GSL-1800X-ZF-AM kontinuierliches Mehrkammerverdampfendes Beschichtungssystem

Produktbeschreibung

GSL-1800X-ZF-AM kontinuierliches Mehrkammerverdampfendes BeschichtungssystemEs ist ein Hochvakuum-kontinuierlich probierbares Verdunstungsbeschichtungsgerät, das hauptsächlich aus dem Übertragungsraum und der Verdunstungsbeschichtungskammer besteht, der Basisrahmen kann in dem Übertragungsraum und der Spritzkammer eine Rückkehrbewegung erreichen, gesteuert durch einen modularen Motor, automatisch synchronisiert, und die Rückkehrposition und die Bewegungsgeschwindigkeit können eingestellt werden, beide Kammern haben eine Positionsfunktion, die den Ursprungspunkt zurücksetzen kann. Besonders geeignet für die Verdampfung von sauerstoffempfindlichen Metallmembranen (wie Ti, Al, Au usw.) und kleinen Molekülen. Die Maschine verfügt über 4 verdampfte Heizschiffe, jedes Heizschiff kann unabhängig verdampft werden, über dem Heizschiff gibt es eine drehbare Scheibe, wenn eines der Heizschiffe verdampft wird, wird die Scheibe die anderen drei Wolframm-Schiffe abdecken, um die Verschmutzung zwischen den Verdampfungsmaterialien zu verhindern. Wenn die Konfiguration eines Teils geändert wird, kann auch eine verdampfende Beschichtung von organischen Materialien erreicht werden, die die Forschungsanforderungen an Lichtemittenten und organischen Solarzellen erfüllt, ist eine ideale Beschichtung und eine kostengünstige Experimentsgeräte. Das GSL-1800X-ZF4 Verdampfungsbeschichtungsgerät ist mit 5 wasserkeilten Elektroden ausgestattet, die die Elektrodenemperatur während des Arbeitsprozesses effektiv schützen können, um die Elektroden nicht durch eine zu hohe Temperatur zu schmelzen und damit zu beschädigen. Die Maschine verwendet eine Metallkammer mit einem hohen Vakuumgrad, der 5,0 x 10 erreichen kann^-7torr， Probentesch kann die Probe beheizen, die Heiztemperatur ist Raumtemperatur -500 ° C, ist eine Ausrüstung für Hochvakuumverdampfungsbeschichtungen.

Hauptmerkmale

• Die Übertragungskammer und die Verdunstungsbeschichtungskammer bestehen aus zwei Hauptteilen, die eine schnelle und kontinuierliche Verdunstungsbeschichtung ermöglichen.

• Die Vakuumsteuerungseinheit ist in einer Kontrollbox zusammengefügt.

• Mit einem unabhängigen Verdampfungsstromregler ist die Bedienung einfach und schnell.

• Die Vakuumkammer verfügt über 1 KF40-Nebenpumpventil (direkt mit der vorderen mechanischen Pumpe verbunden, um die Effizienz zu erhöhen), 1 CF150-Gateway-Ventil (direkt mit der Molekularpumpe verbunden), 1 KF16-Flansch (für die Installation eines Widerstandsreglers), 6 CF35-Flansche (für die Installation eines Ionizators, 1 für die Installation einer 2-Kernelektrode und 1 für die Installation eines Membrandickenmeters) und 3 Ersatzteile.

• Fünf wasserkeilte Elektroden sind am Boden des Gehäuses ausgestattet, um vier Verdampfungsbeheizungsschiffe zu unterstützen.

• Die Probentasche wird an der Oberseite des Gehäuses montiert.

• Ein hochauflösendes Foliendickenmesser mit einer Foliendickenmessungsauflösung von 0,1 Å (Aluminium) kann in den Hohlraum eingebaut werden.

• Ein Kreislaufwasserkühler kann verwendet werden.

Technische Parameter