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Produktkategorien
Suzhou Wissenschaft und Technologie Co., Ltd.
Wissenschaft und Technologie Weißes Licht Interferenzfilm Dickenmeter
VerhandlungsfähigAktualisieren am02/09
- Modell
- Natur des Herstellers
- Hersteller
- Produktkategorie
- Ursprungsort
Übersicht
NS-30UV ist ein inländisches weißes Lichtinterferenzfoliendickenmesser, das von Suzhou Knowledge Technology Co., Ltd. hergestellt wird. Es kann das weiße Lichtinterferenzfoliendickenmesser KLA ersetzen und das Prinzip der optischen Interferenz zur berührungslosen Messung der Dicke von Nano bis Mikron verwenden.
Produktdetails
NS-30UV-Filmdickenmesser ist ein inländisches weißes Lichtinterferenzfilmdickenmesser von Suzhou Knowledge Technology Co., Ltd. hergestellt, das das Prinzip der optischen Interferenz verwendet, um die berührungsfreie Messung der Dicke von Nano bis Mikron zu erreichen.
Technische Parameter:
1. NS-30UV Kernparameter
Wellenlängenbereich: 190-1700 nm
Messbereich: 1 nm - 250 μm
Messgenauigkeit: 1 nm oder 0,2%
Wiederholungsgenauigkeit: 0,02 nm
Messzeit: weniger als 1 Sekunde
Stabilität: 0,05 nm
- Fleckgröße: 0,5 mm
2. Spezifikationen der gleichen Serie
II. Arbeitsprinzip
Der NS-30 verwendet das optische Interferenzprinzip des vertikalen Eingangs von hochstabilem Breitbandlicht, um die Messung von transparenten oder halbtransparenten Membranschichtendicken, Reflexionsgrad und Brechungsgrad auf der Ebene von Nano bis Mikrometer zu ermöglichen. Hochstabiles, breitbandiges Licht, das vertikal einläuft, trifft auf die Probenoberfläche ein und erzeugt optische Interferenzen zwischen den einzelnen Membranschichten. Das reflektierte Licht kann durch spektrale Analyse und Regressionsalgorithmen die Dicke der einzelnen Membranschichten berechnen.
3. Produkteigenschaften
1. Hauptvorteile:
- Hardware-Software-Inlandsproduktion: 100% inländische eigene Forschung, 100% unabhängig kontrollierbar
Berührungslose Messung: Proben, die harte, weiche oder anfällige Oberflächen messen können
- Hohe Präzision und hohe Stabilität: Sub-Nanometer Dickenmessgenauigkeit, statische Stabilität bis zu 0,02 Nanometer
- Mehrschichtenfilmmessung: Die Dicke der einzelnen Schichten der Mehrschichtenfilm kann gemessen werden
- Intelligenter Algorithmus: Kernalgorithmus zur Messung der Membrandücke mit einem Klick
2. Funktionen:
- Automatische Probenmessung, Plattformgröße 100mm ~ 450mm optional
- Software generiert automatisch Messpunktverteilungen nach Bedarf
- 2D- und 3D-Kartierungseffekte mit Informationen wie Dicke / Brechungsgrad / Reflexionsgrad
Messbare Folienspannung und Oberflächenbeugung (Stress/Bow)
- Messgeschwindigkeit: 5 Punkte - 5 Sekunden (200 mm Wafer), 25 Punkte - 14 Sekunden
Prüfergebnisse zeigen
IV. Anwendungsbereiche
NS-30 Foliendickenmesser wird in vielen High-Tech-Bereichen weit verbreitet:
- Halbleiterherstellung: Ablagerungs-/Ätzfilm-Dickenmessung, CMP-Prozess-Oberflächeneinheitsprüfung, Korrosionsmittelstufenhöhenanalyse
- Photovoltaik- und Anzeigepanele: Solarbeschichtungsdicke, AMOLED-Bildschirmmikrostruktur, Touchpanel Kupferstreckenmessung
- Optische Beschichtung: Messung der Membrandicke von AR-Anti-Reflexionsschichten, AG-Anti-Reflexionsbeschichtungen, Filtern, Brillen und anderen optischen Elementen
- Elektronik und Materialwissenschaft: Messung der Filmdicke von Halbleiterchips, LCD-Displays und anderen Geräten, Materialoberflächenspannungsanalyse
- Biomedizin: Dickenprüfung von Dünnfilmmaterialien wie Parylenparylin, Polymere, Biofilms und medizinische Geräte
2. Wartung:
- Halten Sie die Maschine sauber, nicht-Testzeit bedeckt mit einem Staubtuch
- Vermeiden Sie elektromagnetische Feldstörungen bei der Arbeit des Instruments
Regelmäßige Kalibrierung und Wartung
Die NS-30-Serie ist ein Desktop-basiertes automatisches Membrandickenanalysesystem, das auf der Grundlage der Membrandickenmessung eine automatische Probenlader iteriert, um die festgelegten Punkte automatisch zu messen und weiterhin 2D- und 3D-Datenverteilungskarten zu generieren, insbesondere für präzise Anwendungsszenarien wie die Membrandickenmessung.
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