Kontaktfreies Halbleiterfilm-Dickenmessgerät

VerhandlungsfähigAktualisieren am02/09

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Übersicht

Das kontaktlose Halbleiterfilm-Dickenmessgerät NS-30 ist ein hochpräzises Messgerät, das auf dem Prinzip der weißen Lichtinterferenz basiert und insbesondere für Szenarien geeignet ist, in denen automatisierte Messungen und präzise Dickenverteilungsanalysen erforderlich sind.

Produktdetails

　　1. Kernprinzipien

Hochstabiles, breitbandiges Licht, das vertikal einläuft, trifft auf die Probenoberfläche ein und erzeugt optische Interferenzen zwischen den einzelnen Membranschichten. Das reflektierte Licht kann durch spektrale Analyse und Regressionsalgorithmen die Dicke der einzelnen Membranschichten berechnen. Geeignet für die Messung von Dimensionen wie Dicke, Reflexionsgrad, Brechungsgrad von transparenten oder halbtransparenten Membranschichten von Nano bis Mikron.
核心原理

　　2. Spezifische Parameter

- Kernprinzip: Vertikale Eingangsstrahlbreitbandtechnik für weißes Licht

Messbereich: 1 nm bis 250 μm

Wellenlängenbereich (NIP-Modell): 950 nm - 1700 nm (Near Infrared)

Genauigkeit: 3 nm oder 0,4%

Wiederholungsgenauigkeit: 0,1 nm

Messgeschwindigkeit: < 1 Sekunde/Punkt

- Fleckgröße: 1,5 mm

- Kernfunktionen: Automatischer Probenträger, vorgegebener Punkt zur automatischen Messung und 2D/3D-Verteilung von Dicke, Brechungsgrad und Reflexionsgrad

- Probenstandgröße: 100mm bis 450mm optional

- Messfähigkeit: Messung der Dicke, Brechungsgrad (n) und Reflexionsgrad von mehreren Schichten

　　3. Kernfunktionen
核心功能

　　4. Prüfergebnisse zeigen
实测结果展示

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