Qualitätsflussregler

Der G300CQualitätsflussreglerEigenschaften

Hochpräzise und hochauflösende Steuerung

Niedrige Leistung, Leistung <2W

Integration von 20 Grundgastypen

10 individuelle Gasmischungen

Funktion zur Selbstanpassung der Steuerparameter

Digitale Steuerung, RS-485 Modbus RTU Kommunikationsmodus

Breiter Durchflussbereich

Keine Vorwärmung erforderlich

Keine Einschränkung der Installationsrichtung

Hohe Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit

Elektromagnetisches Proportionsventil mit langer Lebensdauer und schneller Reaktionsgeschwindigkeit

Eigene Temperaturkompensation, Kompensationsbereich 0-50 ℃

Interne geschlossene Regelung mit hoher Stabilität

Kleine VerpackungsgrößeMessbereich und Genauigkeit

Verfügbare Größe:

最大 0-50 SLPM

Mindestens 0-1sccm

Permanenter Umfang siehe Auswahltabelle

Maßverhältnis: 1000:1

Genauigkeit: ± 0,2%

Lesegenauigkeit: ± 0,8%

Wiederholbarkeit: ±0,2% FS

Reaktionszeit: <100ms (PID-Steuerparameter verstellbar)kurze Reaktionszeit)

Einführung in das digitale DesignSerie G300CQualitätsflussreglerStandardübertragung mit hoher PräzisionSensoren und digitale Schaltungen für Mess- und SteuerstellenAlle notwendigen Grundfunktionen. G300C-Serie als StandardRS-485 Modbus RTU Kommunikationsmodus. Höchster RS-485 BusSie können auf 255 Geräte gleichzeitig erweitert werden.

Anwendungsbereiche

Gas- und Flüssigkeitsspektrometer

Halbleiterverfahren

Umweltüberwachungsgeräte

Mikroreaktionsgeräte und Materialvorbereitungsgeräte (von CVD)

Gasgeneratoren

Gasmischsystem