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5500 Yuanjiang Road, Minhang, Shanghai
Shanghai Maikewei Semiconductor Technology Co., Ltd
5500 Yuanjiang Road, Minhang, Shanghai
Die CRX-VF von Lake Shore ist eine geschlossene Kreislaufkühlung mit flüssigem Helium, die einen ±2,5T erhöhten Superleitmagneten für C-V-, I-V-, Mikrowellen- und elektrooptische Detektionen sowie vertikale Feldmessungen außerhalb der Ebene bietet. Mit dem CRX-VF können die Forscher den Hall-Effekt messen und magnetische Transportparameter testen. Der CRX-VF ermöglicht echte Leistung auf Wafers mit einem Durchmesser von bis zu 51 mm90° Wafer-ErkennungDie Probe kann während des Kühlprozesses eine hohe Temperatur aufrechterhalten, was die Möglichkeit reduziert, dass die Probe kondensiert, was eine entscheidende Anforderung für die Messung von organischen Materialien ist.
Der CRX-VF arbeitet im Temperaturbereich von 10 K bis 500 K und verwendet einen unabhängigen geschlossenen Kreislauf-Kühler, der nach Einschalten ohne Unterstützung auf niedrige Temperaturen abkühlt. Das System bietet eine komplette Lösung für Anwender, die die Bequemlichkeit des Betriebs ohne flüssiges Helium und die zuverlässige Messleistung von Lake Shore-Produkten in Einklang bringen wollen.
Hauptmerkmale:
√ Temperaturbereich 10 K bis 500 K
√ Vertikales Magnetfeld ± 2,5 T, kann angepasst werden, mehr als 3T Magnetfeld
√ Max. 2 Zoll (51 mm) Probe
√ 90° Probenmessung
√ Hall-Effekt-Testoptionen
√ Ultrahochvakuum Option
√ Anpassbare Vakuum-Kammer-Kopplung-Transfer-Probe, um die Exposition der Probe in der Atmosphäre zu vermeiden
Geräteparameter:
| Magnetfeld | ||
| Magnettyp | Superleitende Spiralrohre | |
| Magnetfeldrichtung | Vertikale Richtung (vertikal zur Probefläche) | |
| Magnetfeldsteuerung | Stromregelung | |
| Magnetfeldgröße | Maximal ±25 KOe (±2,5 T) | |
| Gleichmäßigkeit des Magnetfeldes | 0,5% 10 mm Durchmesser; 1% 25 mm Durchmesser | |
| Bewegung der Sondenspitze | < 5 μm im gesamten Magnetfeldbereich | |
| Temperaturbereich | ||
| ±2.5 T | Temperatur 10 K | |
| ±2 T | Temperaturbereich 11 K bis 400 K | |
| ±1 T | Temperaturbereich 401 K bis 500 K | |
| Der obige Temperaturbereich ist bei maximal 6 Sonderarmen wirksam | ||
| Temperaturstabilität | ||
| Grundtemperatur (ohne Heizungsregelung) | Nicht angegeben | |
| <10 K | ±50 mK | |
| 10 K ~ 500 K | ±10 mK | |
| Vakuum | TPS-FRG Molekularpumpe als Standard | PS-HV-CPX Hochvakuumoptionen |
| Vakuumzeit pumpen | 90 min (<1 × 10)-3Zurück) | 30 min (<1 × 10)-3 Zurück) |
| Bei Raumtemperatur | <5 × 10-4Zurück | <5 × 10-6Zurück |
| Bei der Grundtemperatur | <1 × 10-5Zurück | <5 × 10-7Zurück |
| Bei höchster Temperatur | <5 × 10-5Zurück | <5 × 10-7Zurück |
| Zykluszeit | ||
| Gesamtzyklus | 8.5 h | |
| Vakuum ziehen | 1.5 h | |
| Sondenkühlung | 5 Stunden | |
| Aufwärmung der Sonde | 2 Stunden | |
| Proben | ||
| Maximale Größe | 51 mm (2 Zoll) | |
| Probe Hintergrundbeleuchtung Schnittstelle | Nicht auswählbar | |
| Probe drehen | Nicht auswählbar | |
| Probe Vibration | <1 μm | |
| Sondenkonfiguration | ||
| Maximale Anzahl der Sonden | 6 | |
| Sonderarm-Thermometer | Temperaturüberwachung des Sonderarms | |
| Kühlsondenhalter | < 50 K (Probe bei Grundtemperatur) | |
| Sondenhalter | Anschluss Strahlungsschutzschirm | |
| Sonderarmhalter | Anschluss Strahlungsschutzschirm | |
| DC/RF Sonden | Elektrische Isolierung > 100GΩ für die Messung von niedrigem Leckstrom | |
| Mikrowellensonde | Frequenzbereich von DC bis 67 GHz | |
| Faser-Sonden | Kann zur elektrooptischen Messung verwendet werden | |
| Nadelbereich | Alle Sonden sind in einer Rundennadel mit einem Durchmesser von 25,4 mm (1 Zoll) erhältlich | |