(LCCO) Materialien heterogenen Wärmeleitfähigkeit. Die Ergebnisse zeigen: Aufgrund des magnetischen Vibratoreffekts ist seine horizontale Wärmeleitfähigkeit höher; Die vertikale Wärmeleitfähigkeit ist niedriger, hauptsächlich durch den Sononeffekt.
Wärmegrenze Wärmeleitfähigkeit - PVD mit Spritzen
Durch den Vergleich der experimentellen Daten haben wir gezeigt, wie sich der thermische Grenzleitungskoeffizient (TBC) an der Schnittstelle des Saphirsubstrats bei der Herstellung von Goldsubstraten mit physikalischer Gasphase-Ablagerung (PVD) und dem Spritzprozess ändert. Experimentelle Daten zeigen: Der TBC-Wert bei PVD beträgt 138,0 MW/m2K, während der Spritzprozess 306,5 MW/m erreicht2· K, die Wärmeleitfähigkeit des Substrats ist bei beiden Prozessen ähnlich.
Wärmegrenzleitfähigkeit - Schmelzbande Siliziumschnittfläche
Eine Simulationsstudie untersuchte, ob FDTR Änderungen in der kombinierten thermischen Grenzleitfähigkeit (c-TBC) an der Schnittstelle von Fusionsgebundenen Siliziumwafern erkennen kann - ein Parameter, der die Zusammenwirkung von Mehrschichtmedienschichten und der Schnittstelle an der Schnittstelle von Fusionsgebundenen Siliziumwafern synthetisiert. Angenommen, c-TBC beträgt 4,0 MW/m.2K und Schwankungsbreite ± 40%, Strahldurchmesser von 50um, die Ergebnisse zeigen, dass Siliziumschichten mit einer Dicke unter 20um effektive Messdaten im niedrigen Frequenzbereich von 10-50 kHz erhalten können.
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