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Shenyang Ke Crystal Automation Equipment Co., Ltd.
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VTC-600GC-AM kontinuierliches Multi-Kammer Magnetron Spritzbeschichtungssystem

VerhandlungsfähigAktualisieren am12/13
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Übersicht

VTC-600GC-AM kontinuierliches Multi-Kammer Magnetron Spritzbeschichtungssystem ist eine neue, eigenständig entwickelte Beschichtungsgeräte, die hauptsächlich aus zwei Teilen der Übertragungskammer und der Spritzbeschichtungskammer besteht. Der Basisrahmen kann in der Übertragungskammer und der Spritzkammer eine Rückkehrbewegung erreichen, die vom FM-Motor gesteuert wird, automatisch synchronisiert wird, und die Rückkehrposition und die Bewegungsgeschwindigkeit können eingestellt werden, beide Räume verfügen über eine Positionsfunktion, die den Ursprungspunkt zurücksetzen kann. Es kann zur Herstellung von einschichtigen oder mehrschichtigen ferroelektrischen Folien, leitfähigen Folien, Legierungsfilmen, Halbleiterfolien, Keramikfolien, Medienfilmen, optischen Folien, Oxidfolien, harten Folien, Tetrafluorethylenfilmen usw. verwendet werden.

Produktdetails

ProduktbeschreibungVTC-600GC-AM连续式多腔室磁控溅射镀膜系统

VTC-600GC-AM kontinuierliches Multi-Kammer Magnetron SpritzbeschichtungssystemEs ist eine neue, eigenständig entwickelte Beschichtungsausrüstung, die hauptsächlich aus zwei Teilen der Übertragungskammer und der Spritzbeschichtungskammer besteht, der Basisrahmen kann in der Übertragungskammer und der Spritzkammer eine Rückkehrbewegung erreichen, gesteuert durch einen FM-Motor, automatisch synchronisiert, und die Rückkehrposition und die Bewegungsgeschwindigkeit können eingestellt werden, beide Räume haben eine Positionsfunktion, die den Ursprungspunkt zurücksetzen kann. Es kann zur Herstellung von einschichtigen oder mehrschichtigen ferroelektrischen Folien, leitfähigen Folien, Legierungsfilmen, Halbleiterfolien, Keramikfolien, Medienfilmen, optischen Folien, Oxidfolien, harten Folien, Tetrafluorethylenfilmen usw. verwendet werden.VTC-600GC-AM kontinuierliches Multi-Kammer Magnetron SpritzbeschichtungssystemOptional mit mehreren Zielpistolen, unterstützende HF-Stromversorgung für die Spritzbeschichtung von nicht leitfähigen Zielen und unterstützende Gleichstromversorgung für die Spritzbeschichtung von leitfähigen Materialien. Im Vergleich zu ähnlichen Geräten ist es nicht nur weit verbreitet, sondern hat auch die Vorteile der kleinen Größe und der einfachen Bedienung, ist es eine ideale Ausrüstung für die Herstellung von Materialfilm im Labor, insbesondere für die Laborforschung von Festkörperelektrolyten und OLEDs.

HauptmerkmaleVTC-600GC-AM连续式多腔室磁控溅射镀膜系统

  • Die Übertragungskammer und die Spritzbeschichtungskammer bestehen aus zwei Hauptteilen, die eine schnelle und kontinuierliche Prüfbeschichtung ermöglichen.

  • Optional mit mehreren Zielpistolen ausgestattet, unterstützt die HF-Stromversorgung für die Spritzbeschichtung von nicht leitfähigen Zielen, unterstützt die Gleichstromversorgung für die Spritzbeschichtung von leitfähigen Materialien (die Zielpistole kann je nach Bedarf des Kunden ausgetauscht werden).

  • Viele Filme können hergestellt werden und sind weit verbreitet.

  • Klein und einfach zu bedienen.

  • Modulares Design der gesamten Maschine, Übertragungskammer, Vakuumkammer, Vakuumpumpe, Steuerleistungsteilung, die auf die tatsächlichen Bedürfnisse des Benutzers angepasst werden kann.

  • Die Stromversorgung kann je nach den tatsächlichen Bedürfnissen des Benutzers ausgewählt werden, eine Stromversorgung kann mehrere Zielpistolen steuern oder mehrere Stromversorgungen können eine einzige Zielpistole steuern.

Technische ParameterVTC-600GC-AM连续式多腔室磁控溅射镀膜系统

Produktname

VTC-600GC-AM kontinuierliches Multi-Kammer Magnetron Spritzbeschichtungssystem

Produktmodell

VTC-600GC-AM

Hauptparameter

1, Struktur: Tischfront Türöffnung Struktur, hintere Pumpsystem.

Maximalvakuum: 6,0 x 10-5Vater.

3, Leckage: 1h≤0.5Pa.

Pumpzeit bis 5,0 x 10-3Ungefähr fünf Minuten.

Vakuumpumpengruppe: Mechanische Pumpe + Molekularpumpe.

6, Probentesch: φ140, Raumtemperatur -500 ° C, Genauigkeit ± 1 ° C (kann die Temperatur nach den tatsächlichen Bedürfnissen erhöhen) Drehung innerhalb von 5 U / min-20 U / min einstellbar. Für eine bessere Beschichtungsqualität können nach Kundenbedürfnissen zusätzliche Abdruckfunktionen ausgewählt werden.

7, Vergasungssystem: Massenflussmesser 2 Wege. (Argon und Stickstoff)

8. Der Achsenwinkel zwischen dem Zielkopf und dem Probentesch beträgt 34 °

Anzahl der Zielköpfe: 3 (120°). (Mehr Anzahl anpassbar)

10, Zielpistole Kühlungsart: Wassergekühlt

11, Zielgröße: φ2 ", Dicke 0,1-5mm (unterschiedliche Dicke des Zielmaterials)