Wellenlängen-Diffusion-Röntgenfluorescenzspektrometer

Wellenlängen-Diffusion-Röntgenfluorescenzspektrometer WDA-3650Verwendet zur Filmbewertung und zur beschädigungsfreien, berührungsfreien Analyse der Filmdicke und -zusammensetzung verschiedener Filme.

Dies ist ein Wellenlängen-Diffusion-Röntgenfluorescenzspektrometer (WD-XRF), das sowohl zerstörungslos als auch kontaktlos die Dicke und Zusammensetzung verschiedener Folien auf Wafers von bis zu 200 mm gleichzeitig analysiert. XYθZ-Antriebsprobentisch (Methode) kann eine Vielzahl von Metallmembranen genau analysieren, um den Einfluss von Diffraktionsstrahlen zu vermeiden. Röntgenröhre mit 4 kW Leistung ermöglichen eine hochpräzise Analyse von ultraleichten Elementen, wie die Spurenelementmessung von BPSG-Folien und die Boranalyse. Auch C-zu-C Transportroboter werden unterstützt (optional). Es ist mit einer automatischen Kalibrierung ausgestattet (vollautomatische tägliche Prüfung und Festigkeitskorrektur).

Unterstützung der Konzentrations- und Zusammensetzungsanalyse von Spurenelementen

Geeignet für verschiedene Elemente von leichten bis schweren Elementen: 4 Ja ~ 92U

◆Hochempfindlicher Bordetektor AD-Bor

Wir entwickeln kontinuierlich neue optische Systeme, wie zum Beispiel die Verbesserung der Boranalyse, um die Genauigkeit und Stabilität der Analyse zu verbessern. Darüber hinaus sind Kühlgeräte und Vakuumstabilisierungsgeräte stabile Standardgeräte.

◆X-Y-θ Antriebsstufe

Der X-Y-θ-Antrieb mit Probentesch und Messrichtungseinstellungsprogramm ermöglicht die genaue Messung der Filmdicke und der Komponentenverteilung auf dem gesamten Wafer. Auch die ferroelektrische Folie ist nicht von Diffraktionsstrahlen beeinflusst.

◆Anwendung:

・Halbleitergeräte BPSG, SiO2 Quad 3N4

Dopiertes Polykristallines Silizium (B, P, N, AS), Wsix

・ Al-Cu, TiW, TiN, TaN, PZT, BST und SBT

・MRAM

・金属膜 W, Mo, Ti, Co, Ni, Al, Cu, Ir, Pt, Ru

・磁盘 CoCrTa, CoCrPt und DLC

・NiP

Diskette mit Tb-FeCo

Magnetkopf GMR, TMR

◆Breites Sortiment an festen Winkelmessgeräten

Wir bieten Ihnen die am besten geeigneten Fixierangulometer je nach Membrandücke und Membranstruktur. Außerdem bereiten wir ein spezielles optisches System vor, das Wsix-Filme auf Siliziumwafern analysieren kann.

◆Vollautomatische tägliche Verwaltungsfunktion Automatische Kalibrierung

Um genaue Analysewerte zu erhalten, muss das Gerät richtig kalibriert werden. Zu diesem Zweck müssen regelmäßige Mess- und Prüfwafer und PHA-Anpasswafer als Managementwafer verwendet werden, um den Gesundheitszustand des Geräts zu erhalten. Diese regelmäßige Kalibrierung ist automatisiert und reduziert die Arbeitslast des Bedieners. Das ist die AutoCal-Funktion.

◆Kompatibel mit C-to-C-Automatisierung

Neben Open Dark Box wird SMIF POD unterstützt. Kompatibel mit Wafern unter 200 mm. Darüber hinaus kann SECS mit dem Host kommunizieren und unterstützt verschiedene CIM/FA-Formate.

◆Kompaktes energiesparendes Design

Der Gastgeber umfasst eine Fläche von 1 m2 unter dem kompakten Design. Der Einsatz von ölfreien Transformatoren macht auch die Zusatzgeräte kompakter und energiesparender.

• Gleichzeitige Beurteilung der Filmdicke und -zusammensetzung

• Für alle Filmtypen geeignet

• Unterstützt Wafer- und Medienplatten von weniger als 200 mm

• Hohe analytische Leistung, Genauigkeit und Stabilität

• Erhaltenes XYθZ-Antriebsprobentisch für genaue XRF-Ergebnisse

• Hochempfindliche Boranalyse (mit AD-Borkanal)

• Automatische Kalibrierung mit einem optionalen C bis C-Lader

• Ölfreier Transformator Röntgengenerator

• Der Stromverbrauch ist um 23 Prozent niedriger als der Vorgänger.

Produktspezifikationen: