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Produktkategorien
Daimei Instrument Technology Services (Shanghai) Co., Ltd.
FR-Scanner-AIO-Mic-XY300
VerhandlungsfähigAktualisieren am12/23
- Modell
- Natur des Herstellers
- Hersteller
- Produktkategorie
- Ursprungsort
Übersicht
Der FR-Scanner-AIO-Mic-XY300 ist ein integriertes automatisches Schichtdickenmesssystem für die vollautomatische Messung der Schichtdicke auf einer und mehreren Schichten auf einem Musterplatte. Der elektrische X-Y-Trägerstand bietet eine passende Größe von 300 mm x 300 mm für eine präzise Messung durch Vakuumfestigung auf dem Trägerstand. Verschiedene optische Konfigurationen im Spektrumbereich von 200-1700 nm je nach Messdicke und Wellenlängenbereich
Produktdetails
Produktbeschreibung:
Das modulare Dickenmesssystem FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY300, das optische, elektronische und mechanische Module integriert, kann sowohl für die präzise Messung von nicht-grafischen als auch grafischen Filmen (z. B. mikrografische Oberflächen, raue Oberflächen) verwendet werden.
Legen Sie die Wafer auf eine Vakuumsaugplatte (Wafer-Größe mit einem Durchmesser von ≤ 300 mm) und versehen sie mit Reflexivitätsstandardteilen. Die Messungen werden durch leistungsstarke optische Module durchgeführt, die nur wenige Mikrometer groß sind. Elektrische Plattformen mit einer Reichweite von 300 mm in XY-Richtung mit ausgezeichneter Geschwindigkeit, Genauigkeit und Wiederholbarkeit
FR-Scanner-AIO-Mic-XY300Angebot:
Echtzeit-Reflexionsspektromessung
o Filmdicke, optische Eigenschaften, Ungleichmäßigkeitsmessung, Dickenkartung
o Bildgebung mit einer integrierten, USB-angeschlossenen Farbkamera in hoher Qualität
Umfangreiche Statistiken über Messparameter
Halbautomatische Musterausrichtung zur Messung periodischer Grafikbereiche
oderEs ist anders.Softwarefunktionen wie z.B. Click2Move (Bildschirmklickpunktmessung), Maßstäbe
Anhang:
FR-AutoFocus: 100mm lange lineare Achse für den Autofokus mit zwei Betriebsmodus: Bildfokus (Kontrast) / Reflexionsintensität
Rotationsmodul: Die elektrische Plattform mit Rotationsmodulen bietet hohe Auflösung und Genauigkeit
FR-FilterWheel: Elektro-Filterrad-Modul mit Steckplatz für 12 Filter, das automatisch vom Computer gesteuert wird: Filtergröße: 0,5 Zoll Durchmesser, bis zu 6 Filter (1 Zoll)
FR-AutoTurret: Automatischer Turnturm mit computergesteuerter Aufnahme von 4 Objektiven: Objektivwechselgeschwindigkeit ca. 1,0-3,0 Sekunden
Objektive: VIS/NIR-Objektive für lange Arbeitsdistanzen: 5X, 10X, 20X, 40X, 50X
Reflexive UV/NIR Objektive: 10X, 15X, 25X, 40X
Pumpe: Geräuscharme Vakuumpumpe, 2,5 L / min, Vakuumgehalt - 60 kPa.
Chucks: 6-Zoll-Lichtmaskengerät 6-Zoll-Lichtmaskengerät mit Referenzbereich, Multiwafer-Gerät (100-300 mm und unregelmäßig geformte Geräte) mit Referenzbereich und Dunkelbereich für automatische Benchmarks
Spezifikationen:
2D-Dickendiagramm:
3D-Dickenbild:
Messprinzip:
