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Aus dem Kokon | DPM100Dual Prism Ultra Breite Kontinuierliche Spektrum Monochromer
An der Spitze der Materialwissenschaft werden Spektrologietechnologien – einschließlich der Oberflächenfotospannung (SPV), der Photoelektronströmungsspektrometrie (PCS), der Photoelektronen-Emissionsspektrometrie (PES) und der optischen Transmissionsspektrometrie (OTS) – allmählich zum neuen Standard für die Erkennung von Halbleiterfehlerzuständen. Traditionelle Monochrome-Messgeräte sind jedoch durch den Spektralbereich und die Diffuse-Lichtstörung begrenzt, was es schwierig macht, kontinuierliche, hochpräzise Messungen zu erreichen, was das Anwendungspotenzial der entsprechenden Technologie teilweise einschränkt. Jetzt ist diese Grenze durchbrochen worden: Entwickelt vom Team des Helmholtz-Zentrums (Berlin) in Zusammenarbeit mit Freiberg InstrumentsDPM100Dual Prism Ultra Breite Kontinuierliche Spektrum MonochromerMit dem extrem breiten Spektrumbereich von 170 - 3100 nm und den Vorteilen der Dispersionsunterdrückung in acht Größengraden eröffnet es eine ganz neue Dimension für spektroskopische Anwendungen, insbesondere die Oberflächenfotovoltage-Technologie (SPV).

Neue Produkte:
Traditionelle optische Systeme verlassen sich häufig auf Spiegel, um den Lichtweg zu ändern, aber Spiegel müssen genau kalibriert und anfällig für Vibrationen. Das DPM100 ist ein Monochrometer, das auf einem spiegellosen Schmelzkwartzrahmen basiert, der durch die vollständigen internen Reflexionseigenschaften des Prismas eine direkte Lichtwende ermöglicht und den Gebrauch von externen Reflexen reduziert. Erfüllen Sie kontinuierliche Messungen vom nahen Infrarot (0,4 eV) bis zum tiefen UV (7,3 eV), wie in Abbildung 1 gezeigt. Wichtige Innovationen sind ein optisch geführtes Dual-Prisma-Rotationssystem und ein adaptives Brennweite-Objektivdesign, das eine spektrale Auflösung von bis zu meV gewährleistet (z. B. eine UV-Bereich-Auflösung von bis zu 7 meV). Dieses kompakte Gerät ist für hochempfindliche fotoelektromessungen optimiert und ist die ideale Lichtquelle für Anwendungen wie SPV.
Abbildung 1: DPM100 ultrabreites kontinuierliches Spektrum Monochromator Konzept Design, Dual-Prisma-Struktur für eine breite Spektrum kontinuierliche Abdeckung
Produktübersicht:
Mit dem DPM100 wurden die Grenzen der herkömmlichen Monochromaten in Bezug auf den spektralen Bereich und das differierte Licht erfolgreich unterbrochen und die Anwendung der Spektrologie deutlich verbessert. Es deckt ein ultrabreites Spektrum von 0,4-7,3 eV ab und kann kontinuierlich vom Infrarot bis zum tiefen UV-Bereich messen, mit einer Diffusionssuppression von bis zu acht Größengraden und den Vorteilen einer hohen Auflösung und einer effizienten Messung. Dies ist eine starke Unterstützung für Spektrologie wie Oberflächenfotospannung, optisch angeregtes transientes Stromspektrum, UV-Optoelektronikspektrum und fotogenisches Spektrum, insbesondere in der SPV-Technologie, um die Bedürfnisse von Szenarien wie Halbleiterfehlererkennung besser zu erfüllen, um praktische und zuverlässige Werkzeuge für die vertiefte Entwicklung dieser Spektroanwendungen bereitzustellen.
Produktvorteile:
Ultrabreites kontinuierliches Spektrum
Abdeckungsmaterial Bandspalt 0,4-7,3 eV (entsprechender Wellenlängenbereich: 3100-170 nm) und nahtlose Unterstützung der Vollbandspektromessung vom Infrarot bis zum tiefen UV ohne Umschalten von Rastern oder Filtern, wie in Abbildung 2 gezeigt. Diese Konstruktion verhindert spektrale Tomografien, die durch Schaltraster verursacht werden, und herkömmliche Geräte können Fehler bei der Schnittstelle UV-sichtbares Licht erreichen. Der ultrabreite Spektrumbereich eignet sich für die vollständige Fehleranalyse von ultrabreiten Verbotsbandmaterialien wie SiC (3,3 eV), GaO (4,8 eV) und Diamant (5,5 eV).
Abbildung 2: Kontinuierliches Spektrum (0,4-7,3 eV) und Intensitätsverhältnis des Monochromers
II. Spiegellose Schmelzkwartz-Doppelprisma-Architektur
Mit Stickstoffblasen zur Beseitigung der tiefen UV-Abbau durch Schäden an der Spiegelbeschichtung gewährleistet das Design eine Energiestabilität von > 95% im gesamten 170-3100 nm-Band, während herkömmliche Geräte den Spektralverlust von weniger als 60% im 250 nm-Band überschreiten.
III. Fortgeschrittene Diffuse-Licht-Unterdrückung Fähigkeit
Eine Unterdrückungskapazität von über acht Größengraden (mit einer praktischen Diffusion von bis zu 100 fA) sorgt dafür, dass das spektrale Signal rein ist und schwache Fehlerzustände genau erkannt werden.
Hohe Empfindlichkeit und Effizienz
Mit einem 210 dB-Breitbereichsdetektor (Expertentechnologie DE102023003991.8) können schwache Strome auf der fA-Ebene gemessen werden und die einzelne Messzeit beträgt nur 1-7 Sekunden, was die Experimentaleffizienz erheblich erhöht.