Strain ViewerInnenspannungsdetektor

Vorteile

√ Sofortmessung der Spannung auf der Grundlage eines Doppelbrechungsspannungsmessmodells mit einer 2D-Spannungsverteilung

√ Dual-Distanz-Erkennung optischer Wege, hohe Phasenverzögerung Messgenauigkeit

√ Abhängig von den unterschiedlichen Mess-Sichtfeld-Anforderungen, mehrere Objektive optional

√ Kundenspezifische Proben-Palette, die sich an Wafer-Batch-Tests verschiedener Spezifikationen anpassen

Anwendbares Objekt

Geeignet für 3-Generation-Composite-Wafers, Glaswafers und Präzisionsoptische KomponentenInterne Spannungserkennung von Kristallen, Prismen, Wellen, Linsen usw.

Anwendungsbereiche

Für Branchen wie die Herstellung von Compound Wafers und die optische Präzisionsbearbeitung

Prüfprinzip

√ Erkennung der inneren Spannungsverteilung des Wafer-Materials basierend auf dem Doppelbrechungseffekt der polarisierten Lichtspannung. Wenn Kristallmaterial aufgrund eines inneren MangelsWenn Sie in einer Spannungskonzentration stecken, verursacht dies einen Spannungs-Doppelbrechungseffekt, Polarisationslicht wird polarisiert, wenn es durchgeht, und durch die Messung des Stokes-Vektors des durchlässigen Lichts kann die Spannungsverzögerung des Materials berechnet werden, um die Spannungsverteilung innerhalb des Materials zu erhalten;

√ Synchronisch integrierte Dunkelfelderkennung und Größenmessung von Wafer-Oberflächenfehlern.

Testfälle

Strain BetrachterTechnische Daten