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5500 Yuanjiang Road, Minhang, Shanghai
Shanghai Maikewei Semiconductor Technology Co., Ltd
5500 Yuanjiang Road, Minhang, Shanghai
Hauptmerkmale:
√ Temperaturbereich 4,3 K bis 475 K
√ Optionale Tieftemperatur 1,9 K/1,6 K
√ Standard 2 Zoll (51 mm) Probe, 4 Zoll (102 mm) anpassbar
√ Probe kann innerhalb der Fläche um ± 5 ° gedreht werden
√ Probenschwingungen <30 nm optional
√ Ultrahochvakuum Option
√ Anpassbare Vakuum-Kammer-Kopplung-Transfer-Probe, um die Exposition der Probe in der Atmosphäre zu vermeiden
√ Ringmagnet Option max. 0,19T
Geräteparameter:
Temperaturbereich
Installation von bis zu 6 SonderarmenGrundtemperatur 4,3 K, Steuerbereich 4,4 K bis 475 K
Installation der PS-LT-OptionGrundtemperatur 1,9 K, Steuerbereich 2 K bis 475 K
Installation der Option PS-VLT-CPX Extreme Low TemperatureGrundtemperatur 1,6 K, Steuerbereich 1,65 K bis 400 K
Installation der Option PS-LL-CPX (Load Lock)Grundtemperatur 10 K, Steuerbereich 10 K bis 400 K
TemperaturstabilitätFlüssiges HeliumFlüssiger Stickstoff
Grundtemperatur (ohne Heizungsregelung)±15 mK±20 mK
<10 K±50 mK
10 K ~ 100 K±20 mK±50 mK
101 K ~ 250 K±15 mK±50 mK
251 K ~ 350 K±15 mK±100 mK
351 K ~ 675 K±50 mK±100 mK
VakuumStandardbasierend auf TPS-FRG MolekularpumpensetzenPS-HV-CPX Hochvakuumoptionen
Vakuumzeit pumpen30 min (<1 × 10-3 Torr)10 min (<1 × 10-3 Torr)
Raumtemperatur< 5 × 10-4 Torr< 5 × 10-6 Torr
Grundtemperatur< 1 × 10-5 Torr< 5 × 10-7 Torr
Maximale Temperatur< 1 × 10-5 Torr< 5 × 10-7 Torr
Zykluszeit
Gesamtzyklus3 Stunden
Vakuum ziehen0.5 h
Sondenkühlung1.25 h
Aufwärmung der Sonde2 Stunden
Load Lock Probe Wechselzeit1 Stunde (mit PS-LL-CPX Option)
Proben
Maximale Größe51 mm (2 Zoll) Standard
PS-VLT-CPX Hochvakuumoptionen für 25,4 mm (1 Zoll)
Option PS-LL-CPX Load Lock für 25,4 mm (1 Zoll)
Probe Hintergrundbeleuchtung SchnittstelleNicht auswählbar
Probe drehen±5° Innendrehung
Probe Vibration<300 nm Standard, <30 nm mit PS-PVIS Schockdämpfungsoption
Sondenkonfiguration
Maximale Anzahl der Sonden6
Sonderarm-ThermometerTemperaturüberwachung des Sonderarms
Kühlsondenhalter< 20 K (Probe bei Grundtemperatur)
SondenhalterAnschließen Sie Probenstisch oder 4K-Strahlungsschutz
SonderarmhalterAnschluss Strahlungsschutzschirm
DC/RF SondenElektrische Isolierung > 100GΩ für die Messung von niedrigem Leckstrom
MikrowellensondeFrequenzbereich von DC bis 67 GHz
Faser-SondenKann zur elektrooptischen Messung verwendet werden
NadelbereichAlle Sonden sind in einer Rundennadel mit einem Durchmesser von 25,4 mm (1 Zoll) erhältlich