Qualitätsflussregler

Der G100CQualitätsflussreglerMerkmal

lHochpräzise und hochauflösende Steuerung

lDC9-36VBreitspannungsversorgung

lNiedrige Leistung, Leistung2W

lIntegration40Grundgasarten

lAnpassbar10Mischte Gase

lFunktion zur Selbstanpassung der Steuerparameter

lDigitale Kontrolle,RS-485Modbus RTU Kommunikationsmodus

lBreiter Durchflussbereich

lKeine Vorwärmung erforderlich

lKeine Einschränkung der Installationsrichtung

lHohe Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit

lElektromagnetisches Proportionsventil mit langer Lebensdauer und schneller Reaktionsgeschwindigkeit

lEigene Temperaturkompensation, Kompensationsbereich0-50℃

lInterne geschlossene Regelung mit hoher Stabilität

lKleine Verpackungsgröße

Messbereich und Genauigkeit

lVerfügbare Größe:

nMaximal0-20SLPM

nKleinste0-10SCCM

nPermanenter Umfang siehe Auswahltabelle

lGrößenverhältnis:100:1

lVollständige Genauigkeit:±0.5%

lLesegenauigkeit:±1%

lWiederholbarkeit:±0.5%FS

lReaktionszeit: <100ms (Regelung P)IDSteuerparameter verkürzen die Reaktionszeit)

Einführung in das digitale Design

Serie G100CQualitätsflussreglerAusgestattet mit hochpräzisen Sensoren und digitalen Schaltungen, ermöglichen die digitalen Schaltungen alle grundlegenden Funktionen, die zur Messung und Steuerung erforderlich sind. Serie G100C mit Standard-RS-485ModbusRTUKommunikationsmodell.RS-485Der Bus kann bis zu255Geräte gleichzeitig verwendet werden.

Anwendungsbereiche

lGas- und Flüssigkeitsspektrometer

lHalbleiterverfahren

lUmweltüberwachungsgeräte

lMikroreaktionsgeräte und Materialvorbereitungsgeräte (CVD）

lGasgeneratoren

lGasmischsystem