Trockenreinigung Plasmareiniger

1. Ursprüngliche AusrüstungRie

Plasma ist ein Zustand der Substanz, in dem folgende Substanzen vorhanden sind: Elektronen in einem Zustand der hohen Geschwindigkeit; Neutrale Atome, Moleküle, Atomgruppen (freie Radikale) im aktiven Zustand; Ionisierte Atome und Moleküle; Nicht reagierende Moleküle, Atome usw., aber die Materie bleibt im Allgemeinen elektroneutral.

Trymax NEO Serie ist durch die Nutzung der Eigenschaften dieser aktiven Komponenten, um die Oberfläche der Probe zu verarbeiten, durch die HF / Mikrowellen-Stromversorgung unter bestimmten Vakuumbedingungen ein hochenergetisches, unordentliches Plasma zu erzeugen, durch das Plasma, das die Oberfläche des gereinigten Produkts bombardiert, um Reinigung, Modifikation, Grauerung und andere Zwecke zu erreichen.

Zwei,Trymax NEO Serie Sollteverwenden

Vorderseite:Licht Ätzung; Descum Streifen; Die PR Ashing； Nach der Ioneninjektion, nach der Lichtgravur, vor der Beschichtung Prozess; Hintergrund / erweiterte Verpackung / 3D IC: Descum Bumping; MEMS; Plasma Behandlung; Wafer Reinigung usw.

DispenseMate®Die von dem System bereitgestellte Klebsteuertechnologie basiert aufNordliche ASYMTEKFortschrittliches Online-Aufklebersystem einschließlich SchließkreissteuerungDCServo-Bewegungssteuerungssystem,Jet-on-the-FlySpritzkleberfunktion und kundenfreundliche, intuitive ProgrammierbarkeitFluidmove ®Software.

Zu den weiteren Standardkonfigurationen gehören ein integrierter mechanischer Höhendetektor und ein vollautomatisches Erkennungssystem mit programmgesteuerter Lichtquelle. Darüber hinaus umfasst die Standardkonfiguration programmierbare Schließkreisdüsen sowie eine programmierte Nadelhitzsteuerung zur Temperaturüberwachung und zur Aufzeichnung von Daten. Außerdem umfasst es eine dynamische Klebsteuerung mit kleinen Punktklebern.

Offline MFC/CPJjaD-593Typ der Standardleistung, Durch die Abwägung von Proben im Wertbereich des Benutzers und die manuelle Eingabe von MesswertenFluidmoveAutomatische Verkehrsberechnung.

FluidmoveProgrammierungsprogramme können aufwärts kompatibel und leicht auf andere übertragen werdenNordson ASYMTEKOnline-Systeme, einschließlichSpektrum II^TMundQuantum®Kleber Plattform.

Außerdem,FluidmoveSoftware zur Verfügung gestelltSPCDatenaufzeichnung für Prozessnachverfolgung und optionalCADimportiert.

Von der Massenproduktion bis zur Massenproduktion erhalten die Benutzer immerNordson ASYMTEKUnterstützung durch ein erfahrenes Netzwerk für Engineering, Anwendungsentwicklung und technische Dienstleistungen auf der ganzen Welt.

TrymaxFortgeschrittene Plasma-Grauerung und ÄtzungNEO300A und NEO200ASerie Plattformen

Der NEO300ADie Plattform-Serie istTrymaxIndustrie für Halbleitergeräte derNEOSerie fortschrittlicher Plasma-Grauer- und Ätzprodukte Eines der neuen Mitglieder.

Es ist ein vollautomatisches Einzimmersystem, das alle vorhandenenTrymax NEOProzessmodul und mit bis zu einem Durchmesser300 mmKompatibel mit dem Substrat. Kleine FlächeDer NEO300AKonfiguriert mit einem einzigen Ladeport.

• Eigenschaften

- groß300Millimeter Wafer Größe/Grundplattengröße

-Brücke Werkzeug Fähigkeit200-300mm

-EinzelSMIFLadeport

-3Roboter mit Achsarmen

-4Verschiedene Verarbeitungsmodule:

• Mikrowelle (2,45 GHz）

• Radiofrequenzdruck (13,56 MHz）

• Doppelquellen (Mikrowelle, HF-Biasdruck)

•DCP（RFbiased, direkt gekoppeltes Plasma)

-Ausgezeichnete Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit

-Mechanischer Durchsatz> 100wph

-Kompakter Fußabdruck

-Sehr niedrige Eigentumskosten

- Digitale Kontrolle,DevicenetEthernet

-Fensterbasierter Industriecomputer

• Anwendungen

-Blockierstreifen

- DescumBearbeitung

-Entfernen von Polymeren

-Hochdosis-Implantatband per Post versenden

-Siliziumnitrid Ätzanwendungen

MEMSAnwendungen

-Verpackungsverarbeitung (Die PR，PI，BCB，PBO）

Der NEO200ADie Plattform-Serie istTrymaxIndustrie für Halbleitergeräte derNEOSerie fortschrittlicher Grau- und Ätzprodukte Neue Mitglieder.

Es ist ein vollautomatisches Einzimmersystem, das alle vorhandenenTrymax NEOProzessmodul und mit bis zu einem Durchmesser200 mmKompatibel mit dem Substrat. Kleine FlächeDer NEO200AAusgestattet mit Doppelkassenband.

• Eigenschaften

- groß200 mmWafer Größe/Grundplattengröße

-Doppelkastenplattform

-3Roboter mit Achsarmen

-4Verschiedene Verarbeitungsmodule:

• Mikrowelle (2,45 GHz）

• Radiofrequenzdruck (13,56 MHz）

• Doppelquellen (Mikrowelle, HF-Biasdruck)

•DCP（RFbiased, direkt gekoppeltes Plasma)

-Ausgezeichnete Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit

-Mechanischer Durchsatz> 100wph

-Kompakter Fußabdruck

-Sehr niedrige Eigentumskosten

- Digitale Kontrolle,DevicenetEthernet

-Fensterbasierter Industriecomputer

• Anwendungen

-Blockierstreifen

- DescumBearbeitung

-Entfernen von Polymeren

-Hochdosis-Implantatband per Post versenden

-Siliziumnitrid Ätzanwendungen

MEMSAnwendungen

-Verpackungsverarbeitung (Die PR，PI，BCB，PBO）

Trymax HalbleitergerätederNEO200Serie Advanced Plasma Greying/Das Ätzsystem ist Neue Lithographie und Ätzgeräte zu erstaunlichen Preisen Leistung. speziell für groß200 mmEntworfen für Substrate-Anwendungen.

Es ist mit einer flexiblen Ladestation ausgestattet, die für die Verarbeitung konfigurierbar ist groß200 mmUnterlagen aller unterschiedlichen Größen.

NEO200Die Serie integriert alle Anforderungen der Forschung und des kompakten Designs des Geräteherstellers Niedrige Eigentumskosten.

• Eigenschaften

- groß200 mmWafer Größe/Grundplattengröße

-Eine einzige Ladeplattform für die halbautomatische Wafer-Übertragung.

-4Verschiedene Verarbeitungsmodule:

• Mikrowelle (2,45 GHz）

• Radiofrequenzdruck (13,56 MHz）

• Doppelquellen (Mikrowelle, HF-Biasdruck)

•DCP（RFbiased, direkt gekoppeltes Plasma)

-Ausgezeichnete Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit

-Kompakter Fußabdruck

-Sehr niedrige Eigentumskosten

- Digitale Kontrolle,DevicenetEthernet

-Fensterbasierter Industriecomputer

• Anwendungen

-Blockierstreifen

- DescumBearbeitung

-Entfernen von Polymeren

-Hochdosis-Implantatband per Post versenden

-Siliziumnitrid Ätzanwendungen

MEMSAnwendungen

-Verpackungsverarbeitung (Die PR，PI，BCB，PBO）