VTC-1HD-ZF2 Hochvakuum Magnetron Spritzverdampfungsbeschichtung

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VTC-1HD-ZF2 Hochvakuum Magnetron Spritzverdampfung Beschichtung Gerät ist eine multifunktionale Hochvakuum Beschichtung Gerät, mit einem Ziel Magnetron Spritzer kann verwendet werden, um eine Schicht oder mehrere Schichten ferroelektrische Folie, leitfähige Folie, Legierung Folie, Halbleiter Folie, Keramik Folie, Medien Folie, optische Folie, Oxid Folie, harte Folie, Tetrafluorethylen Folie usw.

Produktdetails

Produktbeschreibung VTC-1HD-ZF2高真空磁控溅射蒸发镀膜仪

Diese Maschine setzt ein verdampftes Heizschiff ein, besonders geeignet für die Verdampfung sauerstoffempfindlicher Metallfolien (wie Ti, Al, Au usw.), über dem Heizschiff gibt es eine drehbare Blende; 2 Bündelofenstationen (Standard mit 1 Bündelofen); 1 Durchflussmessersatz (Argonsatz) mit φ150 Glasbeobachtungsfenster.

Technische Parameter VTC-1HD-ZF2高真空磁控溅射蒸发镀膜仪

Produktname	VTC-1HD-ZF2 Hochvakuum Magnetron Spritzverdampfungsbeschichtung
Produktmodell	VTC-1HD-ZF2
Hauptparameter	Vakuumkammer: φ324x330 Endvakuum 6.0X10-4Pa (mit inländischer FF-150-Liter-Turbomolekularpumpe + mechanischer Pumpe) Leckage: 2.0x10-10Pa.m3/s Material ist 304 Edelstahl geschweißt, elektrochemische Oberflächenpolierung. Die aktive Dichtung wird mit einem Gummi-Dichtring und die inaktive Dichtung wird mit einem Kupfer-Dichtring versiegelt. Der Antrieb erfolgt durch magnetische Kupplung. Vakuumkammer ein Magnetron-Ziel, eine Reihe von Verdampfungselektroden (zwei), 2 Strahlofenstationen (Standard mit 1 Strahlofen). 1 Durchflussmessersatz (Argonsatz) mit φ150 Glasbeobachtungsfenster, zusätzlich C35 Flanschschnittstelle vorbehalten.
	Spritzzielkopf: 2 Zoll (φ50,8 mm) Arbeitsvakuum: 10Pa ~ 0.2Pa Zielnutzung: > 35% (Standard 3mm Kupferziel, Zielvakuumgehalt 0,5 Pa) MAX功率： 240W (voll gekühlt) Isolationsspannung: > 2000V (Unterstützung 500W Gleichstromversorgung 1)
	3. Widerstandsverdampfung: Verdunstungsausgangsspannung: AC 0-8V kontinuierlich einstellbar Endverdampfungsstrom 200A Maximale Verdunstungsleistung <1.6KW Die Temperatur ist unkontrollabel und unmessbar.
	4, Bündel Quellenofen: Tiegel Kapazität: 3CC Heiztemperatur: Raumtemperatur -700°C Die Heiztemperatur ist messbar, einstellbar und steuerbar. Temperaturgenauigkeit: ±0,5°C Standard mit Quarztiegel, Blende, Thermoelektronik. Leistung: 500W, 36V
	5. Prüfstand: φ120 Temperaturregelung: Raumtemperatur -500°C Drehzahl: 1-20 rpm Probentisch kann manuell aufgehoben und abgesenkt werden, verstellbare Oberstrecke: 50mm
	EQ-TM106-1 Filmdickenmesser 1) Stromversorgung: DC 5V (± 10%), MAX Strom 400mA 2) Frequenz Auflösung: ± 0,03 Hz 3) Auflösung: 0,0136Å (Aluminium) 4) Membrandickengenauigkeit: ± 0,5%, abhängig von den Prozessbedingungen, insbesondere der Position des Sensors, der Materialspannung, der Temperatur und der Dichte. 5) Messgeschwindigkeit: 100ms-1s / mal, einstellbar 6) Messbereich: 500000Å (Aluminium) 7) Standard-Sensorkristall: 6MHz 8) Computerschnittstelle: RS-232/485 serielle Schnittstelle (Portrate 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400 einstellbar, Datenbit: 8, Stopp-Bit: 1, Verifizierung: keine) 9) Analogausgang: 8-Bit-Auflösung, PWM-Pulse-Breitmodulation-Ausgang (offene Elektrode oder interne 5V-Ausgang) 10) Arbeitsumgebung: Temperatur 0-50 ° C, Feuchtigkeit 5% -85% RH, keine Kondensationswasserperlen 11) Außengröße: 90mm x 50mm x 18mm
	Die Ausrüstung ist standardmäßig mit einem Wasserkühler ausgestattet (Typ KJ5000), der Kunde verfügt über einen eigenen Wasserkühler und deionisiertes Wasser oder reines Wasser.
	Stromeingang der gesamten Maschine: AC220V / 50Hz. Leistung <3.5KW.
	9. Produktspezifikationen: Größe: ca. 1300mm x 660mm x 1200mm; Gewicht: ca. 160 kg

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