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Zimmer 616, 6. Etage, Meiwei-Gebäude, 14 Xixianqiao Road, Chaoyang, Peking
Peking Yake Chenxu Technologie Co., Ltd.
Zimmer 616, 6. Etage, Meiwei-Gebäude, 14 Xixianqiao Road, Chaoyang, Peking
EVG 520HE WärmedrucksystemAllgemeine Produktionsertifizierte Heißpresssysteme, die hohen Anforderungen gerecht werden.
Technische Daten
Das halbautomatische Thermopresssystem EVG520 HE ist für das präzise Drucken von thermoplastischen Substraten konzipiert. Dieses bewährte System von EVG kann Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm akzeptieren und ist mit der Standard-Halbleiterherstellungstechnik kompatibel. Das Thermopresssystem verfügt über eine universelle Presskammer sowie hohe Vakuum- und Berührungsfunktionen und verwaltet das gesamte Polymerspektrum für den Thermopressbereich. In Kombination mit dem Druck mit hohem Längenverhältnis und einer Vielzahl von Optionen zur Entdruckung werden viele Prozesse für den hochwertigen Mustertransfer und die Nanoauflösung angeboten.
Eigenschaften
Wärmedruck- und Nanopressungsanwendungen für Polymersubstrate und drehte Polymere
Automatisierter Pressprozess
Eigentümlicher unabhängiger Ausrichtungsprozess von EVG für optische Ausrichtungen und Druck
Pneumatische Druckoptionen
Softwaregesteuerte Prozessausführung
Technische Daten
Heizungsgröße 150 mm 200 mm
Große Plattengröße 150 mm 200 mm
Kleine Plattengröße Single Chip 100mm
Große Berührungskraft 10, 20, 60, 100 kN
Hohe Temperatur: Standard: 350°C; optional: 550°C
Klebstoffsystem/Ausrichtungssystem: 150 mm Heizung: EVG ® 610, EVG ® 620, EVG ® 6200
200 mm Heizung: EVG ® 6200, MBA300,SmartView ® NT
Vakuum: Standard: 0,1 mbar; Optional: 0,00001 mbar
