TMC aktives Luftisolierungssystem

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Das aktive Luftisolierungssystem von TMC, PEPS II, basiert auf dem PEPS (Precision Electronic Positioning System) von TMC und wurde verbessert. Durch das Hinzufügen eines neuen digitalen Controllers ist PEPS II einfacher zu bedienen, bietet mehr Funktionalit?t und eine verbesserte Benutzeroberfl?che.

Produktdetails

TMC aktives LuftisolierungssystemPEPS II

PEPS II basiert auf und verbessert auf dem PEPS (Precision Electronic Positioning System) von TMC. Durch das Hinzufügen eines neuen digitalen Controllers ist PEPS II einfacher zu bedienen, bietet mehr Funktionalität und eine verbesserte Benutzeroberfläche. PEPS II ist ein berührungsloses digitales Höhensteuersystem für TMC-pneumatische Isolationssysteme. Dieses System umfasst in der Regel mechanische Höhenventile und mechanische Höhensensorverbindungen. Zu seinen Anwendungen gehören Halbleiterherstellungsanlagen, die eine verbesserte Stabilitätszeit und eine höhere Produktion erfordern, sowie präzise Laborumgebungen, die optimale Lärmleistung und Plattformstabilität erfordern.

TMC主动空气隔振调平系统

TMC aktives LuftisolierungssystemPEPS IIMerkmal

Digitale Steuerung, benutzerfreundlichLCD Schnittstelle

• VerwendetBerührungslose elektrische pneumatische Höhenregelung für Gimbal Piston, CSP und MaxDamp Isolationssysteme

●Wiederholbarkeit der Position der Z-Achse: 10 µm

● Verbesserte Schwingungsisolation durch Beseitigung der Hebelkontaktpunkte herkömmlicher mechanischer Höhenregelsysteme

• Minimierte pneumatische VorschubfunktionReaktion der Z-Achse auf die Bewegung der X-Y-Plattform

• Anpassbar für schnelle StabilitätBewegung durch die X-Y-Plattform

• Wahlbar »VX" Funktion mit integriertem Trägheitssensor zur aktiven Dämpfung der Resonanz des vertikalen Isolators

Kompatibel mit "Softwood Station". Erlaubt das Laden ohne Bewegungsinstallation/ Entfernen des Wafers

• Proportionelle elektronische Ventile. "Schalter" oder herkömmliche Elektroventile erzeugen keinen Impulsgeräusch

● Abgasrohre für die saubere Behandlung von Abgasen

• Logische Anbindungssteuerung und Zustand

Spezifikation

Physische Größe	PEPS II Controller 1,72 Zoll (43,7 mm) Höhe x 8,0 Zoll (203 mm) Breite x 9,4 Zoll (240 mm) Tiefe
Gewicht	PEPS II Controller: ca. 3,0 Pfund (1,2 kg)
Umwelt (siehe EN 61010-1:1993, EN 61010-1/A2: 1995)	Nur für Innengebrauch, bis zu 2.000 m (6.560 Fuß) Maximal zulässiger Temperaturbereich: 5°C bis 35°C Maximal zulässige Luftfeuchtigkeit: 80 % bei unter 31 °C, linearer Rückgang auf 50 % bei 40 °C Hauptspannungstoleranz: 85 VAC - 240 VAC Überspannungsklasse: 2 Verschmutzungsgrad (IEC 664): 2 Lüftungsanforderungen: 25 mm Spalt auf beiden Seiten, 0 mm Spalt oben und unten
Stromanforderungen	Eingangsspannungsbereich: 90-230 VAC Eingangsfrequenzbereich: 50-60 Hz
PEPSII Benutzeroberfläche (Vorderseite)	Stromschalter 4 Menü-Tasten LCD-Anzeige 20 x 2 Zeichen 2 Diagnosestecker (Typ BNC) Dreifarbige Statusanzeige USB-Anschluss
PEPSII Schnittstelle (Hinterplatte)	Wechselstromeingang mit EMI-Filter 1 Lufteingangsanschluss für Rohre mit 1/4 Zoll Außendurchmesser 1 Luftauslass (Abgasanschluss) für Rohre mit 1/4 Zoll Außendurchmesser 4 Luftanschlüsse für Rohre mit 1/4 Zoll Außendurchmesser (ein pro Isolator) DB-25 Maschineneingang-Ausgang und Steckdose 1 Phoenix 0,2-Zoll-Abstand 6-Pin-grüner Anschluss (vertikaler Näherungssensor) 1 Phoenix 3,5 mm Abstand 6 Pin schwarzer Anschluss (Horizontaler Näherungssensor) Erdungsgewindebolzen (# 10-32 Gewinde) DB-25 F-Steckdose: 1 digitaler Eingang, 3 Schnittstellen für den Erdbebendetektor ("-VX"-Option) DB-25 F-Steckdose: 1 digitaler Eingang, 3 Stromausgänge mit Nahheitssensor (optional)
PEPS II Leistungsspezifikationen	Analoger Eingang (Monopol): 8 x 12 Bit (16 Bit mit Abtastung), 0. 3,0 V Vollbereich Analoger Eingang (Vorlauf): 5 x 12 Bit (16 Bit gebrauchte Probenahme), ±9 V Vollbereich Analoger Eingang (monopolarer) Schutz: +5 V, -0,5 V Grenze Analoger Eingang (Vorlauf) Schutz: ±15 Volt Grenze Analogausgang: 4 x 12 Bit (16 Bit mit Abtastung), 0. 3,0 V Vollbereich Analogausgang (optional): 8 x 16 Bit, 0. 3,0 V Vollbereich Analoger Ausgangsschutz: unbegrenzter Kurzschlussschutz, +5 Volt Limit Digitale Eingangsspannung: 0. .. +3,3 V, +5 V Toleranz (+5 V Grenze) Digitale Ausgabewerte: 0. .. + 3.3 V， Maximal 20 mA Digitaler I/O-Schutz: +5 V, -0,5 V Grenze Externe verfügbare Stromversorgung: +5 VDC, max. 2,0 A; +15 VDC, max. 1,0 A (max. 20 Watt) Kommunikationsoport: USB, auf dem PC als RS-232 angezeigt Prozessor: ARM7TDMI / 41,78 MHz Regelkreisrate: 100 Hz - 2,0 KHz Nähefühler: 3 vertikale, (3 horizontale optional) Wirbelströme, NAMUR 0-20 mA Ausgang Geschwindigkeitssensor - Erdbebendetektor ("-VX"-Option): 3 vertikale, Stromausgänge
Pneumatische Spezifikationen	Langfristige Höhenstabilität: ± 50 µm Langfristige Neigungsstabilität: ± 50 Mikroradien Servoventil: 4 x bidirektionales variables Durchflussverhältnis Ventiltechnik: reine A-Klasse Maximaler Eingangsdruck: 120 PSI oder 8,3 bar oder 830 KPa Nominaler Luftverbrauch: 60 Standardliter/min (2 Standardkubikfuß/min) Luftanforderungen: Saubere, trockene Luft, bis zu 20 Mikron oder mehr gefiltert Ausfallsicherheit: Der Isolator wird bei Stromausfall oder Stromausfall entgasset Pneumatische Verbindungen: "One-Touch" Schnellverbindungen für Schläuche mit 1/4 Zoll Außendurchmesser

Leistung

TMC主动空气隔振调平系统

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