AE Funkversorgung Cesar 0230 2MHz 3000W

AE Funkversorgung Cesar 0230 2MHz 3000WRF-GeneratorEs ist ein ausgezeichneter RF-Generator mit zuverlässiger Leistung und stabiler Ausgabefähigkeit, der vor Ort geprüft wurde, was eine ausgezeichnete Prozessstabilität und Ausgabensteuerungsfähigkeit in der realen Prüfung widerspiegelt. Diese Art von HF-Stromversorgung kann die präzise Steuerung der HF-Ausgabe erreichen und wird weit verbreitet in der Sputterung von Halbleiterprozessen, CVD、PECVD、 In Prozessen wie Ätzen, und mit ausgezeichneter Leistung. Cesar-Serie HF-Stromversorgung hat eine ausgezeichnete Filmgebung Fähigkeit, in der Halbleiter-Film-Prozess, hat die Filmgebung Geschwindigkeit, hohe Effizienz, gute Qualität Vorteile, in gewissem Maße in der Lage, die Effizienz der Produktionslinie und die Fertigprodukt Effizienz zu verbessern, mit einer sehr breiten Anwendung.

AE Funkversorgung Cesar 0230 2MHz 3000WRF-GeneratorSpezifikationen:

Gerätemarke: AE (Advanced Energy)

Artikelnummer: Cesar 0230

Wechselstromeingang: 3 Phase ~ + PE, 200V ~, 50 / 60Hz, 20,0A

RF-Ausgang: 3000W, ~ 615V, 2MHz

Kommunikationsschnittstellen: RS-232, User Port, Matchbox, Diagnostik

Ausrüstungskühlung: Luftkühlung + Wasserkühlung