TMC Aktivluftdämpfer

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TMC Aktivluftdämpfer, Electro-Damp Es ist das erste kommerzielle aktive Isolationssystem, das speziell für die Verbesserung von Durchsatz, Auflösung und Leistung in Anwendungen der Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Electro-Damp II ist eine vollständige Neugestaltung des Originalsystems* mit Modularität, digitaler Steuerung, Vorspeisung, Hochleistungs-/Hohlspaltsaktivatoren und mehreren digitalen Benutzeroberflächen, die speziell für OEM-Anwendungen wie Mikrolithographie, Prüf- und Messwerkzeuge entwickelt wurden.

Produktdetails

TMCAktive LuftdämpfungGeräteElektro-Feuchtigkeit II

Electro-Damp ® Es ist das erste kommerzielle aktive Isolationssystem, das speziell für die Verbesserung von Durchsatz, Auflösung und Leistung in Anwendungen der Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Electro-Damp II ist eine vollständige Neugestaltung des Originalsystems* mit Modularität, digitaler Steuerung, Vorspeisung, Hochleistungs-/Hohlspaltsaktivatoren und mehreren digitalen Benutzeroberflächen, die speziell für OEM-Anwendungen wie Mikrolithographie, Prüf- und Messwerkzeuge entwickelt wurden.

Werkzeuge zur Herstellung von Halbleitern stellen widersprüchliche Anforderungen an ihre Isolationssysteme. Um dem Bodenlärm zu begegnen, muss das System weich genug sein, um Bodenschwingungen effektiv zu filtern und zu verhindern, dass sie an die Isolationsoberfläche gelangen. Gleichzeitig muss das System stark genug sein, um der Kraft des Arbeitstisches gerecht zu werden, damit die Bewegung des Arbeitstisches eine minimale Verschiebung der Isolationsfläche erzeugt und sich schnell stabilisiert.

TMC主动空气消振器

Neben Trägheit und aktiver RückkopplungsdämpfungElectro-Damp II nutzt auch die Information-Feedback, um die Systemreaktion weiter zu verbessern. Die Forward-Feed sammelt Informationen über die Position und Beschleunigung des Arbeitstischs von der Arbeitstischsteuerung und verarbeitet diese Daten, um die Nutzlast mit Kraftantrieb zu versorgen, wodurch die durch den Arbeitstisch verursachte Nutzlastbewegung erheblich reduziert wird. Das System kann die Forward-Feed-Information digital als bipolares analoges Signal oder durch Lesen der Ausgabe eines orthogonalen Encoders lesen. Der digitale Controller DC-2000 kann auch die Parameter, die für die Vorleitung erforderlich sind, automatisch über den Arbeitstisch-Testmodus anpassen. Dies ermöglicht eine schnelle und einfache Einrichtung bei der ersten Installation oder nach einer Änderung der Nutzlast.

Die modulare Konstruktion des Electro-Damp II ermöglicht es, das System allein mit elektronischen Servoventilen zu verwenden (für schwere, niedrige Beschleunigungsanwendungen wie CMM), nur mit elektromagnetischen Antrieben (für leichtere Arbeitstische mit hoher Beschleunigung) oder in Kombination mit beiden (für anspruchsvolle Anwendungen).

TMCAktive LuftdämpfungGeräteElektro-Feuchtigkeit IIMerkmal

Sechs Freiheitsgrade aktives Schwingungsdämpfungssystem

Kontaktlose elektronische Höhenregelung

• Digitale Steuerung

● Vorlaufeingang Korrektur der Nutzlastbewegung durch den Arbeitstisch

Hochleistungs-elektromagnetische Aktuatoren können separat oder in das System integriert werden

● Verringerung der Stabilitätszeit der Nutzlastbewegung und der durch den Arbeitstisch verursachten Bewegung

• Verbesserung des Durchsatzes, der Auflösung und der Produktion

● Modulares Design ermöglicht es dem Benutzer * eine komplette Einheit oder Komponente festzulegen, umOEM-Integration

● Automatische Anpassung der Forwarding-Parameter, um die Einstellungen zu reduzieren

Spezifikation

Allgemein
Stabile Zeit	0,2 Sekunden**
Aktive Freiheit	6
Hohe Kontrollgenauigkeit	< 10 µm beiSensoren>
Linearer Aktor (horizontal und vertikal)
Gleichstromwiderstand	5 Ω
Kraftkonstante	Bis zu 12 Pfund / Ann \| 55 Kuh / Ann
Maximale Kontinuität	25 Pfund \| 110 Rinder
Spitzenkraft @ 7 A	87 Pfund \| 385 Rinder
Elektrische Zeitkonstante	2,6 Millisekunden
Reise	0,25 Zoll \| 6,4 mm
Horizontaler Abstand	0,09 Zoll \| 2,3 mm
Mischung	< 1 G @ 2in.d>
Größe (Breite x Tiefe x Höhe)	2,8 x 6,8 x 4,5 Zoll 71 x 173 x 114 mm
Ventil (nur aktiv)
Typ des Ventils	Verhältnis E/V-Servo
Kontrolltyp	Druck oder Luftstrom
Maximaler Durchfluss	1.5 SCFM
Luftverbrauch (4 Isolatoren)	< 2 SCFM (keine Bühnenbewegung)d>
3 dB Reaktion	≤ 10 Hz (typischer Wert).
Höhenregler
Eingabe	Berührungslose Sensorik (Wirbelstrom)
Elektronische Konfiguration	Zwei Linien NAMUR 30 oder 18 mm Durchmesser
Umfang	Nominal 15 mm für 30 mm Drähte Nominale 6 mm für 18 mm Drähte
Auflösung	< 1 µmd
Passive pneumatische Montagesitze
Standard-Tragfähigkeit	1.000, 2.500, 3.300, 5.700 Pfund @ 80 PSI
Dämpfung (10:1)	< 3sd>
Digitale Steuerung DC-2020
Prozessor	Doppelkern: DSP bei 150 MHz und Cortex M3 bei 75 MHz
Simulation von I/O	32/24 Kanäle (16/16 Bit)
Probenahme	Nominalwert 5 kHz
Vorderseite	Stromschalter 3-farbige Statusanzeige Ethernet RJ-45 MicroSD-Kartensteckplatz 2 BNC-Steckdosen (jeweils als Ein- oder Ausgang) 2 USB 2.0-Anschlüsse (Typ B und Micro B) FW-Upgrade-Taste
Hinterplatte	Stromversorgung Analoge I/O Steckdose Pneumatischer Port Ethernet RJ-45 Ein USB 2.0 RS-232 DB 9 Relais Steckdose
Benutzeroberfläche	GUI über USB oder Ethernet
Stromversorgung	90-240 VAC，50-60 Hz， Maximal 100 W
Größe (Breite x Tiefe x Höhe)	16,8 x 9,0 x 1,75 Zoll 427 x 229 x 45 mm 1 Standard-RETMA-Einheit
Leistungsverstärker
通道	8
Maximaler Strom pro Kanal	7 A
Eingabe	Linear
Spitzenleistung	Insgesamt 700 Watt
Kühlung	Umwelt, Zwangsbelüftung
Schutz	Resettierbare Sicherung, Elektronischer Wärmeschutz, Überstrom, Unterdruck
Operation	Fernbedienung oder manuell
Größe	1 RETMA Rack-Einheit Höhe x 15 Zoll (381 mm) Tiefe

Anwendungsbeschreibung

Elektro-Damp®

inPrecitech3-Achs-Messung (XYZ) mit PEPS II-VX auf der Freeform L Ultrapräzisionsmaschine

TMC主动空气消振器

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