Flüssigkeitsthermoelektroskop in situ

Unsere Vorteile

Hohe Auflösung

MEMS Mikrobearbeitungsprozessdie Dicke der Siliziumnitridfilm im Fensterbereich des elektrochemischen ChipsDünnste bis 10nmDie Störung des Elektronenstrahls wird erheblich reduziert, und die flüssige Phasenumgebung kann eine Auflösung auf nanoskala erreichen.

高安全性

1. andere Marken auf dem Markt übliche Flüssigkeit Probenstangen, aufgrund der eigenen Flüssigkeit Pool Chip Design-Programm eingeschränkt, kann nur durch den großen Druck der Flüssigkeit Pumpe erzeugt zu treiben, die große Flüssigkeit Strömung durch die Probe Tisch und den Chip Peripherie, es gibt eine große Menge an Flüssigkeit Leckage Sicherheitsrisiken. Die Flüssigkeit gelangt hauptsächlich durch den Diffusionseffekt in die Nanopore in der Mitte des Chips, und es gibt keine echte Durchflussgeschwindigkeitskontrolle im Chip-Beobachtungsfenster.

2. Nanofluidsteuertechnologie, Flüssigkeitsdifferenzsteuerung durch piezoelektrisches Mikrokontrollsystem, um die Nano-Upgrade-Spurflüssigkeitsübertragung zu erreichen,In-situ-NanoregelungssystemDie redundante Flüssigkeitsmenge in der Probenstange ist nur auf dem Mikroliterniveau, um die Elektroskopsicherheit effektiv zu gewährleisten.

Die Verwendung der Polymer-Membran-Kontaktdichtungstechnologie vergrößert die Dichtungskontaktfläche im Vergleich zur O-Ringdichtung und verringert effektiv das Leckerrisiko.

4. Mit der Ultra-Hochtemperatur-Beschichtungstechnologie hat die Siliziumnitridfilm im Chipfensterbereich hohe Temperaturen, niedrige Spannungen, Druckbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit und andere Vorteile.

Ausgezeichnete thermische Eigenschaften

1. Hochpräzise Infrarot-Temperaturmessung Korrektur, hochauflösende Wärmefeldmessung und Kalibrierung auf Mikronenstufe, um die Genauigkeit der Temperatur zu gewährleisten.

3. Ultra-hohe Frequenz-Temperaturkontrollmethode, die Auswirkungen von Leitungen und Kontaktwiderständen ausschließt, die Temperatur und die elektrischen Parameter genauer messen.

3. mit hoher Stabilität Edelmetall Heizdraht (nicht-keramische Materialien), sowohl als Wärmeleitmaterial als auch als wärmeempfindliches Material, dessen Widerstand und die Temperatur haben eine gute lineare Beziehung, die Heizungszone deckt den gesamten Beobachtungsbereich ab, die Erwärmungsgeschwindigkeit ist schnell, das Wärmefeld ist stabil und gleichmäßig, die Temperaturschwankungen im stabilen Zustand ≤ ± 0,1 ° C.

4. Verwenden Sie geschlossenen Kreislauf Hochfrequenz-dynamische Steuerung und Rückkopplung Umgebungstemperatur Temperatur Regelung Methode, Hochfrequenz-Rückkopplung Steuerung Fehler zu beseitigen, Temperatur Genauigkeit ± 0,01 ℃.

Multi-Stufen-Composite-Heizung MEMS-Chip-Design, Kontrolle der Wärmediffusion des Heizprozesses, stark unterdrücken Sie den Wärmeabschieb des Erwärmungsprozesses, um eine effiziente Beobachtung des Experiments zu gewährleisten.

Intelligente Software und Automatisierungsgeräte

1. Mensch-Maschine-Trennung, Software-Fernsteuerung der Experimentsbedingungen, der gesamte Prozess automatisiert die Aufzeichnung der Details des Experiments, um die Zusammenfassung und Überprüfung zu erleichtern.

2. benutzerdefinierte Programmerwärmungskurve. Sie können mehr als 10 Schritte Erwärmungsverfahren definieren, die Temperaturkonstanzeit usw., gleichzeitig können Sie die Zieltemperatur und -zeit manuell steuern, während des Prozesserwärmungsprozesses die Notwendigkeit einer Temperaturänderung und einer Temperaturkonstanz feststellen, können Sie das Experimentsprogramm sofort anpassen und die Experimentaleffizienz verbessern.

Integriertes absolutes Temperaturstandard-Kalibrierungsprozess, jeder Chip kann jedes Mal die Temperaturregelung entsprechend dem Widerstandswert ändern, die Kurve anpassen und korrigieren, um die Temperaturgenauigkeit der Messung zu gewährleisten und die Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit des Heizversuchs zu gewährleisten.

Der gesamte Prozess ist mit Präzisionsautomatisierungsgeräten ausgestattet, um den manuellen Betrieb zu unterstützen und die Experimentaleffizienz zu verbessern.

Teamvorteile

Die Teamleiter beteiligen sich bereits in der frühen Phase der Entwicklung der Flüssigkeitsphase an der Entwicklung und Verbesserung der Methode.

2. unabhängig in situ Chip zu entwerfen, den Chip-Kernprozess zu beherrschen und mehrere Chip-Patente zu besitzen.

Das Team von mehr als 20 Mitarbeitern beschäftigt sich mit der Flüssigkeitsphaseforschung in situ und kann technische Unterstützung in mehreren Forschungsrichtungen bieten.

Technische Parameter

Anwendungsfälle

Elektrochemische Auflösung

Elektrochemische Ablagerung