AE Funkversorgung Paramount MF 15002 15KW

AE Funkversorgung Paramount MF 15002 15KW1,8-2,17MHz RF-GeneratorEs ist eine hochleistungsfähige HF-Stromversorgung mit einer stabilen Ausgangs- und Steuerkapazität, die lange Zeit vor Ort geprüft wurde und eine ausgezeichnete Prozessstabilität im praktischen Betrieb zeigt. Die HF-Stromversorgung der AE Paramount-Serie verfügt über eine ausgezeichnete Filmbildungsfähigkeit, die weit verbreitet in Halbleiter-Folienprozessen verwendet wird. Diese HF-Stromversorgung ist schnell und effizient, um die Effizienz der Produktionslinie und die Produkteffizienz zu verbessern. Die HF-Stromversorgung MF 15002 ermöglicht eine präzise Steuerung der HF-Ausgänge, Spritzen im Halbleiterprozess, CVD、PECVD、 Es gibt mehr Anwendungen und gute Leistung im Ätzprozess.

AE Funkversorgung Paramount MF 15002 15KWParameter Spezifikationen

Gerätemarke: AE (Advanced Energy)

Gerätenummer: Paramount MF 15002

Wechselstromeingang: 3 Phase ~ + PE, 200 ~ 208V, 50 / 60Hz, 70A

RF-Ausgang: 15KW, 1,8 ~ 2,17MHz, <1000Vrms

通讯接口： Synchronisierung In/Out, CEX In/Out, Match, User, Serial, ENET

Ausrüstungskühlung: Wasserkühlung

Wasserkühlung: Max. Eingangsdruck 6,9 Bar/690 kPa