Dynamisches Sekundär-Ionen-Massenspektrometer D-SIMS

Der ADEPT-1010 wurde speziell für die automatische Analyse von flachen Injektions- und Isolierfolien entwickelt und ist ein gängiges Werkzeug für die meisten Halbleiterentwicklungs- und Unterstützungslabore. Durch ein optimiertes Sekundär-Ionen-Sammeloptiksystem und ein Ultra-Hochvakuum-Design wird die Empfindlichkeit zur Erkennung dopierter Komponenten und häufiger Verunreinigungen bei der Dünnfilmstruktur gewährleistet.

Die Dynamische Sekundäre Ionen-Massenspektrometrie (D-SIMS) ist eine hochempfindliche Oberflächenanalysetechnik für die Zusammensetzungsanalyse von Feststoffen.

Der ADEPT-1010 wurde speziell für die automatische Analyse von flachen Injektions- und Isolierfolien entwickelt und ist ein gängiges Werkzeug für die meisten Halbleiterentwicklungs- und Unterstützungslabore. Durch ein optimiertes Sekundär-Ionen-Sammeloptiksystem und ein Ultra-Hochvakuum-Design wird die Empfindlichkeit zur Erkennung dopierter Komponenten und häufiger Verunreinigungen bei der Dünnfilmstruktur gewährleistet.

Arbeitsprinzip:

Ein dynamisches Sekundär-Ionen-Massenspektrometer bombardiert die Probenoberfläche mit einem fokussierten, energieintensiven Ionenstrahl (z. B. O₂+, Cs+, Ar+, etc.), wodurch Atome oder Moleküle auf der Probenoberfläche gespritzt werden. In diesem Prozess werden teilweise ausgespritzte Partikel geladen und bilden Sekundärionen. Diese sekundären Ionen werden gesammelt und zur Analyse in ein Massenspektrometer übertragen, in dem die chemische Zusammensetzung und die Elementenverteilung der Probe bestimmt werden können.