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Adresse
Zimmer 707, Zerling Road 599, Xuhui Distrikt, Shanghai
Produktkategorien
Shanghai Nateng Instrument Co., Ltd
Atomschicht Ablagerungssystem Beschichtungsmaschine
VerhandlungsfähigAktualisieren am05/06
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Übersicht
Atomschicht-Ablagerungssystem-Beschichtungsmaschine $r$nWirtschaftliche wissenschaftliche Ablagerungsplattform $r$nStabile Folie, gleichmäßige Zuverlässigkeit, Materialforschung $r$nPraktisch, stabil und reproduzierbar
Produktdetails
Atomschicht Ablagerungssystem Beschichtungsmaschine
Designkonzept
Die SE-Serie kann Thermal-ALD, PEALD und ALA* Prozesse ausführen.
2. Die SE-Serie verfügt über eine hohe Transformationselastizität, aber ihre Leistung und Stabilität werden nicht darauf geachtet.
3. Das Atomschicht-Ablagerungssystem ist für eine bequeme, stabile und reproduzierbare Produktpositionierung konzipiert.
Designmerkmale
1. Modulares Vorläufer-Importsystem ist einfach zu warten, zu reparieren und bis zu 4 Vorläufersätze zu erweitern und kann Vorläufer mit niedrigem Dampfdruck verwenden; Ableitung vermeidet Verstopfungen und Staubprobleme
2. Niedrige Leckage spezielle Konstruktion, kann niedrige Dosen Schadstoffquelle Auswirkungen auf das Prozessergebnis ausschließen
3. Erfüllen Sie die meisten aktuellen Anforderungen an die Materialverarbeitung: Oxid oder Nitrid von Al, Si, Ti, Zr, Hf, etc..Metal (TBD)
Spezielles Plasmaquellendesign (Remote Plasma) erhöht GPC um 6% (im Vergleich zu ICP)
6. Spezielle Einluftungskonstruktion zur Verbesserung der Gleichmäßigkeit (U% < 2%) Spezielle Konstruktion für Probleme mit Totwinkelrückständen
Atomschicht Ablagerungssystem Beschichtungsmaschine
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