Frankreich ANNEALSYS Vakuumschnellherd

Herkunft: AnnealSys, Frankreich

Artikelnummer: AS-One100/AS-One150

AS-ONE Vertikaler Schnellherz wird von der französischen Firma AS hergestellt und unterteilt in drei Modelle AS-ONE 100, 150 und 200, die den Vakuumschnellherzprodukten von 4 Zoll, 6 Zoll und 8 Zoll entsprechen.

Anwendung:

- Schnelle Hitze RTA;

- Schnelle thermische Oxidation RTO;

- Diffusion, Berührungsbrennung;

- Halbleiterabbrennung von Verbindungen;

- Nitrifizierung, Silizierung;

- Selenierung, Schwefelung;

- Graphenablagerung, Kohlenstoff-Nanoröhrenwachstum;

- Kristallisierung, Dichtung;

Technische Daten:

Spezifikation

Der AS-ONE 100

Der AS-ONE 150

Maximaler Probenbodendurchmesser

100 mm (4 Zoll)

150 mm (6 Zoll)

Kammergröße

Durchmesser 130mm x 25mm

Durchmesser 200 mm x 25 mm

Anzahl der Infrarotlampen / Maximale Leistung

12 Stück / 30KW

18 Stück / 34KW

Infrarot-Lichtkühlung

Ventilator

Ventilator

Standardtemperaturbereich

Raumtemperatur ~ 1250°C

Raumtemperatur ~ 1200°C

Optionale Hochtemperatur-Version

Raumtemperatur ~ 1500°C

Raumtemperatur ~ 1300°C

Erwärmungsgeschwindigkeit

0.1°C ~ 200°C/s

0.1°C ~ 150°C/s

Temperaturregelung

Schnelle digitale PID-Steuerung

Schnelle digitale PID-Steuerung

Thermoelemente

Typ K

Typ K

Hochtemperaturmesser

150°C ~ 1100°C

400°C ~ 1500°C

150°C ~ 1100°C

400°C ~ 1500°C

Gas Injektion

Unter Quarzfenstern

Unter Quarzfenstern

Gaswege reinigen

Standardkonfiguration

Standardkonfiguration

Verfahren/Anzahl der Gaswege

MFC / 5 Straße

MFC / 5 Straße

Vakuum Acquisition System

干泵 (10-2Torr)

Molekularpumpe (10-6Torr)

干泵 (10-2Torr)

Molekularpumpe (10-6Torr)

Größe / Gewicht

510mm x 1425mm x 800mm / 194Kg

510mm x 1425mm x 800mm / 240kg

Referenzkunden:

Tsinghua-Universität, Peking-Universität, Fudan-Universität, South China Polytechnic University, Tianjin China Electric Institute 18, Nanjing China Electric Institute 55, GE Shanghai Forschungs- und Entwicklungszentrum, Southern University, Shenzhen-Universität usw.

Große Proben Schnellherd

Ein Schnellherzofen (RTP/RTA) ist eine häufig verwendete Prozessanlage für Halbleitermaterialien und -geräte. Schnellherzofen können unter Vakuum, Inertatmosphäre und verschiedenen Prozessgasumgebungen eingesetzt werden.

Merkmale des Instruments:

- Schnelle Wärmebehandlung, schnelle Wärmerüstung RTP / RTA;

- kann im Vakuum oder sogar im Hochvakuum eingesetzt werden;

- weit verbreitet für den schnellen Hitzprozess von Solarzellen, wie 156mm x 156mm Batterien, 300mm x 300mm Batterien usw.;