AE HF-Stromversorgung RFG 5500 MN3155051-015

AE HF-Stromversorgung RFG 5500 MN3155051-015,5000W 13.56MHz,ASISverfügbar, in gutem Zustand, kann versenden.PN：27-115617-00; MN：3155051-015。

AE HF-Stromversorgung RFG 5500 MN3155051-015Es ist eine langfristig bewährte Hochleistungs-HF-Stromversorgung mit ausgezeichneter Prozessstabilität und Steuerungsfähigkeit, die die präzise Steuerung der HF-Ausgabe erreichen kann und eine ausgezeichnete Leistung in Halbleitersputtern, Ätzen, CVD, PECVD und anderen Prozessen hat. Die HF-Stromversorgung der Serie AE RFG verfügt über eine hervorragende Prozessstabilität und HF-Steuerung, die eine präzise Steuerung der HF-Ausgabe ermöglicht. Die RFG-Serie HF-Stromversorgung hat eine gute Filmbildungsfähigkeit, eine schnelle Filmbildungsgeschwindigkeit und eine hohe Effizienz, eine breite Anwendung im Halbleiterprozessfilm-Prozess und kann die Effizienz der Produktionslinie und die Produkteffizienz bis zu einem gewissen Grad verbessern. Diese HF-Stromversorgung ist insgesamt kompakt, kompakt und praktisch, um die Nutzungskosten des Kunden zu senken.

RFG 5500 Spezifikationen

Gerätemarke: AE (Advanced Energy)

Gerätenummer: RFG 5500

Wechselstromeingang: ~ 208V, 3 Phasen~, 50 / 60Hz, 10,0kW

RF-Ausgang: 13,56 MHz, 5000W

Ausrüstungskühlung: Wasserkühlung